Вариация фокуса - это метод, используемый для повышения резкости изображений и измерения неровностей поверхности с помощью оптики с ограниченной глубиной резкости . [1]
Алгоритм [ править ]
Алгоритм работы следующий:
- сначала снимаются изображения с разным фокусом. Это достигается перемещением образца или оптики относительно друг друга.
- затем для каждой позиции вычисляется фокус над каждой плоскостью
- плоскость с наилучшей фокусировкой используется для получения резкого изображения. соответствующая глубина дает глубину в этом положении -
Оптика [ править ]
Для изменения фокуса требуется оптика с очень небольшой глубиной резкости . Это можно реализовать, если использовать микроскопию, такую как оптика, и объектив микроскопа. Эти объективы имеют высокую числовую апертуру, что обеспечивает небольшую глубину резкости.
Использование [ править ]
Этот метод используется для оптической метрологии поверхности и координатно-измерительных машин . Это означает измерение формы, волнистости и шероховатости образцов. [2] С помощью оптимизированных аппаратных и программных компонентов можно достичь горизонтального разрешения 500 нм (ограничение длины волны света) и вертикального разрешения в несколько нм.
Преимущества и недостатки [ править ]
Преимущества:
- может использоваться на образцах с крутыми склонами. Это связано с тем, что кольцевой светильник можно использовать для увеличения апертуры освещения.
- может предоставить информацию о цвете
- может измерять на грубых поверхностях
Недостатки:
- нельзя использовать, если поверхность образца не дает структуры на изображении. Это означает, что его нельзя использовать для вафель и стекла.
Стандартизация [ править ]
Комитет ISO работает над новой серией стандартов ISO, которая называется серией ISO 25178 . Документ части 6 описывает доступные методы измерения шероховатости . Вариация фокуса - один из описанных методов.
См. Также [ править ]
Ссылки [ править ]
- ^ Аликона. «Изменение фокуса - надежная технология для оптической трехмерной метрологии поверхности с высоким разрешением» (PDF) . Проверено 28 сентября 2017 года .
- ^ Бурмудес, Карлос. «Вариация фокуса активного освещения» . Проверено 22 октября 2020 года .
