Харви С. Натансон (22 октября 1936 - 22 ноября 2019) был американским инженером-электриком, который изобрел первое устройство MEMS (микро-электромеханические системы), которое сейчас используется в различных продуктах, от iPhone до автомобилей.
Устройства MEMS, которые изготавливаются с использованием технологий изготовления интегральных схем , состоят из небольших движущихся механических элементов, размер которых обычно составляет от 1 до 100 микрометров (от 0,001 до 0,1 мм). Типичные устройства МЭМС включают акселерометры, используемые в смартфонах и контроллерах видеоигр, а также гироскопы, используемые в автомобилях и носимых устройствах .
Натансон задумал первое устройство MEMS в 1965 году, которое служило тюнером для микроэлектронных радиоприемников. [1] Он был разработан Робертом А. Викстромом и Уильямом Э. Ньюэллом в исследовательских лабораториях Westinghouse в Питтсбурге, штат Пенсильвания, и запатентован как прибор для микроэлектрической селекции частоты. [2]
Усовершенствованная версия устройства была впоследствии запатентована как транзистор с резонансным затвором. [3]
В своей работе по разработке подобных устройств Натансон впервые применил метод серийного производства, при котором слои изоляторов и металла на кремниевых пластинах формируются и подрезаются за счет использования масок и расходных слоев, процесс, который позже стал основой производства МЭМС. [4]
В 1973 году он запатентовал использование миллионов микроскопически маленьких движущихся зеркал для создания видеодисплея того типа, который сейчас используется в цифровых проекторах. [5]
В 2000 году Натансон был награжден Медалью тысячелетия Институтом инженеров по электротехнике и электронике за «выдающийся вклад в развитие общества и области электронных устройств». [6]
Выпускник Университета Карнеги-Меллона , он имеет более 50 патентов в области твердотельной электроники. [7]
Ссылки [ править ]
- ^ "Кремниевый поверхностный транзистор с резонансным затвором и высокой добротностью полосы пропускания" . Письма по прикладной физике . 15 августа 1965 . Проверено 25 декабря 2010 года . CS1 maint: обескураженный параметр ( ссылка )
- ^ Патент США 3413573 , Натансон и др «Микроэлектронный частотно - избирательное устройство с вибрационным элементом и средством , реагирующей к ней», выданному 1968-11-26
- ^ Патент США 3590343 , Натансон и др. "Резонансный затворный транзистор с фиксированным положением, электронно плавающим электродом затвора в дополнение к резонансному элементу", выдан 1971-6-29.
- ^ "Микроэлектромеханические системы (МЭМС)" . ProQuest . Октябрь 2001 . Проверено 25 декабря 2010 года . CS1 maint: обескураженный параметр ( ссылка )
- ^ Патент США 3746911 , Натансон и др «электростатический отклоняемые световые клапаны для проекционных дисплеев», выданный 1973-7-17
- ^ "Победители медали тысячелетия IEEE EDS" . Общество электронных устройств IEEE . 5 августа 2010 года Архивировано из оригинала 13 сентября 2015 года . Проверено 25 декабря 2010 года . CS1 maint: обескураженный параметр ( ссылка )
- ^ "Патенты Харви С. Натансона" . Патенты Google . Дата обращения 14 августа 2020 . CS1 maint: обескураженный параметр ( ссылка )
