Созданы при Петре I. Указом от 4 (15) апреля 1722 года повелено: «для смотрения всяких дел в губерниях и провинциях, чтобы во всяких делах была правда, посылать на каждый год из сенатских членов по одному, да при нём из каждой коллегии по одному члену». Ближайшие преемники Петра не придерживались этому плану и единственная ревизия была проведена в 1726 году в Московской губернии, сенатором графом А. А. Матвеевым. Только в конце царствования императрицы Екатерины II были возобновлены назначения Сенаторских ревизий для расследования обнаруженных преступлений (например в губерниях Санкт-Петербургской и Вятской)[1].
Павел I вернулся к мысли о периодических Сенаторских ревизиях. Законом 6 (17) октября 1799 года было постановлено производить ревизию каждые три года; для этого назначать сенаторов, избираемых сенатом и утверждаемых государем; ревизии подвергать: 1) течение по присутственным местам правосудия, 2) внутреннюю полицию, 3) «поборы, лихоимству толь свойственные». Все губернии, для удобнейшего объезда их сенаторами, были разделены на 8 районов[2].
В 1805 году для сенаторов, назначаемых для осмотра губерний, была составлена новая подробная инструкция. Ревизии подлежали как общие губернские учреждения (административные и судебные), так и места уездные, «равномерно все места и части, вверенные управлению министров по губерниям», то есть ведомства специальные (лесное, таможенное и т. п.). В 1817 году сенату было высочайше наказано избрать сенаторов для ревизии губерний на основании закона 1799 года; вместе с тем общему собранию сената поручено было пересмотреть инструкцию 1805 года. Результатом этого пересмотра явилась утвержденная 17 (28) марта 1819 года инструкция, дополненная в 1820 году особою инструкцией сенаторам, посылаемым в губернии специально для взыскания недоимок[2].
Законом 15 (26) июня 1832 года о мерах ко взысканию недоимок было постановлено назначать Сенаторские ревизии в такие губернии, в которых замечены особо крупные недоимки, чрезвычайные ситуации, а так же жалобы на злоупотребления чиновников; вместе с тем указано, что вообще сенаторы, отправляемые в губернии, должны обращать особое внимание на вопрос о недоимках[2].
Наконец, высочайшим поведением 22 сентября (3 октября) 1880 года разъяснено, что Сенаторская ревизия распространяется на вообще все учреждения, находящиеся в пределах обозреваемой губернии, не исключая ни судебных учреждений, образованных на основании Уставов 20 ноября 1864 г., ни земских и городских установлений.
На основании вышеизложенных узаконений составлена 245 ст. учреждения правительствующего сената издания 1892 года (соответствующая статье 256 издания 1876 г., при которой приложены были инструкции ревизующим сенаторам, в 1886 году исключенные из Свода Законов)[2].