ОписаниеЭУФ фотоэлектроны и вторичные обмотки (вектор) .svg
Английский: Вверху: многослойный EUV-фильтр и поглотитель (фиолетовый), образующий шаблон маски для отображения линии. Внизу: EUV-излучение (красный), отраженное от рисунка маски, поглощается резистом (желтый) и подложкой (коричневый), образуя фотоэлектроны и вторичные электроны (синий). Эти электроны увеличивают степень химических реакций в резисте, превышающую ту, которая определяется исходной картиной интенсивности света. В результате на оптическое изображение накладывается случайный по своей природе вторичный электронный узор. Нежелательное воздействие вторичных электронов приводит к потере разрешения, наблюдаемой шероховатости края линии и изменению ширины линии. Ссылки: N. Felix et al., Proc. SPIE 9776, 97761O (2016); A. Saeki и др., Nanotech. 17, 1543 (2006); T. Kozawa и др., JVST B 25, 2295 (2007).
Дата
Источник
Наша работа
Автор
2pem
Векторизованная версия .
Лицензирование
Я, владелец авторских прав на это произведение, публикую его под следующей лицензией:
делиться - копировать, распространять и передавать произведение
ремикс - адаптировать произведение
При следующих условиях:
Атрибуция - вы должны указать соответствующий источник, предоставить ссылку на лицензию и указать, были ли внесены изменения. Вы можете сделать это любым разумным способом, но не любым способом, который предполагает, что лицензиар одобряет вас или ваше использование.
делиться одинаково - если вы ремикшируете, трансформируете или опираетесь на материал, вы должны распространять свои материалы по той же или совместимой лицензии, что и оригинал.
inception<\/a>"}},"text\/plain":{"en":{"":"inception"}}},"{\"value\":{\"time\":\"+2014-01-14T00:00:00Z\",\"timezone\":0,\"before\":0,\"after\":0,\"precision\":11,\"calendarmodel\":\"http:\\\/\\\/www.wikidata.org\\\/entity\\\/Q1985727\"},\"type\":\"time\"}":{"text\/html":{"en":{"P571":"14 January 2014"}},"text\/plain":{"en":{"P571":"14 January 2014"}}}}" class="wbmi-entityview-statementsGroup wbmi-entityview-statementsGroup-P571 oo-ui-layout oo-ui-panelLayout oo-ui-panelLayout-framed">
Этот файл содержит дополнительную информацию, вероятно, добавленную с цифровой камеры или сканера, которые использовались для ее создания или оцифровки.
Если файл был изменен по сравнению с исходным состоянием, некоторые детали могут не полностью отражать измененный файл.