Из Википедии, бесплатной энциклопедии
Перейти к навигации Перейти к поиску
Фильтровальная сетка потолка чистого помещения для производства микроэлектроники (полупроводников) с установленными фильтрующими вентиляторами

Блок фильтра вентилятора ( FFU ) - это тип моторизованного оборудования для фильтрации воздуха. Он используется для подачи очищенного воздуха в чистые помещения , лаборатории , медицинские учреждения или микроокружения путем удаления вредных частиц из рециркулирующего воздуха. [1] Блоки устанавливаются внутри потолочной или напольной решетки системы. Для больших чистых помещений требуется пропорционально большое количество FFU, которое в некоторых случаях может составлять от нескольких сотен до нескольких тысяч. [1] [2] Агрегаты часто содержат собственный предварительный фильтр, HEPA- фильтр и внутренне регулируемое распределение воздуха от вентилятора. [3]

Дизайн [ править ]

FFU обычно производятся в стальных корпусах размером 4 x 2, 3 x 2 или 2 x 2 дюйма, которые могут быть размещены в отсеках потолочной решетки аналогичных размеров. [2] Агрегаты часто содержат фильтр предварительной очистки, а также фильтр HEPA (высокоэффективный воздух для твердых частиц), ULPA (воздух со сверхнизким содержанием твердых частиц) или другой фильтр MERV (минимальное значение для отчетности). Моторизованный вентилятор используется для втягивания воздуха через фильтры для распределения в комнаты или закрытые рабочие места, такие как вытяжки. [3] Скорость вентилятора обычно регулируется ступенчато или с помощью реостата. [2] [3]Требуемый уровень чистоты определяет используемый фильтр: фильтры HEPA удаляют частицы размером 0,3 мкм и более с эффективностью 99,99%, а фильтры ULPA удаляют частицы размером 0,12 мкм или более с эффективностью 99,999%. [3] FFU разработаны для ламинарного воздушного потока, что требуется в критических условиях. Контролируемый воздух, движущийся в одном направлении и с одинаковой скоростью (несущий микрочастицы), чище, чем турбулентный воздух, который течет во многих направлениях или с непостоянной скоростью. Вихри, создаваемые турбулентным воздухом, вызывают оседание микрочастиц загрязнения на чистых поверхностях.

Использует [ редактировать ]

FFU размером 4 x 2 или 2 x 2 дюйма предназначены для размещения в отсеках потолочной решетки с аналогичными размерами. [3] Потолочные решетки с отсеками стандартного размера, которые соответствуют размерам FFU, используются для создания чистых помещений. В зависимости от требований к чистоте контролируемого помещения, в сеть можно добавить дополнительные блоки фильтров вентилятора, чтобы соответствовать стандартам ISO по скорости воздушного потока и воздухообменам в час. [4] FFU могут использоваться вместо более традиционных устройств рециркуляции воздуха, таких как воздуховоды или приточные системы. [1] [2]Поскольку для FFU требуется пространство над потолочной решеткой (13 дюймов для модуля FFU плюс еще 1–2 фута «пустого» заполненного воздухом пространства), статические камеры обычно используются для чистых помещений с ограничениями по высоте; они являются единственными воздушными системами, которые работают. в схемах с меньшими внутренними размерами пола. [2] Кроме того, когда в комнате установлено менее 20 фильтров, HEPA, FFU с питанием от вентилятора обычно считается менее дорогостоящим, чем более обычная канальная система подачи. [5] Когда требуется микросреда чистого воздуха, FFU можно использовать для создания закрытых рабочих пространств или кабинетов с ламинарным потоком. Применяя тот же принцип, что и в большой решетке для чистых помещений, блоки FFU можно размещать непосредственно в отдельно стоящей решетке над пространством, в котором требуется чистый воздух. Фактически, этот подход также используется для травления кремниевых пластин в полупроводниковой промышленности. [6]


Ссылки [ править ]

  1. ^ a b c Кохли, Раджив; Миттал, Кашмири Л. (2009). Разработки в области загрязнения и очистки поверхностей - осаждение, контроль и удаление частиц . Уильям Эндрю. п. 164. ISBN 978-1-4377-7830-4.
  2. ^ a b c d e «Строительство и окружающая среда: производительность больших вентиляторных фильтров для чистых помещений». Строительство и окружающая среда . ScienceDirect. 42 : 2299–2304. DOI : 10.1016 / j.buildenv.2006.05.007 .
  3. ↑ a b c d e Pennwell (март 2007 г.). Чистые комнаты . 21 . С. 16–17. ISSN 1043-8017 . Проверено 26 октября 2011 года . 
  4. Перейти ↑ Schneider, Raymond K (2001). Проектирование систем HVAC для чистых помещений (PDF) . Журнал ASHRAE. Архивировано из оригинального (PDF) 28 октября 2016 года . Проверено 22 августа 2001 .
  5. ^ PennWell (март 2008). Чистые комнаты . 22 . п. 36. ISSN 1043-8017 . Проверено 26 октября 2011 года . 
  6. ^ Пак, Джэ Ён; и другие. (2007). «Процесс с одной пластиной для улучшенной очистки металлических контактных отверстий» . EBSCO Host . Проверено 10 мая 2007 .[ мертвая ссылка ]

Внешние ссылки [ править ]

  • Как работают очистители воздуха?