Роторный насос сжатия работает в циклах. В течение каждого цикла создается объем, контактирующий с камерой, в которой необходимо понизить давление. Беспорядочным движением молекулы из вакуумной камеры попадают в объем, создаваемый насосом . Затем этот объем отсекают от камеры и сжимают при контакте с односторонним клапаном. Если объем достаточно сжат, некоторые молекулы пройдут через клапан.
Представление
Максимальная эффективность роторного компрессионного насоса - это соотношение между объемом, контактирующим с вакуумом, и наименьшим сжатым объемом, контактирующим с клапаном. Если соотношение составляет 1: 1000 и насос нагнетает до атмосферного давления, максимально достижимый вакуум составляет 1/1000 атмосферного давления. Это соответствует 0,76 торр или 101,3 Па . Это ограничение делает роторные компрессионные насосы очень трудными для строительства, если необходимо достичь более низкого давления, чем примерно 1 Торр. Простота процесса делает роторный компрессионный насос дешевым и широко используется в качестве низковакуумного насоса или обратного насоса для диффузионного или турбомолекулярного насоса .