Усовершенствованное травление кремния ( ASE ) представляет собой метод глубокого реактивно-ионного травления (DRIE) для быстрого травления глубоких структур и структур с высоким соотношением сторон в кремнии. ASE был разработан компанией Surface Technology Systems Plc. (STS) в 1994 году в Великобритании. Компания STS продолжает развивать этот процесс с еще большей скоростью травления, сохраняя при этом шероховатость и селективность боковых стенок. Компания STS разработала процесс переключения, первоначально изобретенный доктором Лармером в Bosch, Штутгарт. ASE состоит в сочетании высоких скоростей травления, достигаемых при травлении изотропного кремния (обычно с использованием плазмы SF 6 ) с процессом осаждения или пассивации (обычно с использованием C 4 F 8процесс конденсации плазмы) путем чередования двух стадий процесса. Этот подход обеспечивает самые высокие скорости травления при сохранении возможности анизотропного травления , как правило, вертикального в микроэлектромеханических системах ( микроэлектромеханических системах (МЭМС)).
ASE HRM — это эволюция конструкции ICP предыдущих поколений, включающая теперь источник плазмы с развязкой (подана заявка на патент). Этот изолированный источник генерирует плазму очень высокой плотности, которая может диффундировать в отдельную технологическую камеру. Благодаря тщательно продуманной конструкции камеры избыточные ионы, которые наносят ущерб управлению технологическим процессом, уменьшаются, оставляя равномерное распределение свободных радикалов фтора с более высокой плотностью, чем в обычных источниках ИСП. Более высокая плотность свободных радикалов фтора способствует увеличению скорости травления, обычно более чем в три раза превышающей скорость травления, достигнутую с помощью оригинального процесса Bosch. Кроме того, в результате снижения эффекта локального истощения этих видов может быть достигнута улучшенная однородность для многих применений. [1]