Из Википедии, бесплатной энциклопедии
Перейти к навигации Перейти к поиску
Пример установки электронно-лучевой литографии

Электронно-лучевая литография (часто сокращенно называемая электронно-лучевой литографией , EBL ) - это практика сканирования сфокусированного пучка электронов для рисования нестандартных форм на поверхности, покрытой электронно-чувствительной пленкой, называемой резистом (экспонирование). [1] Электронный луч изменяет растворимость резиста, позволяя избирательно удалять открытые или неоткрытые участки резиста путем его погружения в растворитель (проявка). Цель, как и в случае с фотолитографией , - создать в резисте очень маленькие структуры, которые впоследствии могут быть перенесены на материал подложки, часто путем травления.

Основное преимущество электронно-лучевой литографии заключается в том, что она может рисовать нестандартные узоры (прямая запись) с разрешением менее 10 нм . Эта форма литографии без маски имеет высокое разрешение и низкую пропускную способность, что ограничивает ее использование изготовлением фотошаблонов , мелкосерийным производством полупроводниковых устройств, а также исследованиями и разработками .

Системы [ править ]

Системы электронно-лучевой литографии, используемые в коммерческих приложениях, представляют собой специализированные системы записи с использованием электронного луча, которые очень дороги (> 1 млн долларов США). Для исследовательских приложений очень часто преобразование электронного микроскопа в систему электронно-лучевой литографии с использованием относительно недорогих аксессуаров (<100 тыс. Долларов США). Такие преобразованные системы обеспечивали ширину линий ~ 20 нм по крайней мере с 1990 года, в то время как существующие специализированные системы производили ширину линий порядка 10 нм или меньше.

Системы электронно-лучевой литографии можно классифицировать как по форме луча, так и по стратегии отклонения луча. Более старые системы использовали лучи гауссовой формы и сканировали эти лучи в растровой форме. В более новых системах используются профилированные лучи, которые могут отклоняться в различные положения в поле письма (это также известно как векторное сканирование ).

Источники электронов [ править ]

В системах с более низким разрешением могут использоваться термоэлектронные источники, которые обычно образуются из гексаборида лантана . Однако системы с требованиями к более высокому разрешению должны использовать источники автоэлектронной эмиссии , такие как нагретый W / ZrO 2, для меньшего разброса энергии и повышенной яркости. Источники теплового поля излучения предпочтительнее источников холодного излучения, несмотря на несколько больший размер пучка первых, поскольку они обеспечивают лучшую стабильность в течение типичного времени записи, составляющего несколько часов.

Линзы [ править ]

Могут использоваться как электростатические, так и магнитные линзы. Однако электростатические линзы имеют больше аберраций и поэтому не используются для точной фокусировки. Есть в настоящее время [ когда? ] нет механизма для создания ахроматических линз с электронным пучком, поэтому для точной фокусировки необходимы чрезвычайно узкие дисперсии энергии электронного пучка. [ необходима цитата ] [ требуется обновление ]

Этап, сшивание и выравнивание [ править ]

Полевая строчка. Сшивание - это проблема, связанная с критическими элементами, пересекающими границу поля (красная пунктирная линия).

Обычно для очень малых отклонений луча используются «линзы» электростатического отклонения, для больших отклонений луча требуется электромагнитное сканирование. Из-за неточности и из-за конечного числа шагов в сетке экспонирования поле записи составляет порядка 100 микрометров - 1 мм. Более крупные модели требуют движений сцены. Точная стадия имеет решающее значение для вышивания (выравнивание полей записи точно друг против друга) и наложения рисунка (совмещения рисунка с ранее созданным).

Время записи электронного луча [ править ]

Минимальное время облучения данной области для данной дозы определяется по следующей формуле: [2]

где - время экспонирования объекта (можно разделить на время экспонирования / размер шага), - ток луча, - доза, - это площадь облучения.

