Диод металл-изолятор-металл ( MIM ) представляет собой тип нелинейного устройства, очень похожего на полупроводниковый диод , способный работать очень быстро. В зависимости от геометрии и материала, используемого для изготовления, механизмы работы определяются либо квантовым туннелированием , либо термической активацией. [1]
В 1948 году Торри и соавт. заявил, что «Должна быть возможность сделать выпрямители металл-изолятор-металл с гораздо меньшим сопротивлением рассеяния, чем у выпрямителей металл-полупроводник, что, следовательно, обеспечивает большую эффективность выпрямления на высоких частотах». [2] Но из-за трудностей изготовления прошло два десятилетия, прежде чем удалось успешно создать первое устройство. Некоторые из самых первых MIM-диодов были изготовлены в Bell Labs в конце 1960-х и начале 1970-х годов [3] Brinkman et al. продемонстрировал первый туннельный диод MIM с нулевым смещениемсо значительной отзывчивостью. Когда они используют туннельный транспорт, диод MIM может быть очень быстрым. Сообщается, что уже в 1974 году этот диод использовался в качестве смесителя на частоте 88 ТГц в установке Национального института стандартов и технологий . [4] Благодаря недавним исследованиям чувствительность MIM-диода (15 А/Вт) при нулевом смещении теперь очень близка к чувствительности диода Шоттки (19,4 А/Вт). [5]
Сегодня диод MIM является краеугольным камнем продолжающихся разработок нанантен . Они также используются в качестве тонкопленочных диодов производителями плоских дисплеев .