Усовершенствованное травление кремния ( ASE ) - это метод глубокого реактивного ионного травления (DRIE), предназначенный для быстрого травления глубоких структур с высоким соотношением сторон в кремнии. Первой разработкой ASE была компания Surface Technology Systems Plc. (STS) в 1994 году в Великобритании. Компания STS продолжает развивать этот процесс с еще большей скоростью травления, сохраняя при этом шероховатость и селективность боковых стенок. Компания STS разработала коммутируемый процесс, первоначально изобретенный доктором Лармером из Bosch, Штутгарт. ASE заключается в сочетании высоких скоростей травления, достигаемых при изотропном травлении Si (обычно с использованием плазмы SF 6 ) с процессом осаждения или пассивации (обычно с использованием C 4 F 8плазменной конденсации) путем чередования двух этапов процесса. Этот подход обеспечивает максимальную скорость травления при сохранении возможности травления анизотропно , обычно вертикально в приложениях микроэлектромеханических систем ( микроэлектромеханических систем (МЭМС)).
ASE HRM - это эволюция конструкции ICP предыдущих поколений, теперь включающая в себя независимый источник плазмы (заявка на патент подана). Этот независимый источник генерирует плазму очень высокой плотности, которая может диффундировать в отдельную технологическую камеру. За счет тщательной конструкции камеры избыточные ионы, которые мешают контролю процесса, уменьшаются, оставляя равномерное распределение свободных радикалов фтора с более высокой плотностью, чем это доступно из обычных источников ICP. Более высокая плотность свободных радикалов фтора способствует увеличению скорости травления, обычно более чем в три раза превышающей скорость травления, достигаемую с помощью оригинального процесса Bosch. Кроме того, в результате уменьшения эффекта локализованного истощения этих веществ может быть достигнута улучшенная однородность для многих применений. [1]
Заметки
- ^ Хопкинс и др. 2004 г. Разработка технологиитравленияSi и SiO 2 для оптических приложений на основе МЭМС (2004 г.)
Рекомендации
- Хопкинс, J Разработка в Si и SiO 2 травления для МЭМСА на основе оптических применений (2004) , архивированных от оригинала 2 июля 2007 , получен 2008-04-01.