Вольт-фарадная характеристика


Вольт-фара́дная характери́стика (англ. capacitance-voltage (CV-) characteristic, по-русски иногда озвучивается как «цэ-вэ-характеристика») — зависимость дифференциальной ёмкости образца от поданного на него опорного напряжения , на которое накладывается малая синусоидальная добавка. Ёмкость здесь определяется как отношение амплитуды изменения заряда одного знака в образце при действии синусоидального сигнала с амплитудой и частотой к величине . Вариация опорного напряжения при записи кривой предполагается медленной.

Вольт-фарадные характеристики могут быть получены — рассчитаны или измерены — для широкого класса приборов и структур. Чаще всего они изучаются применительно к полупроводниковым системам с барьерами, как то pn-переходы, барьеры Шоттки и особенно МДП-структуры (МДП = металл-диэлектрик-полупроводник). Частотный диапазон, в принципе, не ограничен (популярен диапазон от статики до 1 МГц; ), на практике вид CV-кривых сильно зависит от , что обусловлено ограниченной быстротой реакции среды на изменение внешнего электрического поля.

Измерения вольт-фарадных характеристик дают значимые сведения о качестве материалов в структуре, наличии дефектов на границах составляющих её слоёв. Они широко распространены в полупроводниковой технологии, в первую очередь при работе со структурами, в которых почти нет сквозного переноса заряда (хотя метод применим и при наличии токов).