Например, предполагая площадь экспонирования 1 см 2 , дозу 10 -3 кулонов / см 2 и ток луча 10 -9 ампер, результирующее минимальное время записи будет 10 6 секунд (около 12 дней). Это минимальное время записи не включает время для перемещения столика вперед и назад, а также время для гашения луча (блокирование от пластины во время отклонения), а также время для других возможных корректировок и корректировок луча в середине. письма. Для того, чтобы покрыть 700 см 2 площади поверхности кремниевой пластины 300 мм, то минимальное время записи будет распространяться на 7 * 10 8секунд, около 22 лет. Это примерно в 10 миллионов раз медленнее, чем у современных инструментов оптической литографии. Понятно, что пропускная способность - серьезное ограничение для электронно-лучевой литографии, особенно при написании плотных узоров на большой площади.

Электронно-лучевая литография не подходит для крупносерийного производства из-за ее ограниченной производительности. Меньшее поле записи электронного луча обеспечивает очень медленную генерацию рисунка по сравнению с фотолитографией (текущий стандарт), потому что для формирования окончательной области рисунка необходимо сканировать больше полей экспонирования (≤ мм 2 для электронного луча против ≥ 40 мм 2 для оптического сканер проекции маски). Сцена перемещается между полевыми сканированиями. Поле электронного луча достаточно мало, чтобы растровое или змеевидное движение предметного столика потребовалось, например, для создания рисунка области 26 мм X 33 мм, тогда как в сканере фотолитографии только одномерное движение поля щели 26 мм X 2 мм будет требуется.

В настоящее время оптический maskless литографии инструмент [3] гораздо быстрее , чем инструмент электронного пучка , используемого при том же разрешении для фотошаблона паттерна.

Дробовой шум [ править ]

По мере уменьшения размеров элементов количество падающих электронов при фиксированной дозе также уменьшается. Как только это число достигает ~ 10000, эффекты дробового шума становятся преобладающими, что приводит к существенному изменению естественной дозы в большой популяции объектов. С каждым последующим технологическим узлом, поскольку площадь объекта уменьшается вдвое, минимальная доза должна удваиваться, чтобы поддерживать тот же уровень шума. Следовательно, производительность инструмента будет уменьшаться вдвое с каждым последующим узлом процесса.

диаметр элемента (нм)минимальная доза для 5% погрешности дозы один на миллион (мкКл / см 2 )
40127
28260
20509
141039
102037 г.
74158

Примечание: 1 ppm населения составляет около 5 стандартных отклонений от средней дозы.

Ссылка: SPIE Proc. 8683-36 (2013)

Дробовой шум играет важную роль даже при изготовлении маски. Например, коммерческий маска электронного пучка резиста , как FEP-171 будет использовать дозы менее 10 мкКл / см 2 , [4] [5] , тогда как это приводит к заметному дробового шума для целевого диска даже порядка ~ 200 нм на маске. [6] [7]

Дефекты электронно-лучевой литографии [ править ]

Несмотря на высокое разрешение электронно-лучевой литографии, образование дефектов во время электронно-лучевой литографии часто не рассматривается пользователями. Дефекты можно разделить на две категории: дефекты, связанные с данными, и физические дефекты.

Дефекты, связанные с данными, можно разделить на две подкатегории. Ошибки гашения или отклонения возникают, когда электронный луч не отклоняется должным образом, когда это необходимо, в то время как ошибки формирования возникают в системах с лучами переменной формы, когда на образец проецируется неправильная форма. Эти ошибки могут возникать либо из-за оборудования электронного оптического управления, либо из-за записанных на пленку входных данных. Как и следовало ожидать, файлы данных большего размера более подвержены дефектам, связанным с данными.

Физические дефекты более разнообразны и могут включать в себя зарядку образца (отрицательную или положительную), ошибки расчета обратного рассеяния, ошибки дозы, запотевание (отражение обратно рассеянных электронов на большие расстояния), выделение газа, загрязнение, дрейф луча и частицы. Поскольку время записи для электронно-лучевой литографии может легко превышать сутки, вероятность возникновения «случайно возникающих» дефектов выше. Здесь снова большие файлы данных могут предоставить больше возможностей для дефектов.

