Окси́д кре́мния(II) (моноокси́д кремния) SiO — смолоподобное аморфное вещество, при обычных условиях устойчиво к действию кислорода. Относится к несолеобразующим оксидам.
Газообразный монооксид кремния обнаружен в межзвёздных газопылевых облаках и солнечных пятнах. На Земле SiO не встречается.
Монооксид кремния можно получить, нагревая кремний в недостатке кислорода при температуре выше 400 °C:
Также SiO образуется при восстановлении SiO2 кремнием при высоких температурах (например, на поверхности тигеля при производстве монокристаллического кремния методом Чохральского):
Монооксид кремния — материал для изолирующих, защитных, пассивирующих, оптических слоев в полупроводниковых устройствах, волоконной оптике. Слои наносятся напылением в вакууме, реактивным распылением кремния в кислородной плазме.