Моносилан — бинарное неорганическое соединениекремния и водорода с формулой SiH4, бесцветный газ с неприятным запахом, самовоспламеняется на воздухе, реагирует с водой, ядовит.
Моносилан представляет собой бесцветный газ с неприятным запахом, самовоспламеняющийся на воздухе. Не растворяется в этаноле, бензоле и холодной воде.