Дефекты фотошаблона в основном возникают во время литографии электронным пучком, используемой для определения рисунка.

Вложение энергии электронов в вещество [ править ]

Траектории электронов в резисте: падающий электрон (красный) производит вторичные электроны (синий). Иногда падающий электрон может сам рассеиваться обратно, как показано здесь, и покидать поверхность резиста (янтарного цвета).

Первичные электроны в падающем пучке теряют энергию при входе в материал из-за неупругого рассеяния или столкновений с другими электронами. При таком столкновении передача импульса от налетающего электрона к атомному электрону может быть выражена как [8] , где b - расстояние наибольшего сближения между электронами, а v - скорость налетающего электрона. Энергия, передаваемая при столкновении, определяется выражением , где m - масса электрона, а E - энергия налетающего электрона, определяемая выражением . Путем интегрирования по всем значениям T между самой низкой энергией связи E 0и энергия падающая, можно получить результат , что общее сечение для столкновений обратно пропорционально энергии падающей и пропорционально 1 / E 0 - 1 / E . Как правило, E >> E 0 , поэтому результат по существу обратно пропорционален энергии связи.

Используя тот же подход интегрирования, но в диапазоне от 2E 0 до E , можно получить путем сравнения поперечных сечений, что половина неупругих столкновений падающих электронов производит электроны с кинетической энергией больше, чем E 0 . Эти вторичные электроны способны разорвать связи (с энергией связи E 0 ) на некотором расстоянии от исходного столкновения. Кроме того, они могут генерировать дополнительные электроны с меньшей энергией, что приводит к возникновению электронного каскада . Следовательно, важно признать значительный вклад вторичных электронов в разброс энергозатрат.

В общем, для молекулы AB: [9]

е - + AB → AB - → A + B -

Эта реакция, также известная как «прилипание электрона» или «диссоциативное прикрепление электрона», наиболее вероятно произойдет после того, как электрон существенно замедлится до полной остановки, поскольку в этой точке его легче всего захватить. Поперечное сечение прилипания электронов обратно пропорционально энергии электронов при высоких энергиях, но приближается к максимальному предельному значению при нулевой энергии. [10] С другой стороны, уже известно, что длина свободного пробега при самых низких энергиях (от нескольких до нескольких эВ или меньше, где диссоциативное присоединение является значительным) значительно превышает 10 нм, [11] [12], таким образом, ограничивая способность последовательно достигать разрешения в этом масштабе.

Возможность разрешения [ править ]

Миграция электронов с низкой энергией. Расстояние (r), которое проходит электрон с низкой энергией, влияет на разрешение и может составлять не менее нескольких нанометров.

С современной электронной оптикой ширина электронного пучка может обычно уменьшаться до нескольких нанометров. Это ограничено в основном аберрациями и объемным зарядом . Однако предел разрешения элемента определяется не размером луча, а прямым рассеянием (или эффективным расширением луча) в резисте , в то время как предел разрешения по высоте определяется перемещением вторичных электронов в резисте . [13] [14] Эта точка зрения была подтверждена демонстрацией в 2007 году двойного формирования рисунка с использованием электронно-лучевой литографии при изготовлении зонных пластин с половинным шагом 15 нм. [15]Хотя элемент 15 нм был разрешен, шаг 30 нм все еще был затруднен из-за рассеяния вторичных электронов от соседнего элемента. Использование двойного паттерна позволило увеличить расстояние между элементами, чтобы значительно уменьшить вторичное рассеяние электронов.

