Вакуумная камера


Ва́куумная ка́мера — ограниченный объём, в котором создаётся вакуум. По качеству вакуума, по назначению камер их устройство может быть самым разнообразным.

Если необходимо получение высокого вакуума, для изготовления камеры используются металлы (нержавеющая сталь, медь, бронза, титан, алюминий) или керамика. Для того, чтобы снизить газоотделение, после сборки камеры и первичной откачки камера прогревается.

Для соединения частей вакуумной камеры друг с другом используются вакуумные фланцы, которые могут быть как разъёмными с уплотнениями, так и сварными. Если камера подвергается значительному нагреву или механическим деформациям, между частями камеры устанавливаются вакуумные сильфоны.