Кремния хлориды (хлорсиланы) — бесцветные соединения с резким запахом. Химическая формула — SiXCl4-n где Х — Н, Вr, I, F, n=0,1,2,3. Так же известны гомоцепные — SinCl2n+2 и циклические — SinCl2n хлорполисиланы, оксохлориды Si (хлорсилоксаны) общей формулы SinOn-1Cl2n+2, имеющие линейные или разветвленные молекулы, или формулы (SinОnСl2n)x, имеющие циклическую структуру.
Кремния хлориды хорошо растворимы в органических растворителях. Водой в большинстве случаев гидролизуются с образованием геля SiO2 и НСl. Реакции со спиртами, фенолами и аминами приводят к соответствующим алкокси-, арокси- и аминопроизводным.
Кремния хлориды раздражают верхние дыхательные пути и слизистые оболочки в результате выделения НСl. Вещества, содержащие группы SiH, с воздухом образуют взрывоопасные смеси.