Джонатан Харрис Орлофф (род. 1942) - американский физик , писатель и профессор. Родился в Нью-Йорке, он старший сын Монфорда Орлоффа и брат пианистки Кэрол Орлофф и историка Честера Орлоффа . Орлофф известен своими основными областями исследований в оптике заряженных частиц, применениях процессов полевой эмиссии, источниках электронов и ионов высокой яркости, сфокусированных ионных и электронных пучках и их применениях для микрообработки, анализа поверхности и микроскопии, а также разработки приборов для производства полупроводниковых устройств. .
Карьера
Орлов получил степень бакалавра физики в Массачусетском технологическом институте в 1964 году и степень доктора философии. Он получил степень бакалавра прикладной физики в Орегонском аспирантуре в 1977 году. Между тем он изучал экспериментальную ядерную физику в Университете Питтсбурга , а с 1970 года работал в небольшой компании, которая пыталась продавать просвечивающий электронный микроскоп с электростатическими линзами. Предприятие ТЕМ было неудачным, и в 1973 году его забросили. Интерес Орлова к электронной оптике привел к тому, что он получил докторскую степень. в OGC в 1974 году под эгидой Линвуда В. Суонсона. [1] С 1978 по 1985 год он был доцентом прикладной физики в Орегонском аспирантуре и консультантом исследовательских лабораторий Хьюза . С 1984 по 1993 год он был профессором кафедры прикладной физики и электротехники. Летом 1985 года по приглашению CNRS Laboratoire de Microstructures et Microelectronique по приглашению поехал во Францию в качестве приглашенного ученого в лабораторию CNRS Laboratoire de Microstructures et Microelectronique в Банье. Во время работы в OGC он разработал технологию сфокусированного ионного пучка высокого разрешения (FIB) и проектировал оптику для компании FEI , четвертым партнером которой он был и где он также входил в совет директоров. Его отец Монфорд Орлофф был председателем FEI до своего выхода на пенсию в 1997 году. Орлофф был профессором Университета Мэриленда, Колледж-Парк на факультете электротехники и вычислительной техники с 1993 года до выхода на пенсию в 2006 году. [2] Он является автором или соавтором. - автор более 80 публикаций, включая статью в Scientific American и книги « Справочник по оптике заряженных частиц» , редактором которых он является, и « Сфокусированные ионные пучки высокого разрешения» с Л. В. Свенсоном и М. В. Утлаутом. Он является почетным профессором Мэрилендского университета в Колледж-Парке.
Организационная принадлежность
- Консультативный комитет конференции по электронам, ионно-фотонным лучам и нанотехнологиям, на которой он ранее был председателем конференции
- Институт инженеров по электротехнике и электронике
- Американская ассоциация развития науки
Награды
- Премия Президента Национального научного фонда молодым исследователям в области физики (1984).
- Грант корпорации IBM за выдающиеся достижения в области электронной оптики (1983 г.).
- Сотрудник IEEE (2001)
- Сотрудник AAAS (2001)
Библиография основных публикаций
- Орлофф, Джон; Swanson, LW; Утлаут, М. (1996). «Фундаментальные ограничения разрешения изображения для сфокусированных ионных пучков». Журнал вакуумной науки и технологий B: Микроэлектроника и нанометрические структуры . Американское вакуумное общество. 14 (6): 3759. DOI : 10,1116 / 1,588663 . ISSN 0734-211X .
- Ван, Ли; Орлофф, Джон; Тан, Тяньтун (1995). «Исследование устройств пространственного заряда для систем сфокусированного ионного пучка». Журнал вакуумной науки и технологий B: Микроэлектроника и нанометрические структуры . Американское вакуумное общество. 13 (6): 2414. DOI : 10,1116 / 1,588011 . ISSN 0734-211X .
- Орлофф, Джон (1993). «Сфокусированные ионные пучки высокого разрешения». Обзор научных инструментов . Издательство AIP. 64 (5): 1105–1130. DOI : 10.1063 / 1.1144104 . ISSN 0034-6748 .
- Сато, М .; Орлов, Дж. (1992). «Новая концепция теоретического разрешения оптической системы, сравнение с экспериментом и оптимальные условия для точечного источника». Ультрамикроскопия . Elsevier BV. 41 (1–3): 181–192. DOI : 10.1016 / 0304-3991 (92) 90107-U . ISSN 0304-3991 .
- Сато, М .; Орлов, Дж. (1991). «Метод расчета плотности тока пучков заряженных частиц и влияния конечного размера источника, а также сферических и хроматических аберраций на характеристики фокусировки». Журнал вакуумной науки и технологий B: Микроэлектроника и нанометрические структуры . Американское вакуумное общество. 9 (5): 2602. DOI : 10,1116 / 1,585700 . ISSN 0734-211X .
- Орлов, Дж .; Li, J.-Z .; Сато, М. (1991). «Экспериментальное исследование размера зонда сфокусированного ионного пучка и сравнение с теорией». Журнал вакуумной науки и технологий B: Микроэлектроника и нанометрические структуры . Американское вакуумное общество. 9 (5): 2609. DOI : 10,1116 / 1,585701 . ISSN 0734-211X .
- Дж. Пуретц, Р. К. Де Фриз, Р. А. Эллиот, Дж. Орлофф и Т. Л. Паоли, Работа диодных лазеров с фазовой синхронизацией мощностью 300 мВт, Электронные письма, 29 января 1987 г., Vol. 23, № 3, с. 130–131.
- Sudraud, P .; Орлов, Дж .; Бенассаяг, Г. (1986). «Влияние углеродсодержащих газов и вторичной электронной бомбардировки на жидкометаллический источник ионов» . Le Journal de Physique Colloques . EDP Sciences. 47 (C7): 381–387. DOI : 10,1051 / jphyscol: 1986765 . ISSN 0449-1947 .
- Орлов, Дж .; Суонсон, LW (1979). «Асимметричная электростатическая линза для автоэмиссионных микрозондов». Журнал прикладной физики . Издательство AIP. 50 (4): 2494–2501. DOI : 10.1063 / 1.326260 . ISSN 0021-8979 .
- Орлов, Дж .; Суонсон, LW (1978). «Мелкофокусные ионные пучки с полевой ионизацией». Журнал вакуумной науки и техники . Американское вакуумное общество. 15 (3): 845–848. DOI : 10.1116 / 1.569610 . ISSN 0022-5355 .
- Сфокусированные ионные пучки высокого разрешения: FIB и его приложения , совместно с Л. Свансоном и М. Утлаутом, 2003 г., Springer Press, Нью-Йорк.
- Справочник по оптике заряженных частиц , CRC Press, Boca Raton 1st Ed. (1997), 2-е изд. (2009), J. Orloff, Ed.
Рекомендации
- ↑ JH Orloff, Сканирующий ионный микроскоп с источником ионизации поля , Ph.D. диссертация, Центр выпускников Орегона, декабрь 1976 г., стр. 168-9.
- ^ Университет штата Мэриленд Факультет электротехники и вычислительной техники Архивированные 2010-06-07 в Wayback Machine