Перейти к навигации Перейти к поиску
Hardmask представляет собой материал , используемый в полупроводниковой обработки , как травление маски вместо полимера или других органических «мягкой» резиста материал. Идея состоит в том, что полимеры имеют тенденцию легко травиться кислородом , фтором , хлором или другими химически активными газами до такой степени, что узор, определенный с помощью полимерной маски, быстро разрушается во время плазменного травления .
 | Этот материал о связанной статье заглушка . Вы можете помочь Википедии, расширив ее . |