Из Википедии, бесплатной энциклопедии
Перейти к навигации Перейти к поиску
Информацию о научном журнале « Химическое осаждение из паровой фазы» см. В разделе « Химическое осаждение из паровой фазы» (журнал) .
Плазма постоянного тока (фиолетовый) усиливает рост углеродных нанотрубок в лабораторных приборах PECVD.

Химическое осаждение из паровой фазы ( CVD ) - это метод вакуумного осаждения, используемый для производства высококачественных, высокопроизводительных твердых материалов. Этот процесс часто используется в полупроводниковой промышленности для производства тонких пленок .

В типичном CVD пластина (подложка) подвергается воздействию одного или нескольких летучих предшественников , которые реагируют и / или разлагаются на поверхности подложки с образованием желаемого осадка. Часто также образуются летучие побочные продукты , которые удаляются потоком газа через реакционную камеру.

В процессах микрообработки широко используется CVD для нанесения материалов в различных формах, включая монокристаллические , поликристаллические , аморфные и эпитаксиальные . Эти материалы включают в себя: кремний ( диоксид , карбид , нитрид , оксинитрид ), углерод ( волокна , нановолокна , нанотрубки , алмаз и графен ), фторуглероды , нити , вольфрам , нитрид титана и различныедиэлектрики high-k .

Типы [ править ]

Термостенки CVD (периодический режим)
Плазменные сердечно-сосудистые заболевания

CVD практикуются в различных форматах. Эти процессы обычно различаются способами, с помощью которых инициируются химические реакции.

  • Классифицируется по условиям эксплуатации:
    • Атмосферное давление сердечно - сосудистые заболевания (APCVD) - ХОП при атмосферном давлении.
    • CVD низкого давления (LPCVD) - CVD при давлении ниже атмосферного. [1] Пониженное давление, как правило, уменьшает нежелательные газофазные реакции и улучшает однородность пленки на пластине.
    • CVD в сверхвысоком вакууме (UHVCVD) - CVD при очень низком давлении, обычно ниже 10 -6 Па (≈10 -8 торр ). Обратите внимание, что в других областях обычно используется меньшее разделение между высоким и сверхвысоким вакуумом , часто 10-7 Па.
    • CVD ниже атмосферного (SACVD) - CVD при давлении ниже атмосферного. Использует тетраэтилортосиликат (TEOS) и озон для заполнения кремниевых структур с высоким аспектным отношением диоксидом кремния (SiO 2 ). [2]

Большинство современных CVD - это либо LPCVD, либо UHVCVD.

