Сублимация в замкнутом пространстве - это метод производства тонких пленок, в частности. фотоэлектрические элементы с теллуридом кадмия , хотя он используется для других материалов, таких как триселенид сурьмы . [1]
Это тип физического осаждения из паровой фазы, при котором покрываемая подложка и исходный материал удерживаются близко друг к другу. Они оба помещены в вакуумную камеру, которую откачивают. Затем источник и подложка нагреваются. Источник нагревается до некоторой доли от его температуры плавления, а подложка - до некоторой более низкой температуры, например 750 ° C и 550 ° C, соответственно. [ необходима цитата ] Это вызывает сублимацию источника, позволяя парам перемещаться на небольшое расстояние к подложке, где они конденсируются, образуя тонкую пленку. Эта диффузия по короткому пути в принципе аналогична перегонке по короткому пути . По сравнению с другими методами, это относительно малочувствительный процесс, который занимает всего 10 минут на весь цикл.[ необходима цитата ] Это делает его очень жизнеспособным методом для крупномасштабного производства. [2]
Рекомендации
- ^ Биркетт, Макс; Линхарт, Войцех; Стоунер, Джессика; Филлипс, Лори (24 мая 2018 г.). «Температурная зависимость запрещенной зоны Sb2Se3, выращенного методом фотоотражения сублимацией в ближнем пространстве» . Материалы APL . 6 (8): 084901. DOI : 10,1063 / 1,5027157 .
- ^ Potamialis, C .; Лиско, Ф. «Изготовление тонких пленок CdTe методом сублимации в близком пространстве» (PDF) . Центр докторантуры Новая и устойчивая фотоэлектрическая энергия . Центр технологий возобновляемых источников энергии (CREST), Школа Вольфсона, Университет Лафборо . Проверено 26 апреля 2019 .