Прямое рассеяние можно уменьшить, используя электроны с более высокой энергией или более тонкий резист, но генерация вторичных электронов неизбежна. В настоящее время признано, что для изоляционных материалов, таких как ПММА , электроны с низкой энергией могут перемещаться на довольно большие расстояния (возможно несколько нм). Это связано с тем, что ниже потенциала ионизации единственный механизм потери энергии происходит в основном через фононы и поляроны . Хотя последний в основном является эффектом ионной решетки, прыжки поляронов [16] могут достигать 20 нм. [17] Расстояние пробега вторичных электроновне является физическим значением, полученным фундаментально, а является статистическим параметром, часто определяемым в результате множества экспериментов или моделирования методом Монте-Карло до значений <1 эВ. Это необходимо, поскольку энергетическое распределение вторичных электронов достигает максимума ниже 10 эВ. [18] Следовательно, предел разрешения обычно не указывается как фиксированное число, как в случае системы с ограничением оптической дифракции. [13] Воспроизводимость и контроль на практическом пределе разрешения часто требуют рассмотрения, не связанного с формированием изображения, например, развития сопротивления и межмолекулярных сил.

Исследование Колледжа наноразмерных наук и инженерии (CNSE), представленное на семинаре EUVL 2013, показало, что в качестве меры размытия электронов электроны с энергией 50-100 эВ легко проникают за пределы толщины резиста 10 нм в PMMA или коммерческом резисте. Кроме того, возможен пробой диэлектрика. [19] Более поздние исследования показали, что резист толщиной 20 нм может быть пронизан электронами с низкой энергией (достаточной дозой), а электронно-лучевая литография с половинным шагом менее 20 нм уже требует двойного рисунка. [20] [21]

Рассеяние [ править ]

Помимо образования вторичных электронов, первичные электроны падающего луча с энергией, достаточной для проникновения в резист, могут многократно рассеиваться на большие расстояния от нижележащих пленок и / или подложки. Это приводит к засветке участков, находящихся на значительном удалении от желаемого места экспонирования. Для более толстых резистов, когда первичные электроны движутся вперед, у них есть увеличивающаяся возможность рассеиваться вбок от места, определяемого лучом. Это рассеяние называется рассеянием вперед . Иногда первичные электроны рассеиваются под углами, превышающими 90 градусов, т. Е. Они больше не продвигаются дальше в резист. Эти электроны называются электронами, рассеянными назад, и имеют тот же эффект, что и дальнодействующие вспышки.в оптических проекционных системах. Достаточно большая доза обратно рассеянных электронов может привести к полному обнажению резиста на площади, намного большей, чем определено пятном луча.

Эффект близости [ править ]

Самые мелкие элементы, полученные с помощью электронно-лучевой литографии, как правило, были изолированными элементами, поскольку вложенные элементы усиливают эффект близости , в результате чего электроны от экспонирования соседней области перетекают в экспонирование записанного в данный момент элемента, эффективно увеличивая его изображение и уменьшая его контраст, т.е. разница между максимальной и минимальной интенсивностью. Следовательно, сложнее контролировать разрешение вложенных функций. Для большинства резистов трудно опускаться ниже 25 нм линий и промежутков, и был найден предел в 20 нм линий и промежутков. [22] В действительности, однако, диапазон вторичного рассеяния электронов довольно велик, иногда превышая 100 нм [23], но становится очень значительным ниже 30 нм. [24]

Эффект близости также проявляется в том, что вторичные электроны покидают верхнюю поверхность резиста и затем возвращаются на расстояние в несколько десятков нанометров. [25]

Эффекты близости (из-за рассеяния электронов) можно устранить, решив обратную задачу и вычислив функцию воздействия E (x, y), которая приводит к распределению дозы, максимально приближенному к желаемой дозе D (x, y), когда свертывается с помощью функция рассеяния точки распределения PSF (x, y) . Однако следует помнить, что ошибка в применяемой дозе (например, из-за дробового шума) приведет к сбою коррекции эффекта близости.