  • Классифицируется по физическим характеристикам пара:
    • CVD с помощью аэрозоля (AACVD) - CVD, при котором прекурсоры транспортируются к субстрату с помощью аэрозоля жидкости / газа, который может быть создан ультразвуком. Этот метод подходит для использования с нелетучими прекурсорами.
    • CVD с прямым впрыском жидкости (DLICVD) - CVD, в котором прекурсоры находятся в жидкой форме (жидкой или твердой, растворенной в подходящем растворителе). Жидкие растворы впрыскиваются в испарительную камеру по направлению к инжекторам (обычно автомобильным). Пары прекурсора затем транспортируются к субстрату, как при классическом CVD. Этот метод подходит для использования с жидкими или твердыми прекурсорами. Используя эту технику, можно достичь высоких темпов роста.
  • Классифицируются по типу нагрева подложки:
    • CVD с горячей стенкой - CVD, в котором камера нагревается от внешнего источника питания, а подложка нагревается излучением от нагретых стенок камеры.
    • CVD с холодной стенкой - CVD, в котором только подложка непосредственно нагревается либо индукцией, либо пропусканием тока через саму подложку или нагреватель, контактирующий с подложкой. Стенки камеры имеют комнатную температуру.
  • Плазменные методы (см. Также Плазменная обработка ):
    • CVD с использованием микроволновой плазмы (MPCVD)
    • CVD с плазменным усилением (PECVD) - CVD, при котором плазма используетсядля увеличения скорости химических реакций предшественников. [3] Обработка PECVD позволяет осаждение при более низких температурах, что часто имеет решающее значение при производстве полупроводников. Более низкие температуры также позволяют наносить органические покрытия, такие как плазменные полимеры, которые использовались для функционализации поверхности наночастиц. [4]
    • CVD с дистанционным плазменным усилением (RPECVD) - аналогично PECVD, за исключением того, что подложка пластины не находится непосредственно в области плазменного разряда. Удаление пластины из области плазмы позволяет обрабатывать температуру до комнатной.
    • Химическое осаждение из паровой фазы с использованием низкоэнергетической плазмы (LEPECVD) - CVD, использующее плазму высокой плотности и низкой энергии для эпитаксиального осаждения полупроводниковых материалов при высоких скоростях и низких температурах.
  • ХОПФ с атомарным слоем ( ALCVD ) - нанесение последовательных слоев различных веществ для получения слоистых кристаллических пленок. См. Эпитаксия на атомном слое .
  • Химическое осаждение из паровой фазы (CCVD) - Химическое осаждение из паровой фазы или пламенный пиролиз - это метод нанесения высококачественных тонких пленок и наноматериалов в открытой атмосфере, основанный на пламени.
  • CVD с горячей нитью (HFCVD) - также известный как каталитический CVD (Cat-CVD) или, чаще, инициированный CVD, в этом процессе используется горячая нить для химического разложения исходных газов. [5] Таким образом, температура нити и температура подложки контролируются независимо, что позволяет использовать более низкие температуры для лучшей скорости поглощения на подложке и более высокие температуры, необходимые для разложения предшественников свободных радикалов на нити. [6]
  • Гибридное физико-химическое осаждение из паровой фазы (HPCVD) - этот процесс включает как химическое разложение газа-прекурсора, так и испарение твердого источника.
  • Металлоорганическое химическое осаждение из паровой фазы (MOCVD) - этот процесс CVD основан на металлоорганических прекурсорах.
  • Rapid Thermal CVD (RTCVD) - этот процесс CVD использует нагревательные лампы или другие методы для быстрого нагрева подложки пластины. Нагревание только подложки, а не газа или стенок камеры помогает уменьшить нежелательные газофазные реакции, которые могут привести к образованию частиц .
  • Парофазная эпитаксия (VPE)
  • Фотоинициируемое сердечно-сосудистое заболевание (PICVD) - в этом процессе используется ультрафиолетовый свет для стимуляции химических реакций. Это похоже на плазменную обработку, поскольку плазма является сильным источником УФ-излучения. При определенных условиях PICVD может работать при атмосферном давлении или близком к нему. [7]
  • Лазерное химическое осаждение из паровой фазы (LCVD). В этом процессе CVD используются лазеры для нагрева пятен или линий на подложке в полупроводниковых приложениях. В МЭМС и производстве волокон лазеры используются быстро для разрушения газа-прекурсора (температура процесса может превышать 2000 ° C) для создания твердой структуры во многом так же, как 3D-принтеры на основе лазерного спекания создают твердые частицы из порошков. .

Использует [ редактировать ]

CVD обычно используется для осаждения конформных пленок и увеличения поверхности подложки способами, на которые более традиционные методы модификации поверхности не способны. CVD чрезвычайно полезен в процессе осаждения атомных слоев при нанесении очень тонких слоев материала. У таких пленок существует множество применений. Арсенид галлия используется в некоторых интегральных схемах (ИС) и фотоэлектрических устройствах. Аморфный поликремний используется в фотоэлектрических устройствах. Определенные карбиды и нитриды придают износостойкость. [8]Полимеризация с помощью химического осаждения из паровой фазы, возможно, наиболее универсальная из всех областей применения, позволяет получать супертонкие покрытия, которые обладают некоторыми очень желательными качествами, такими как смазывающая способность, гидрофобность и устойчивость к атмосферным воздействиям и многие другие. [9] Недавно было продемонстрировано CVD металлоорганических каркасов , класса кристаллических нанопористых материалов. [10] Недавно расширенный как интегрированный процесс для чистых помещений осаждения подложек большой площади, [11] ожидается, что эти пленки будут применяться в датчиках газа и диэлектриках с низким k. Технологии CVD также полезны для мембранных покрытий, например, при опреснении или очистке воды, поскольку эти покрытия могут быть достаточно однородными (конформными) и тонкими, чтобы они не забивали поры мембран. [12]

Коммерчески важные материалы подготовлены CVD [ править ]

Поликремний [ править ]

Поликристаллический кремний осаждается из трихлорсилана (SiHCl 3 ) или силана (SiH 4 ) с использованием следующих реакций: [13]

SiHCl 3 → Si + Cl 2 + HCl
SiH 4 → Si + 2 H 2

Эту реакцию обычно проводят в системах LPCVD либо с чистым силановым сырьем, либо с раствором силана с 70–80% азота . Температура от 600 до 650 ° C и давление от 25 до 150 Па дают скорость роста от 10 до 20 нм в минуту. В альтернативном процессе используется раствор на основе водорода . Водород снижает скорость роста, но для компенсации температура повышается до 850 или даже 1050 ° C. Поликремний можно выращивать непосредственно с легированием, если в камеру CVD добавляются такие газы, как фосфин , арсин или диборан . Диборан увеличивает скорость роста, но арсин и фосфин снижают ее.

