Углеродные пленки представляют собой тонкопленочные покрытия, состоящие преимущественно из химического элемента углерода . К ним относятся плазменные полимерные пленки , пленки аморфного углерода ( алмазоподобный углерод , DLC), пленки CVD-алмаза, а также пленки графита .
Углеродные пленки получают путем осаждения с использованием процессов газофазного осаждения, в большинстве случаев происходящих в вакууме : химического осаждения из паровой фазы , химического осаждения из паровой фазы или физического осаждения из паровой фазы , PVD. Они осаждаются в виде тонких пленок толщиной всего несколько микрометров .
Углеродные пленки позволяют выполнять большое количество поверхностных функций, особенно в области трибологии - другими словами, в приложениях, где износ является основным фактором.
дальнейшее чтение
Стандарты
- ISO 20523: 2017 Пленки на углеродной основе - Классификация и обозначения