Зарядка [ править ]

Поскольку электроны являются заряженными частицами, они имеют тенденцию заряжать подложку отрицательно, если они не могут быстро получить доступ к земле. Для пучка высокой энергии, падающего на кремниевую пластину, практически все электроны останавливаются в пластине, где они могут следовать по пути к земле. Однако для кварцевой подложки, такой как фотошаблон, внедренным электронам потребуется гораздо больше времени, чтобы переместиться на землю. Часто отрицательный заряд, приобретаемый подложкой, может быть компенсирован или даже превышен положительным зарядом на поверхности из-за вторичной электронной эмиссии в вакуум. Наличие тонкого проводящего слоя над или под резистом, как правило, имеет ограниченное применение для электронных пучков с высокой энергией (50 кэВ или более), поскольку большинство электронов проходят через слой в подложку. Слой рассеивания заряда обычно используется только около 10 кэВ или ниже, поскольку резист тоньше, и большая часть электронов либо останавливается в резисте, либо близко к проводящему слою. Однако они имеют ограниченное применение из-за высокого сопротивления листа, что может привести к неэффективному заземлению.

Диапазон вторичных электронов с низкой энергией (самый большой компонент популяции свободных электронов в системе резист-подложка), которые могут вносить вклад в зарядку, не является фиксированным числом, но может варьироваться от 0 до 50 нм (см. Раздел Новые границы и крайняя ультрафиолетовая литография ). Следовательно, зарядка резиста-подложки не повторяется, и ее сложно компенсировать постоянно. Отрицательная зарядка отклоняет электронный луч от заряженной области, а положительная зарядка отклоняет электронный луч в сторону заряженной области.

Характеристики электронного лучевого сопротивления [ править ]

Из-за того, что эффективность разрыва обычно на порядок выше, чем эффективность сшивания, большинство полимеров, используемых для электронно-лучевой литографии с положительным тоном, будут сшиваться (и, следовательно, станут отрицательным тоном) при дозах на порядок величины, чем дозы, используемые для воздействия положительным тоном. . [26] Такое большое увеличение дозы может потребоваться, чтобы избежать эффекта дробового шума. [27] [28] [29]

Исследование, проведенное в Военно-морской исследовательской лаборатории [30], показало, что электроны с низкой энергией (10–50 эВ) способны разрушать пленки ПММА толщиной ~ 30 нм. Ущерб проявился как материальная потеря.

  • Для популярного электронно-лучевого резиста ZEP-520 был найден предел разрешения шага 60 нм (30 нм линий и промежутков), независимо от толщины и энергии луча. [31]
  • Разрешение 20 нм также было продемонстрировано с использованием электронного пучка 3 нм 100 кэВ и резиста из ПММА. [32] Неэкспонированные промежутки в 20 нм между открытыми линиями свидетельствуют о случайном воздействии вторичных электронов.
  • Водородсилсесквиоксан (HSQ) представляет собой резист отрицательного тона, который способен формировать изолированные линии шириной 2 нм и периодические точечные массивы 10 нм (шаг 10 нм) в очень тонких слоях. [33] HSQ сам по себе похож на пористый гидрированный SiO 2 . Его можно использовать для травления кремния, но не диоксида кремния или других подобных диэлектриков.

В 2018 году был разработан тиоленовый резист, который имеет нативные реактивные поверхностные группы, что позволяет напрямую функционализировать поверхность резиста биомолекулами. [34]

Новые рубежи [ править ]

Чтобы обойти вторичную генерацию электронов, необходимо будет использовать низкоэнергетические электроны в качестве первичного излучения для экспонирования резиста. В идеале эти электроны должны иметь энергию порядка не более нескольких эВ , чтобы обнажить резист без генерации каких-либо вторичных электронов, поскольку у них не будет достаточной избыточной энергии. Такое экспонирование было продемонстрировано с использованием сканирующего туннельного микроскопа в качестве источника электронного луча. [35] Данные показывают, что электроны с энергией всего 12 эВ могут проникать через полимерный резист толщиной 50 нм. Недостатком использования электронов с низкой энергией является то, что трудно предотвратить распространение электронного луча в резисте. [36]Электронно-оптические системы с низким энергопотреблением также сложно разработать для обеспечения высокого разрешения. [37] Кулоновское межэлектронное отталкивание всегда становится более сильным при более низкой энергии электронов.