Диоксид кремния [ править ]

Диоксид кремния (обычно называемый просто «оксидом» в полупроводниковой промышленности) может быть нанесен с помощью нескольких различных процессов. Обычные исходные газы включают силан и кислород , дихлорсилан (SiCl 2 H 2 ) и закись азота [14] (N 2 O) или тетраэтилортосиликат (TEOS; Si (OC 2 H 5 ) 4 ). Реакции следующие: [15]

SiH 4 + O 2 → SiO 2 + 2 H 2
SiCl 2 H 2 + 2 N 2 O → SiO 2 + 2 N 2 + 2 HCl
Si (OC 2 H 5 ) 4 → SiO 2 + побочные продукты

Выбор исходного газа зависит от термостойкости подложки; например, алюминий чувствителен к высокой температуре. Силан осаждается при температуре от 300 до 500 ° C, дихлорсилан при температуре около 900 ° C и TEOS между 650 и 750 ° C, что приводит к образованию слоя низкотемпературного оксида (LTO). Однако силан дает оксид более низкого качества, чем другие методы (например, более низкая диэлектрическая прочность ), и осаждается неконформно . Любая из этих реакций может использоваться в LPCVD, но реакция силана также проводится в APCVD. Оксид CVD неизменно имеет более низкое качество, чем термический оксид , но термическое окисление можно использовать только на самых ранних стадиях производства ИС.

Оксид также может быть выращен с примесями ( легирование или « легирование »). Это может иметь две цели. Во время дальнейших технологических операций, которые происходят при высокой температуре, примеси могут диффундировать из оксида в соседние слои (в первую очередь кремний) и легировать их. Для этого часто используются оксиды с содержанием примесей 5–15% по массе. Кроме того, диоксид кремния, легированный пентоксидом фосфора («P-стекло»), можно использовать для сглаживания неровностей. P-стекло размягчается и оплавляется при температуре выше 1000 ° C. Для этого процесса требуется концентрация фосфора не менее 6%, но концентрация выше 8% может вызвать коррозию алюминия. Фосфор осаждается из газообразного фосфина и кислорода:

4 PH 3 + 5 O 2 → 2 P 2 O 5 + 6 H 2

Стекла, содержащие бор и фосфор (борофосфосиликатное стекло, BPSG), подвергаются вязкой текучести при более низких температурах; Температура около 850 ° C достижима для стекол, содержащих около 5 мас.% обоих компонентов, но стабильность на воздухе может быть труднодостижимой. Оксид фосфора в высоких концентрациях взаимодействует с окружающей влажностью с образованием фосфорной кислоты. Кристаллы BPO 4 также могут выпадать в осадок из стекла при охлаждении; эти кристаллы нелегко протравить в стандартной реактивной плазме, используемой для моделирования оксидов, и приведут к дефектам схемы при производстве интегральных схем.

Помимо этих преднамеренных примесей, оксид CVD может содержать побочные продукты осаждения. TEOS дает относительно чистый оксид, тогда как силан вводит примеси водорода, а дихлорсилан вводит хлор .

Также исследовалось осаждение при более низких температурах диоксида кремния и легированных стекол из TEOS с использованием озона, а не кислорода (от 350 до 500 ° C). Озоновые стекла имеют отличную форму, но имеют тенденцию к гигроскопичности, то есть они поглощают воду из воздуха из-за включения в стекло силанола (Si-OH). Инфракрасная спектроскопия и механическая деформация как функция температуры являются ценными диагностическими инструментами для диагностики таких проблем.

Нитрид кремния [ править ]

Нитрид кремния часто используется в качестве изолятора и химического барьера при производстве ИС. Следующие две реакции выделяют нитрид кремния из газовой фазы:

3 SiH 4 + 4 NH 3 → Si 3 N 4 + 12 H 2
3 SiCl 2 H 2 + 4 NH 3 → Si 3 N 4 + 6 HCl + 6 H 2

Нитрид кремния, нанесенный методом LPCVD, содержит до 8% водорода. Он также испытывает сильное растягивающее напряжение , которое может привести к растрескиванию пленки толщиной более 200 нм. Однако он имеет более высокое удельное сопротивление и диэлектрическую прочность, чем большинство изоляторов, обычно доступных в микротехнологии (10 16 Ом · см и 10 М В / см, соответственно).

