Правители Люксембурга ныне носят титул великих герцогов. Замок Люксембург был построен в 963 году графом Зигфридом, но титул граф Люксембурга впервые появился в источниках только в актах Вильгельма I на рубеже XI и XII веков.
После смерти Конрада II, не оставившего сыновей, графство, наследование в котором велось только по мужской линии, возвратилось в состав Священной Римской империи. Император тогда же передал графство графу Намюра Генриху, мать которого была дочерью Конрада I Люксембургского.
В 1353 году Карл передал Люксембург своему брату Венцеславу (Венцелю), а в 1354 году сделал Люксембург герцогством.
Начиная с Венцеля II, герцоги Люксембурга периодически отдавали его под залог иностранным принцам. В итоге Люксембург перешёл к герцогам Бургундии.
Во время Войны за испанское наследство 1701—1714 года за Люксембург в числе других нидерландских владений Габсбургов спорили Филипп Анжуйский (будущий Филипп V Испанский) и Карл Австрийский (будущий император Карл VI). В итоге в 1713 году герцогство оказалось в руках Карла.
По итогам Венского конгресса в 1815 году Люксембург получил статус Великого герцогства и был передан королю Нидерландов Виллему I.