Вакуумная арматура — трубопроводная арматура, обеспечивающая выполнение своих функций при рабочих абсолютных давлениях менее 0,1 МПа (1,0 кгс/см²)[1]. К ней относятся вспомогательные, обычно типовые устройства вакуумных систем, в том числе:[2]
От вакуумной арматуры требуется весьма высокая герметичность всех её деталей и соединений и очень малое отделение газа с её стенок и уплотнителей. Соединения арматуры низкого вакуума уплотняют прокладками из вакуумной резины, подвижные штоки — сальниковыми устройствами специальной конструкции. В системах высокого и сверхвысокого вакуума для подвижных штоков обычно применяются сильфоны; прокладки для арматуры сверхвысокого вакуума делают из специальных сортов термостойкой резины, некоторых видов пластмасс, пластичных металлов[2].
Привод вакуумных клапанов и затворов может быть ручным (обозначения соответственно КСВР, ЗСВР), электропневматическим (КСВП, ЗСВП), электромагнитным (КСВМ)[3].
Теоретическая (в молекулярном режиме) проводимость U, л/с, для воздуха (M = 28,8, T = 300 K) составляет:[3]
Течения газа в вязкостном и молекулярно-вязкостном режиме могут быть рассчитаны, исходя из теории подобия; для подобных геометрически систем проводимость зависит от площади сечения, соотношения эффективных длины и диаметра, показателя адиабаты газа, числа Kn, и в меньшей степени от чисел Re и M[4].