Физическая проверка - это процесс, при котором конструкция компоновки интегральной схемы ( схемы ИС) проверяется с помощью программных средств EDA для обеспечения правильной электрической и логической функциональности и технологичности. Проверка включает в себя проверку правил проектирования (DRC), компоновку в сравнении со схемой (LVS), XOR (исключающее ИЛИ), проверки антенн и проверку электрических правил (ERC). [1]
Проверка правил проектирования (DRC) [ править ]
DRC проверяет, соответствует ли макет всем ограничениям, налагаемым технологиями. DRC также проверяет плотность слоя для химико-механического полирования (CMP). [1]
Макет против схемы (LVS) [ править ]
LVS проверяет функциональность конструкции. Из схемы выводится список соединений и сравнивается с исходным списком соединений, полученным в результате логического синтеза или проектирования схем. [1]
Проверка XOR [ править ]
Эта проверка обычно выполняется после вращения металла, когда сравниваются исходная и измененная база данных. Это делается для подтверждения того, что желаемые модификации были внесены, и что нежелательные модификации не были внесены случайно. Этот шаг включает сравнение двух баз данных макета / GDS с помощью операции XOR геометрии макета. Результатом этой проверки является база данных, имеющая все несовпадающие геометрические формы в обоих макетах.
Проверка антенны [ править ]
Антенна в основном представляет собой металлическое межсоединение, то есть проводник, подобный поликремнию или металлу, который электрически не связан с кремнием и не заземлен на этапах обработки пластины. [1] Во время производственного процесса на антенне может происходить накопление заряда во время определенных этапов изготовления, таких как плазменное травление, при котором для травления используется высокоионизированный материал. Если соединение с кремнием не существует, в межсоединении могут накапливаться заряды до точки, в которой происходит быстрый разряд, и необратимые физические повреждения приводят к тонкому оксиду затвора транзистора. Это быстрое и разрушительное явление известно как антенный эффект.. Ошибки антенны можно исправить, добавив небольшой антенный диод для безопасного разряда узла или разделив антенну, направив ее на другой металлический слой, а затем снова вниз. [1]
Коэффициент передачи антенны определяется как отношение между физической площадью проводников, составляющих антенну, к общей площади оксида затвора, с которой антенна электрически соединена.
Проверка электрических правил (ERC) [ править ]
ERC проверяет правильность подключения питания и заземления, а также правильность ограничения времени перехода сигналов (нарастания), емкостных нагрузок и разветвлений. [1] Это может включать проверку
- Колодцы и области подложки для правильных контактов и расстояний, тем самым обеспечивая правильное подключение питания и заземления
- Неподключенные входы или закороченные выходы.
Gates не должен подключаться напрямую к источникам питания; соединение должно быть только через ячейки высокого / низкого уровня TIE. Проверки ERC основаны на предположениях о нормальных условиях работы ASIC , поэтому они могут давать много ложных предупреждений на ASIC с несколькими или отрицательными источниками питания. Они также могут проверять конструкции, чувствительные к повреждениям электростатическим разрядом (ESD).
Ссылки [ править ]
- ^ a b c d e f А. Канг и др .: Физический дизайн СБИС: от разбиения графа до закрытия по времени , ISBN 978-90-481-9590-9 , DOI : 10.1007 / 978-90-481-9591-6 , п. 10.
Дальнейшее чтение [ править ]
- Клейн, Д. (2000). Схема CMOS IC . Newnes. ISBN 0-7506-7194-7
- Канг, А. (2011). Физический дизайн СБИС: от разбиения графа до закрытия по времени , ISBN 978-90-481-9590-9 , DOI : 10.1007 / 978-90-481-9591-6