Литография сканирующего зонда. Сканирующий зонд может использоваться для литографии низкоэнергетическим электронным пучком, обеспечивая разрешение менее 100 нм, определяемое дозой низкоэнергетических электронов.

Другой альтернативой электронно-лучевой литографии является использование чрезвычайно высоких энергий электронов (не менее 100 кэВ) для «сверления» или распыления материала. Это явление часто наблюдается в просвечивающей электронной микроскопии . [38] Однако это очень неэффективный процесс из-за неэффективной передачи импульса от электронного пучка к материалу. В результате это медленный процесс, требующий гораздо большего времени экспонирования, чем обычная электронно-лучевая литография. Также лучи высокой энергии всегда вызывают беспокойство о повреждении основания.

Интерференционная литография с использованием электронных лучей - еще один возможный путь создания массивов с периодами нанометрового масштаба. Ключевым преимуществом использования электронов перед фотонами в интерферометрии является гораздо более короткая длина волны при той же энергии.

Несмотря на различные сложности и тонкости электронно-лучевой литографии при разных энергиях, она остается наиболее практичным способом сконцентрировать большую часть энергии на минимальной площади.

Был проявлен значительный интерес к развитию подходов к литографии с использованием нескольких пучков электронов с целью увеличения производительности. Эта работа была поддержана SEMATECH и начинающими компаниями, такими как Multibeam Corporation , [39] Mapper [40] и IMS. [41] IMS Nanofabrication коммерциализировала многолучевой маскрайтер и начала его внедрение в 2016 году. [42]

См. Также [ править ]

  • Электронно-лучевая технология
  • Ионно-лучевая литография
  • Литография без маски
  • Фотолитография

Ссылки [ править ]

