На рисунке 110 — источник света, 164 — детектор. Светоделитель 120 формирует два плеча интерферометра. Измерительное плечо 140 содержит линзу 141 объектива для формирования изображения исследуемой поверхности 152. Эталонное плечо 130 содержит дополнительную оптику для компенсации аберраций, возникающих в измерительном плече.
В определенных случаях заявители и владельцы патентов могут заявлять авторские права на части этих документов. В этих конкретных случаях заявители должны указать части, защищенные авторским правом, и дополнительно должны указать следующее в тексте заявки и патента: [2] [3] [4] (в архиве)
Часть раскрытия этого патентного документа содержит материал, который подлежит защите (авторское право или маска). Владелец (авторского права или маски) не возражает против факсимильного воспроизведения кем-либо патентного документа или раскрытия патента, как это указано в патентном файле или записях Ведомства по патентам и товарным знакам, но в остальном оставляет за собой все (авторское право или маска) какие-либо права.
Если этот файл имеет проблемы с указанием авторства , авторскими правами или иным образом не подходит для Викисклада, удалите этот тег и НЕ ПЕРЕДАВАЙТЕ его; повторные нарушители могут быть заблокированы от редактирования.
Этот файл содержит дополнительную информацию, возможно, добавленную цифровой камерой или сканером, которые использовались для его создания или оцифровки.
Если файл был изменен по сравнению с исходным состоянием, некоторые детали могут не полностью отражать измененный файл.
