Туомо Сунтола (род. 1943) - финский физик, изобретатель и технологический лидер. Он наиболее известен своими новаторскими исследованиями в области материаловедения, разработав метод выращивания тонких пленок, называемый осаждением атомных слоев .
Туомо Сунтола | |
---|---|
Родившийся | 1943 г. Тампере , Финляндия |
Национальность | Финляндия |
Альма-матер | Хельсинкский технологический университет |
Известен | Осаждение атомного слоя |
Награды | Орден Финского льва - рыцарь 1-й степени, европейская премия SEMI в 2004 году, премия в области технологий тысячелетия 2018 |
Научная карьера | |
Поля | Материаловедение |
Ранний период жизни
Сунтола родился в Тампере , Пирканмаа , в 1943 году, во время войны-продолжения . Он рано проявил интерес к технологиям, создав деревянные копии самолетов Второй мировой войны. В подростковом возрасте его интересы расширились, и он перешел на радио и усилители. [1]
Обучение и карьера
В 1971 году Туомо Сунтола получил докторскую степень по физике полупроводников в Хельсинкском технологическом университете . После получения докторской степени Сунтола, работая в Центре технических исследований Финляндии VTT , сделал свою первую промышленную разработку - тонкопленочный датчик влажности Humicap для Vaisala Oy , финской компании, специализирующейся на метеорологических приборах.
В 1974 году Suntola начала разработку тонкопленочных электролюминесцентных дисплеев в финской компании Instrumentarium Oy. Он представил технологию атомно-слойной эпитаксии (ALE), в настоящее время известную как осаждение атомных слоев (ALD), как решение для производства электролюминесцентных устройств, для которых требуются тонкие пленки с очень высокой диэлектрической прочностью. [2] Технология была внедрена в промышленное производство электролюминесцентных устройств в середине 1980-х годов корпорацией Lohja в Финляндии. [3] Осаждение атомных слоев позже стало одним из ключевых производственных методов при изготовлении полупроводниковых устройств .
В 1987 году Suntola основала Microchemistry Ltd как дочернее предприятие национальной нефтяной компании Neste Oy для применения технологии ALD в новых областях применения, таких как тонкопленочные фотоэлектрические устройства, гетерогенные катализаторы и, что наиболее важно, в полупроводниковых устройствах. В 1998 году Microchemistry Ltd. и технология ALD были проданы голландской ASM International , крупному поставщику оборудования для производства полупроводников; Microchemistry Ltd. стала ASM Microchemistry Oy как финская дочерняя компания ASM. В 1997 году, до приобретения Microchemistry Ltd, Сунтола начал свою деятельность в качестве научного сотрудника в национальной энергетической компании Fortum Corporation, созданной в результате слияния Neste Corporation и национальной электроэнергетической компании. Деятельность Suntola в Fortum была сосредоточена на возобновляемых источниках энергии и передовых энергетических технологиях. Он ушел из Fortum в 2004 году, но по-прежнему является членом совета директоров Picosun Oy, финского производителя реакторов ALD.
Доктор Сунтола имеет много важных патентов на технологию ALD и тонкопленочные устройства. На протяжении всей своей производственной карьеры доктор Сунтола поддерживал тесные контакты с академическим сообществом. В 1970-х годах он читал лекции по физике полупроводников в Технологическом университете Тампере . Еще со студенческих лет он интересовался философией науки и основами физики. После фундаментального прорыва в 1995 году он работал над целостным взглядом на физическую реальность, именуемую динамической Вселенной . В своей книге «Краткая история науки» Сунтола прослеживает развитие научной картины реальности от античности до наших дней.
Доктор Сунтола - один из основателей Общества основ физики, занимающегося поиском более глубокого понимания физической реальности. С 2015 года он также является председателем Финского общества естествознания .
Награды
В 2004 году компания Suntola получила европейскую премию SEMI «В честь пионера в технологиях осаждения атомных слоев …, которая проложила путь для разработки полупроводниковых устройств нанометрового размера» . [3]
В 2018 году Сунтола получил финскую премию «Технологии тысячелетия» за вклад в развитие информационных технологий на том основании, что « чрезвычайно тонкие изолирующие или проводящие пленки, необходимые в микропроцессорах и устройствах памяти компьютера, могут быть изготовлены только с использованием технологии ALD, разработанной Туомо Сунтола. " [4] 74-летний игрок получил один миллион евро (1,18 миллиона долларов). Его технология используется для производства ультратонких слоев материала для различных устройств, таких как компьютеры, смартфоны , микропроцессоры и устройства цифровой памяти , что обеспечивает высокую производительность при небольшом размере. [5]
Известные публикации
- Т. Сунтола, "О механизме эффектов переключения в тонких пленках халькогенидов", Твердотельная электроника, 1971, Vol. 14. С. 933–938.
