Выравниватель , или маска выравниватель , представляет собой систему , которая производит интегральные схемы (ИС) с использованием фотолитографии процесса. Он удерживает фотошаблон над кремниевой пластиной, в то время как яркий свет падает через маску на фоторезист . «Выравнивание» означает возможность многократно размещать маску точно в одном и том же месте, когда чип проходит несколько циклов литографии. Элайнеры были основной частью производства ИС с 1960-х до конца 1970-х годов, когда их начали заменять степперы .
Есть несколько различных поколений технологии выравнивания. Первые контактные выравниватели помещали маску в прямой контакт с верхней поверхностью пластины, что часто приводило к повреждению рисунка, когда маска снова снималась. При кратковременном использовании бесконтактные выравниватели держали маску немного выше поверхности, чтобы избежать этой проблемы, но с ними было трудно работать и требовалась значительная ручная регулировка. Наконец, устройство выравнивания проекции , представленное Перкин-Элмером в 1973 году, полностью отделяло маску от чипа и значительно упрощало настройку изображения. За счет этих этапов разработки доходность увеличилась с 10% до 70%, что привело к соответствующему снижению цен на микросхемы.
Шаговый двигатель по своей концепции похож на элайнер, но с одним ключевым отличием. Выравниватель использует маску, которая удерживает узор для всей пластины, что может потребовать больших масок. Шаговый двигатель использует маску только для одного чипа на пластине и шагает по поверхности, чтобы повторить узор. Это значительно снижает стоимость маски и позволяет использовать одну пластину для различных конструкций за один проход. Что еще более важно, фокусируя источник света на одной области пластины, шаговый двигатель может обеспечивать гораздо более высокое разрешение, что позволяет использовать более мелкие функции на микросхемах.
Ссылки [ править ]
- "История корпорации Perkin-Elmer" .
- Бербанк, Дэниел (осень 1999). «Почти невозможность изготовления микрочипа» (PDF) . Изобретения и технологии .
 | Эта статья о компьютерах - незавершенная . Вы можете помочь Википедии, расширив ее . |