  1. ^ МакКорд, Массачусетс; MJ Rooks (2000). «2» . Справочник SPIE по микролитографии, микрообработке и микротехнологии .
  2. ^ Паркер, Северо-Запад; и другие. (2000). «Высокопроизводительная система электронно-лучевой литографии с прямой записью на газоконденсатном газе». Proc. ШПИОН . Новые литографические технологии IV. 3997 : 713. Bibcode : 2000SPIE.3997..713P . DOI : 10.1117 / 12.390042 . S2CID 109415718 . 
  3. ^ Более быстрая и низкая стоимость создания рисунка на фотомаске 65 нм и 45 нм [ мертвая ссылка ]
  4. ^ ML Kempsell et al. , J. Microlith / Nanolith. MEMS MOEMS, т. 8, 043001 (2009).
  5. ^ Х. Сунаоши и др. , Проф. SPIE об. 6283, 628306 (2006).
  6. ^ К. Угаджин и др. , Proc. SPIE vol. 6607, 66070A (2007).
  7. ^ FT Chen et al. , Proc. SPIE vol. 8683, 868311 (2013).
  8. ^ Л. Фельдман; Дж. Майер (1986). Основы анализа поверхности и тонких пленок . 54 . С. 130–133. ISBN 978-0-444-00989-0.
  9. ^ Мейсон, Найджел Дж; Dujardin, G; Гербер, G; Gianturco, F; Maerk, TD (январь 2008 г.). «EURONanochem - Химический контроль в наномасштабе» . Словенское исследовательское агентство . Европейский космический фонд. Архивировано 20 июля 2011 года.
  10. ^ Стоффельс, E; Стоффельс, WW; Kroesen, GMW (2001). «Плазмахимия и поверхностные процессы отрицательных ионов». Наука и технологии источников плазмы . 10 (2): 311. Bibcode : 2001PSST ... 10..311S . CiteSeerX 10.1.1.195.9811 . DOI : 10.1088 / 0963-0252 / 10/2/321 . 
  11. ^ Сеа, член парламента; Денч, Вашингтон (1979). «Количественная электронная спектроскопия поверхностей: стандартная база данных для электронной неупругой длины свободного пробега в твердых телах». Поверхностный и интерфейсный анализ . 1 : 2. дои : 10.1002 / sia.740010103 .
  12. ^ Tanuma, S .; Пауэлл, CJ; Пенн, Д.Р. (1994). «Расчеты неупругих длин свободного пробега электронов. V. Данные для 14 органических соединений в диапазоне 50–2000 эВ». Поверхностный и интерфейсный анализ . 21 (3): 165. DOI : 10.1002 / sia.740210302 .
  13. ^ a b Broers, AN; и другие. (1996). «Электронно-лучевая литография. Пределы разрешения». Микроэлектронная инженерия . 32 (1–4): 131–142. DOI : 10.1016 / 0167-9317 (95) 00368-1 .
  14. Перейти ↑ KW Lee (2009). "Генерация вторичных электронов в твердых телах, облученных электронным пучком: пределы разрешения нанолитографии" . J. Kor. Phys. Soc . 55 (4): 1720. Bibcode : 2009JKPS ... 55.1720L . DOI : 10,3938 / jkps.55.1720 . Архивировано из оригинала на 2011-07-22.
  15. ^ SPIE Newsroom: Двойная экспозиция обеспечивает плотную дифракционную оптику с высоким разрешением . Spie.org (3 ноября 2009 г.). Проверено 27 августа 2011.
  16. ^ Dapor, M .; и другие. (2010). «Моделирование методом Монте-Карло в низкоэнергетической области вторичной электронной эмиссии полиметилметакрилата для сканирующей электронной микроскопии критических размеров». J. Micro / Nanolith. MEMS MOEMS . 9 (2): 023001. DOI : 10,1117 / 1,3373517 .
  17. ^ PT Хендерсон; и другие. (1999). «Перенос заряда на большие расстояния в дуплексной ДНК: механизм прыжков, подобный полярону с помощью фононов» . Proc. Natl. Акад. Sci. США . 96 (15): 8353–8358. Bibcode : 1999PNAS ... 96.8353H . DOI : 10.1073 / pnas.96.15.8353 . PMC 17521 . PMID 10411879 .  
  18. ^ Х. Зайлер (1983). «Вторичная электронная эмиссия в растровом электронном микроскопе». J. Appl. Phys . 54 (11): R1 – R18. Bibcode : 1983JAP .... 54R ... 1S . DOI : 10.1063 / 1.332840 .
  19. ^ G. Denbeaux et al. , 2013 Международный семинар по EUV-литографии.
  20. ^ Сложности пределов разрешения передовой литографии
  21. ^ Пределы разрешения
  22. ^ JA Liddle; и другие. (2003). «Требования к сопротивлению и ограничения для наноразмерной электронно-лучевой структуры» . Mater. Res. Soc. Symp. Proc . 739 (19): 19–30.
