Onto Innovation Inc. — американская полупроводниковая компания, образованная в 2019 году в результате слияния компаний Rudolph Technologies, Inc. и Nanometrics Incorporated. Onto Innovation торгуется как NYSE : ONTO на Нью-Йоркской фондовой бирже . Это поставщик оборудования и программного обеспечения для управления технологическими процессами и производства микроэлектроники (в основном, полупроводников). Ассортимент продукции компании включает в себя автоматизированные системы контроля дефектов и метрологические системы, системы тестирования и анализа зондовых карт, а также системы поэтапного повторения для литографии. Кроме того, Onto Innovation предлагает широкий спектр программных продуктов, предназначенных для повышения производительности, управления процессами и снижения производственных затрат.
Rudolph Technologies, Inc. (RTI) ведет свое происхождение с 1940 года, когда Отто Курт Рудольф основал OC Rudolph & Sons, Inc. [1] Первоначально импортер микроскопов и научных инструментов, этот предшественник RTI был переименован в октябре 1970 года в Rudolph Research Corporation. . Компания разработала оптическое оборудование для лабораторий и университетов.
Компания, основанная Отто Рудольфом, продолжала развиваться, совершая прорывы в области эллипсометрии , включая первый ориентированный на производство эллипсометр для измерения тонких прозрачных пленок. Компания продолжала развивать свою метрологическую продукцию, попутно получая новые патенты.
Nanometrics была основана в 1975 году и была пионером и новатором в области оптической метрологии. В 1984 году компания начала публичные торги.
В июне 1996 года Ричард Спаниер, доктор философии, главный исполнительный директор Rudolph Research, заключил партнерское соглашение с бостонской Riverside Partners [2] и нью-йоркской Liberty Partners [3] , которые вместе с другими инвестировали в компания. В то время д-р Спаниер оставил свою активную работу в компании, и генеральным директором был назначен ветеран полупроводниковой промышленности Пол Ф. Маклафлин. В августе 1999 года название компании было изменено на Rudolph Technologies, Inc.
В ноябре 1999 года RTI провела первичное публичное размещение обыкновенных акций. Доходы резко выросли, достигнув рекордных 38,1 миллиона долларов. В начале года открылось новое предприятие, и компания выпустила новый продукт — линейку измерительных приборов для медной пленки MetaPULSE®.