Вафли - это процесс, при котором кристалл кремния ( були ) превращается в пластины . Этот процесс обычно выполняется многопроволочной пилой, которая одновременно разрезает несколько пластин из одного и того же кристалла. Затем эти пластины полируются до желаемой степени плоскостности и толщины.
В прошлом в 1950-х и 1960-х годах использовались обычные циркулярные пилы, а в 1970-х и 1980-х годах следовали пилы внутреннего диаметра. Эти пилы имели алмазные частицы, встроенные в лезвия для резки кремния. Многоканальные пилы были представлены в начале 2000-х годов. Мотивом этой эволюции было снижение потерь материала из-за пропила пилы , а также улучшение качества поверхности пластины, ее плоскостности и изгиба.
Смотрите также
Внешние ссылки
- Как делают кремниевые чипы - Как делают кремниевые чипы статья на TechRadar
- Вафли - от SolarWorld USA
- Процесс изготовления кремниевой пластины - Департамент электротехники и вычислительной техники Университета Бригама Янга