 | У этой статьи нечеткий стиль цитирования . ( Сентябрь 2012 г. ) ( Узнайте, как и когда удалить этот шаблон сообщения ) |
Каскадно дуга является стенкой стабилизированного тепловым электрической дуги разрядом , что обеспечивает высокую плотность, низкая температура плазмы .
Общие [ править ]
Каскадно дуговой источник, разработанный в Технологическом университете Эйндховена , [1] [2] показан на рисунке , приведенном ниже. По сравнению с источниками плазмы в других линейных генераторах плазмы, этот источник может производить плазму аргона и водорода высокой плотности (соответственно 10 21 - 10 24 и 10 19 - 10 22 м -3 ) при относительно низкой температуре электронов (~ 1 эВ). Из-за высокой частоты столкновений частиц в источнике плазма находится в тепловом равновесии и достаточно однородна.
Каскадная дуга состоит из входа газа, трех вольфрамовых катодов, каскадных пластин, сопла и анода. Через вход для газа рабочий газ - аргон или водород - может поступать в катодную камеру. Источник обычно работает на скорости 0,5–3,0 слм (2,2 × 10 20 - 1,3 × 10 20 частиц в секунду) и разрядный ток 100–300 А. Каскадные пластины между катодом и анодом электрически изолированы друг от друга пластинами из нитрида бора толщиной 1 мм . Напряжение этих пластин является плавающим потенциалом. Сопло и анод заземлены.
См. Также [ править ]
Внешние ссылки [ править ]
- Блок тлеющего разряда
- ВЫСОКАЯ ЯРКОСТЬ H- ПОВЕРХНОСТНЫЕ ИСТОЧНИКИ ПЛАЗМЫ
- Образование H в разрядах чистого водорода источников поверхностной плазмы.
Ссылки [ править ]
