Onto Innovation Inc. — американская полупроводниковая компания, образованная в 2019 году в результате слияния компаний Rudolph Technologies, Inc. и Nanometrics Incorporated. Компания Onto Innovation торгуется как NYSE : ONTO на Нью-Йоркской фондовой бирже . Компания является поставщиком оборудования и программного обеспечения для управления процессами и процессами для микроэлектронной промышленности (в первую очередь полупроводниковой). В ассортимент продукции компании входят автоматизированные системы контроля дефектов и метрологии, системы тестирования и анализа карт датчиков, а также системы пошаговой и повторяющейся литографии. Кроме того, Onto Innovation предлагает широкий спектр программных продуктов, предназначенных для повышения производительности, контроля процессов и снижения производственных затрат.
Компания Rudolph Technologies, Inc. (RTI) ведет свою историю с 1940 года, когда Отто Курт Рудольф основал OC Rudolph & Sons, Inc. [1] Первоначально занимавшаяся импортом микроскопов и научных инструментов, эта предшественница RTI была переименована в октябре 1970 года в Rudolph Research Corporation. . Компания проектировала оптическое оборудование для лабораторий и университетов.
Компания, основанная Отто Рудольфом, продолжала развиваться, совершая прорывы в области эллипсометрии , включая первый ориентированный на производство эллипсометр для измерений на тонких прозрачных пленках. Компания продолжила разработку своей метрологической продукции, попутно получая новые патенты.
Компания Nanometrics была основана в 1975 году и была пионером и новатором в области оптической метрологии. В 1984 году компания начала публичную торговлю.
В июне 1996 года Ричард Спэньер, доктор философии, главный исполнительный директор Rudolph Research, заключил партнерское соглашение с базирующейся в Бостоне компанией Riverside Partners [2] и базирующейся в Нью-Йорке компанией Liberty Partners [3] , которые вместе с другими инвестировали в компания. В то время доктор Спэньер оставил свою активную роль в компании, а генеральным директором был назначен ветеран полупроводниковой промышленности Пол Ф. Маклафлин. В августе 1999 года название компании было изменено на Rudolph Technologies, Inc.
В ноябре 1999 года RTI провела первичное публичное размещение обыкновенных акций. Выручка резко выросла, достигнув рекордных $38,1 млн. В начале года открылось новое предприятие, и компания выпустила новый продукт — линейку инструментов для измерения медной пленки MetaPULSE®.