Электростатическое напыление из паровой фазы ( ESAVD ) - это метод (разработанный компанией IMPT) для нанесения как тонких, так и толстых слоев покрытия на различные подложки . Проще говоря, химические прекурсоры распыляются через электростатическое поле на нагретую подложку, химические вещества подвергаются контролируемой химической реакции и осаждаются на подложке в виде необходимого покрытия. Методы электростатического напыления были разработаны в 1950-х годах для напыления ионизированных частиц на заряженные или нагретые подложки. [1]
ESAVD (торговая марка IMPT как Layatec) используется для многих приложений на многих рынках, включая:
- Термобарьерные покрытия для лопаток турбин реактивных двигателей
- Различные тонкие слои при производстве плоских дисплеев и фотоэлектрических панелей, тонкопленочные солнечные элементы на основе CIGS и CZTS.
- Электронные компоненты
- Биомедицинские покрытия
- Покрытия для стекла (например, самоочищающиеся)
- Покрытия для защиты от коррозии
Этот процесс имеет преимущества по сравнению с другими методами осаждения слоев (плазменным, электронно-лучевым) в том, что он не требует использования вакуума , электронного луча или плазмы, что снижает производственные затраты. Он также потребляет меньше энергии и сырья, что делает его более экологически чистым. Кроме того, использование электростатического поля означает, что процесс может легко покрывать сложные трехмерные детали.
Рекомендации
- ^ Рупп, Джоэл; Гаффи, Эри; Якобсен, Гэри. «Электростатические распылительные процессы» . TW Ransburg Electrostatic Systems, в отделке металлов 2012 Руководство по органической отделке . Эльзевир. п. 126-127. 2012 г.
дальнейшее чтение
- "Кван-Леонг Чой - укладывая его на толстые и тонкие". Мир материалов . Июнь 2003 г. Электростатическое осаждение из паровой фазы (ESAVD), о котором впервые было сообщено в « Materials World» в марте 1998 г., представляет собой метод изготовления пленок и нанокристаллических порошков. Изобретатель описывает продолжающийся прогресс.
- Чой, К.Л., «Принципы процесса и применение новых и экономичных методов, основанных на ESAVD», в « Инновационная обработка пленок и нанокристаллических порошков» , К.Л. Чой. изд. (Всемирная научная издательская компания). 2002. С. 15–69. ISBN 1-86094-316-0 .
- Choy, KL, "Обзор достижений в методах обработки: пленки и нанокристаллические порошки", в Innovative Processing of Films and Nanocrystalline Powders , Choy, KL ed. (Imperial College Press), 2002, 1–14. ISBN 1-86094-316-0
- Чой К.Л., Progress in Materials Science , 48, 57 (2003).
- Чой, К.Л., "Обработка наноструктурированных материалов паром", в Справочнике по наноструктурированным материалам и нанотехнологиям , Nalwa, HS ed. (Академик Пресс) 2000, 533. ISBN 0-12-513760-5 . Choy, KL, Feist, JP, Heyes, AL и Su, B., J. Mater. Res. 14 (1999) 3111.
- Чой, К.Л., "Инновационное и экономичное нанесение покрытий методом ESAVD", Surface Engineering , 16 (2000) 465.
- Р. Чандрасекар и К.Л. Чой, «Электростатическое напыление при помощи парофазного осаждения легированного фтором оксида олова», Journal of Crystal Growth , 231 (1-2) (2001) 215.