Уезд образовался в 1878 году, когда в результате административной реформы была упразднена провинция Мусаси, а входивший в её состав уезд Тама был разделён на четыре: Хигаситама («Восточный Тама»), Китатама («Северный Тама»), Минамитама («Южный Тама») и Ниситама («Западный Тама»). В свежесозданный уезд Ниситама вошло 2 посёлка и 30 сёл.
По мере роста численности населения и прогрессирующей урбанизации сёла сливались друг с другом, получали статус города и выходили из-под юрисдикции уезда. Таким образом уезд Ниситама потерял территории современных городов Оме, Фусса, Хамура и Акируно.