Деревня Мацуо была образована 1 апреля 1889 года в пределах района Муша . Район Муша стал частью района Санбу с 1 апреля 1897 года. 31 августа 1898 года Мацуо получил статус города. Он расширился за счет присоединения соседних деревень Охира и Тойоока 1 февраля 1955 года.
27 марта 2006 года Мацуо вместе с городами Наруто и Санбу и деревней Хасунума (все из округа Санбу ) был объединен в город Санму и, таким образом, больше не существует как независимый муниципалитет.
По состоянию на 1 ноября 2005 г. (последние данные переписи до слияния) численность населения города составляла 11 121 человек, а плотность населения - 296 человек на км². Общая площадь составила 37,59 км².