- 1972-11-12 / 1979-08-21, US 4,164,868 Suntola, Емкостный датчик влажности
- 1974-11-29 / 1977-11-15, US 4,058,430 Suntola, Antson, Способ получения сложных тонких пленок
- 1979-02-28 / 1983-11-01, США 4 413 022 Сунтола, Паккала, Линдфорс, Метод выращивания сложных тонких пленок
- 1980-08-20 / 1983-06-14, US 4,388,554 Suntola, Antson, Электролюминесцентный компонент дисплея
- Т. Сунтола, "Эпитаксия на атомном слое", Tech. Дайджест ICVGE-5, Сан-Диего, 1981 г.
- T. Suntola, J. Hyvärinen, "Atomic Layer Epitaxy", Annu. Rev. Mater. Sci. 15 (1985) 177
- 1985-03-05 / 1990-03-13, US 4,907,862 Suntola, Метод создания управляемых электронным способом цветных элементов и цветного дисплея на основе этого метода
- Т. Сунтола, "Эпитаксия на атомном слое", Отчеты по материаловедению, том 4, номер 7, декабрь 1989 г., 0920-2307 / 89, Elsevier Science Publishers BV
- 1990-01-16 / 2003-03-18, US 6,534,431 Suntola et al., Процесс и устройство для приготовления гетерогенных катализаторов
- 1991-07-16 / 2002-12-31, US 6,500,780 Suntola et al., Способ приготовления гетерогенных катализаторов с желаемым содержанием металла.
- Т. Сунтола, "Тонкопленочные солнечные элементы из CdTe", Бюллетень MRS, Vol. XVIII, № 10, 1993 г.
- Т. Сунтола, "Эпитаксия на атомном слое", Справочник по росту кристаллов 3, тонкие пленки и эпитаксия, часть B: механизмы и динамика роста, глава 14, Elsevier Science Publishers BV, 1994.
- С. Хаукка, Э.-Л. Лакомаа, Т. Сунтола, "Получение гетерогенных катализаторов с контролем адсорбции", Адсорбция и ее применение в промышленности и охране окружающей среды, изд. А.Дабровски, Elsevier Science Publishers BV, 1998.
- Туомо Сунтола, Краткая история науки - или долгий путь к союзу метафизики и эмпиризма , сентябрь 2018 г. ISBN 978-952-68101-0-2
- Р.Л. Пуурунен, Х. Каттелус, Т. Сунтола, "Нанесение атомных слоев в технологии МЭМС", гл. 26 Справочника по материалам и технологиям МЭМС на основе кремния / Под ред. V. Lindroos et al. , стр. 433–446, Elsevier, 2010.
- Туомо Сунтола, Динамическая Вселенная - К единой картине физической реальности, Четвертое издание , сентябрь 2018 г., ISBN 978-1461027034 .
Рекомендации
- ^ «Пионер ALD Туомо Сунтола объясняет, как его изобретение поддерживает закон Мура» . 2019-03-28 . Проверено 25 мая 2020 .
- ^ Ахвенниеми, Эско; Акбашев Андрей Р .; Али, Сайма; Бечеланы, Михаэль; Бердова Мария; Бояджиев, Стефан; Кэмерон, Дэвид С .; Чен, Ронг; Чубаров, Михаил (2016-12-16). «Обзорная статья: Рекомендуемый список для чтения ранних публикаций по осаждению атомных слоев - результат« Виртуального проекта по истории ALD » » . Журнал вакуумной науки и технологий A: Вакуум, поверхности и пленки . 35 (1): 010801. DOI : 10,1116 / 1,4971389 . ISSN 0734-2101 .
- ^ а б Пуурунен, Р.Л. (2014). "Краткая история осаждения атомного слоя: эпитаксия атомного слоя Туомо Сунтола" . Химическое осаждение из паровой фазы . 20 (10–11–12): 332–344. DOI : 10.1002 / cvde.201402012 .
- ^ «Премия тысячелетия в области технологий 2018 для Туомо Сунтола - инновации финского физика позволяют производить и разрабатывать продукты в области информационных технологий» (пресс-релиз). Технологическая академия Финляндии. 2018-05-22 . Проверено 22 мая 2018 .
- ↑ «Техническая 'Нобель' присуждена финскому физику за небольшие интеллектуальные устройства» Phys.org, 22 мая 2018 г.
Внешние ссылки
- Краткая история осаждения атомного слоя: эпитаксия атомного слоя Туомо Сунтола Краткая история осаждения атомного слоя: эпитаксия атомного слоя Туомо Сунтола
- Туомо Сунтола »Общество фондов физики