Отжиг в печи - это процесс, используемый при изготовлении полупроводниковых устройств, который заключается в нагреве нескольких полупроводниковых пластин с целью воздействия на их электрические свойства. Термообработки рассчитаны на разное воздействие. Пластины можно нагревать, чтобы активировать легирующие примеси , изменить границы раздела пленка на пленку или пленку с подложкой, уплотнить осажденные пленки, изменить состояние выращенных пленок, восстановить повреждения от имплантатов., перемещать легирующие добавки или переносить легирующие добавки из одной пленки в другую или из пленки в подложку пластины. Во время процесса ионной имплантации кристаллическая подложка повреждается из-за бомбардировки ионами высокой энергии. Возникшие повреждения можно устранить, подвергнув кристалл воздействию высокой температуры. Этот процесс называется отжигом. Печные отжиги могут быть интегрированы в другие этапы обработки в печи, такие как окисление, или могут обрабатываться сами по себе.
Отжиг в печи выполняется с помощью оборудования, специально созданного для нагрева полупроводниковых пластин. Печи могут обрабатывать множество пластин одновременно, но каждый процесс может длиться от нескольких часов до одного дня. Все чаще печи отжига заменяются быстрым термическим отжигом (RTA) или быстрой термической обработкой (RTP). Это происходит из-за относительно длинных термических циклов печей, из-за которых активируемые легирующие примеси, особенно бор, диффундируют дальше, чем предполагалось. RTP или RTA исправляют это, имея термические циклы для каждой пластины, которые составляют порядка минут, а не часов для отжига в печи.
Оборудование
- Consolidated Engineering Company Печи для отжига охватывают широкий спектр применений для стали и алюминия, включая отпуск, нормализацию и старение, и аналогичная автоматическая загрузка, разгрузка и естественное или принудительное охлаждение возможно с роликовым подом, подъемным или периодическим устройством.
- Печи отжига Koyo Thermo Systems для полупроводников, солнечной энергии, дисплеев и электроники
- Tokyo Electron Limited TELFORMULA и TELINDY PLUS
- [1] Печи для отжига - для проволоки или ленты из высоко или низкоуглеродистой стали, низкоуглеродистой и легированной стали.