  23. Перейти ↑ Ivin, V (2002). «Включение вторичных электронов и тормозного рентгеновского излучения в модель сопротивления электронного пучка». Микроэлектронная инженерия . 61-62: 343. DOI : 10.1016 / S0167-9317 (02) 00531-2 .
  24. ^ Ямадзаки, Кендзи; Курихара, Кенджи; Ямагути, Тору; Намацу, Хидео; Нагасе, Масао (1997). «Новый эффект близости, включая развитие резиста в зависимости от структуры в электронно-лучевой нанолитографии». Японский журнал прикладной физики . 36 (12B): 7552. Bibcode : 1997JaJAP..36.7552Y . DOI : 10,1143 / JJAP.36.7552 .
  25. ^ Renoud, R; Аттард, С; Ganachaud, JP; Бартоломе, S; Дубус, А (1998). «Влияние на выход вторичных электронов объемного заряда, индуцированного в изолирующей мишени электронным пучком». Журнал физики: конденсированное вещество . 10 (26): 5821. Bibcode : 1998JPCM ... 10.5821R . DOI : 10.1088 / 0953-8984 / 10/26/010 .
  26. ^ JN Helbert et al., Macromolecules , vol. 11, 1104 (1978).
  27. ^ MJ Wieland et al. , Proc. SPIE vol. 7271, 72710O (2009)
  28. ^ FT Chen et al. , Proc. SPIE vol. 8326, 83262L (2012 г.)
  29. ^ П. Круит и др. , J. Vac. Sci. Tech. В 22, 2948 (2004).
  30. Перейти ↑ Bermudez, VM (1999). «Эффекты низкоэнергетического электронного луча на полиметилметакрилатных пленках резиста». Журнал вакуумной науки и техники В . 17 (6): 2512. Bibcode : 1999JVSTB..17.2512B . DOI : 10.1116 / 1.591134 .
  31. ^ Х. Ян и др. , Труды 1-го IEEE Intl. Конф. по нано / микротехнике и молекулярным системам, стр. 391–394 (2006).
  32. ^ Камминг, DRS; Thoms, S .; Бомонт, СП; Уивер, JMR (1996). «Изготовление проволоки 3 нм с использованием литографии электронным пучком 100 кэВ и полиметилметакрилатного резиста». Письма по прикладной физике . 68 (3,) Центр нанотехнологий Джеймса Ватта ): 322. Bibcode : 1996ApPhL..68..322C . DOI : 10.1063 / 1.116073 .
  33. ^ Manfrinato, Vitor R .; Чжан, Лихуа; Су, Донг; Дуань, Хуйгао; Хоббс, Ричард Дж .; Стах, Эрик А .; Берггрен, Карл К. (2013). «Пределы разрешения электронно-лучевой литографии в атомном масштабе» (PDF) . Nano Lett . 13 (4): 1555–1558. Bibcode : 2013NanoL..13.1555M . DOI : 10.1021 / nl304715p . hdl : 1721,1 / 92829 . PMID 23488936 .  
  34. ^ Шафаг, Реза; Вестессон, Александр; Го, Вэйцзинь; ван дер Вейнгарт, Воутер; Харальдссон, Томми (2018). "Электронно-лучевая наноструктуризация и биофункциональная обработка тиол-энэрезиста прямым щелчком" . ACS Nano . 12 (10): 9940–9946. DOI : 10.1021 / acsnano.8b03709 . PMID 30212184 . 
  35. ^ ЦРК Марриан (1992). «Электронно-лучевая литография на сканирующем туннельном микроскопе» . Журнал вакуумной науки и техники . 10 (B): 2877–2881. Bibcode : 1992JVSTB..10.2877M . DOI : 10.1116 / 1.585978 .
  36. ^ TM Mayer; и другие. (1996). «Автоэмиссионные характеристики сканирующего туннельного микроскопа для нанолитографии» . Журнал вакуумной науки и техники . 14 (B): 2438–2444. Bibcode : 1996JVSTB..14.2438M . DOI : 10.1116 / 1.588751 .
  37. ^ LS Hordon; и другие. (1993). «Пределы оптики низкоэнергетических электронов». Журнал вакуумной науки и техники . 11 (B): 2299–2303. Bibcode : 1993JVSTB..11.2299H . DOI : 10.1116 / 1.586894 .
  38. ^ Эгертон, РФ; и другие. (2004). «Радиационные повреждения в ТЭМ и РЭМ». Микрон . 35 (6): 399–409. DOI : 10.1016 / j.micron.2004.02.003 . PMID 15120123 . 
  39. ^ Multibeam Corporation . Multibeamcorp.com (04.03.2011). Проверено 27 августа 2011.
  40. ^ Mapper Литография архивации 2016-12-20 в Wayback Machine . Картографическая литография (18 января 2010 г.). Проверено 27 августа 2011.
  41. ^ Нанофабрикации IMS . IMS Nanofabrication (07.12.2011). Проверено 28 февраля 2019.
  42. ^ Нанофабрикации IMS . IMS Nanofabrication (07.12.2011). Проверено 28 февраля 2019.