Рост островков представляет собой физическую модель роста осажденной пленки и химического осаждения из газовой фазы . [1]
Вступление
Когда атомы медленно осаждаются на плоской поверхности , первый из них совершает случайное блуждание по этой поверхности. В конце концов осаждается второй атом; по всей вероятности, он рано или поздно встретит первый атом. [2] Как только два атома встречаются, они могут соединиться, чтобы сформировать частицу с большей массой и меньшей скоростью случайного блуждания. Поскольку связанные частицы теперь более стабильны и менее подвижны, чем раньше, их называют «островом». [3] Последующие атомы, осажденные на подложке, в конечном итоге встречаются и связываются с островком, что еще больше увеличивает его размер и стабильность. Со временем островок может вырасти и заполнить весь субстрат одним крупным зерном.
Чем быстрее осаждаются атомы, тем большее количество атомов находится на подложке до образования каких-либо крупных стабильных островков. [4] Когда эти атомы встречаются, они связываются со своими местными соседями, прежде чем у них появится возможность мигрировать на далекий остров. Таким образом образуется большое количество отдельных островков, которые могут расти независимо друг от друга. В конечном итоге отдельные острова вырастут и станут отдельными зернами в финальном фильме.
Модель островкового роста используется для объяснения того, как методы быстрого осаждения (такие как напыление ) могут производить пленки с множеством случайно ориентированных зерен, тогда как методы медленного осаждения (такие как MBE ), как правило, дают более крупные зерна с более однородной структурой.
Смотрите также
Рекомендации
- ^ Томас М. Кристенсен. «Формирование пленки: рост и слияние» . Архивировано из оригинального 10 января 2010 года . Дата обращения 17 июня 2016 .
- ^ «3.3.2 Режимы зарождения и роста» . www.tf.uni-kiel.de . Проверено 16 декабря 2018 .
- ^ «CH105: Глава 3 - Ионная и ковелентная связь» . Химия . Проверено 16 декабря 2018 .
- ^ Гровенор, CRM (2017-10-05). Микроэлектронные материалы . Рутледж. ISBN 9781351431538.