Забуференный оксидный травитель ( БОЭ ), также известный как забуференный HF или BHF, представляет собой влажный травитель, используемый в микротравлении . Его основное применение в травления тонких пленок из диоксида кремния (SiO 2 ) или нитрида кремния (Si 3 N 4 ). Это смесь буферного агента , такого как фторид аммония (NH 4 F) и плавиковой кислоты (HF). Концентрированный HF (обычно 49% HF в воде) слишком быстро травит диоксид кремния для хорошего контроля процесса, а также отслаивает фоторезист, используемый в литографии.выкройка. Забуференное оксидное травление обычно используется для более контролируемого травления. [1]
Некоторые оксиды образуют нерастворимые продукты в растворах HF. Таким образом, HCl часто добавляют в растворы BHF для растворения этих нерастворимых продуктов и получения более качественного травления. [2]
Обычный буферный оксидный травильный раствор содержит 40% NH 4 F в воде и 49% HF в воде в объемном соотношении 6: 1 . Этот раствор будет травить термически выращенный оксид со скоростью примерно 2 нанометра в секунду при 25 градусах Цельсия. [1] Для увеличения скорости травления можно увеличить температуру. Непрерывное перемешивание раствора во время процесса травления помогает получить гомогенный раствор, который может равномерно травиться за счет удаления протравленного материала с поверхности.
Рекомендации
- ^ a b Волк, Стэнли; Таубер, Ричард (1986). Обработка кремния для эпохи СБИС: Том 1 - Технологические процессы . С. 532–533. ISBN 978-0-9616721-3-3.
- ^ Илиескуа, Киприан; Цзин, Цзи; Тай, Фрэнсис; Мяо, Цзяньминь; Sun, Tietun (август 2005 г.). «Характеристика маскирующих слоев для глубокого влажного травления стекла в улучшенном растворе HF / HCl». J. Surf. Пальто. 198 (1-3): 314. DOI : 10.1016 / j.surfcoat.2004.10.094 .