Впервые упоминается в документах в 1696 году. Петровским Морским уставом 1720 года чин не предусматривался, но уже в 1722 году он был закреплён в Табели о рангах и относился к 9-му классу, по нему могло жаловаться потомственное дворянство.
По статусу галерный мастер, согласно Табели о рангах, приравнивался к капитан-лейтенанту флота. Вышестоящим в сюрвайерской службе флота для него был чин корабельного мастера, а нижестоящим — лейтенант флота.
Первоначально чин галерного мастера предназначался для руководителей галерных верфей при столичном и провинциальных адмиралтействах, но вскоре галерных мастеров стали назначать руководить не только галерными, но и вообще любыми мелкими верфями. Также этот чин со временем стали присваивать специалистам понтонного хозяйства в инженерных войсках.
Среди галерных мастеров петровской эпохи славились греки на русской службе Стоматий Савельев, Дмитрий Муцин, Константин Юрьев, Николай Муц, Юрий Антонович Русинов, русский мастер Мокей Черкасов[1]. Также известными галерными мастерами были Андрей Игнатьевич Алатчанинов и Иван Немцов.
В декабре 1826 года чин галерного мастера был упразднён. Приказ Адмиралтейств-коллегии гласил: «корабельные мастера, равно драфцмана и тиммерманы офицерских чинов, переименовываются в корабельные инженеры»[2]