Тетракис(триметилсилилокси)силан ( ТТМС ) представляет собой кремнийорганическое соединение формулы Si[OSi(CH 3 ) 3 ] 4 . Эта бесцветная жидкость используется в качестве реагента в органическом синтезе . [2]
TTMS можно использовать для тонкопленочного покрытия наноструктурированным диоксидом кремния , полученным методом плазменно-усиленного химического осаждения из паровой фазы (PECVD) при атмосферном давлении. [3]