Еще две реакции могут быть использованы в плазме для осаждения SiNH:

2 SiH 4 + N 2 → 2 SiNH + 3 H 2
SiH 4 + NH 3 → SiNH + 3 H 2

Эти пленки имеют гораздо меньшее растягивающее напряжение, но худшие электрические свойства (удельное сопротивление от 10 6 до 10 15 Ом · см и электрическая прочность от 1 до 5 МВ / см). [16]

Металлы [ править ]

CVD для вольфрама достигается из гексафторида вольфрама (WF 6 ), который может быть нанесен двумя способами:

WF 6 → W + 3 F 2
WF 6 + 3 H 2 → W + 6 HF

Другие металлы, особенно алюминий и медь , можно наносить методом CVD. По состоянию на 2010 г. коммерчески рентабельного химического осаждения из паровой фазы для меди не существовало, хотя существуют летучие источники, такие как Cu ( hfac ) 2 . Медь обычно наносится путем гальваники . Алюминий можно наносить из триизобутилалюминия (TIBAL) и родственных алюминийорганических соединений .

CVD для молибдена , тантала , титана , никеля широко используется. [ необходима цитата ] Эти металлы могут образовывать полезные силициды при нанесении на кремний. Mo, Ta и Ti осаждаются LPCVD из их пентахлоридов. Никель, молибден и вольфрам можно осаждать при низких температурах из их карбонильных предшественников. В общем, для произвольного металла M реакция осаждения хлорида выглядит следующим образом:

2 MCl 5 + 5 H 2 → 2 M + 10 HCl

тогда как реакция разложения карбонила может происходить самопроизвольно при термической обработке или акустической кавитации и выглядит следующим образом:

M (CO) n → M + n CO

разложение карбонилов металлов часто сильно осаждается влагой или воздухом, где кислород вступает в реакцию с предшественником металла с образованием металла или оксида металла вместе с диоксидом углерода.

Слои оксида ниобия (V) могут быть получены термическим разложением этоксида ниобия (V) с потерей диэтилового эфира [17] [18] в соответствии с уравнением:

2 Nb (OC 2 H 5 ) 5 → Nb 2 O 5 + 5 C 2 H 5 OC 2 H 5

Графен [ править ]

Многие варианты CVD могут быть использованы для синтеза графена. Несмотря на то, что было сделано много улучшений, перечисленные ниже процессы еще не являются коммерчески жизнеспособными.

  • Источник углерода

Самым популярным источником углерода, который используется для производства графена, является газообразный метан. Один из менее популярных вариантов - нефтяной асфальт, который отличается недорого, но с ним труднее работать. [19]

Хотя метан является наиболее популярным источником углерода, в процессе подготовки требуется водород, чтобы способствовать отложению углерода на подложке. Если соотношение потоков метана и водорода не подходит, это приведет к нежелательным результатам. Во время роста графена роль метана заключается в обеспечении источника углерода, а роль водорода заключается в обеспечении атомов H для коррозии аморфного углерода [20] и улучшении качества графена. Но избыточные атомы водорода также могут вызывать коррозию графена. [21] В результате нарушается целостность кристаллической решетки и ухудшается качество графена. [22] Таким образом, оптимизируя расход газов метана и водорода в процессе выращивания, можно улучшить качество графена.

  • Использование катализатора

Использование катализатора жизнеспособно для изменения физического процесса производства графена. Известные примеры включают наночастицы железа, пену никеля и пары галлия. Эти катализаторы можно использовать либо in situ во время наращивания графена [19] [23], либо располагать на некотором расстоянии в зоне осаждения. [24] Некоторым катализаторам требуется еще один шаг, чтобы удалить их из материала образца. [23]

Прямое выращивание высококачественных больших монокристаллических доменов графена на диэлектрической подложке имеет жизненно важное значение для приложений в электронике и оптоэлектронике. Сочетая в себе преимущества каталитического CVD и ультраплоской диэлектрической подложки, CVD с использованием газового катализатора [25] прокладывает путь для синтеза высококачественного графена для приложений устройств, избегая процесса переноса.

  • Физические условия

Физические условия, такие как окружающее давление, температура, газ-носитель и материал камеры, играют большую роль в производстве графена.

В большинстве систем используется LPCVD с давлением от 1 до 1500 Па. [19] [24] [26] [27] Однако в некоторых до сих пор используется APCVD. [23] Чаще используются низкие давления, поскольку они помогают предотвратить нежелательные реакции и обеспечивают более равномерную толщину осаждения на подложке.

С другой стороны, используемые температуры находятся в диапазоне 800–1050 ° C. [19] [23] [24] [26] [27] Высокие температуры приводят к увеличению скорости реакции. Следует проявлять осторожность, поскольку высокие температуры представляют более высокий уровень опасности в дополнение к более высоким затратам на электроэнергию.

  • Газ-носитель

В систему поступают газообразный водород и инертные газы, такие как аргон. [19] [23] [24] [26] [27] Эти газы действуют как носители, усиливая реакцию на поверхности и повышая скорость реакции, тем самым увеличивая осаждение графена на подложке.

  • Материал камеры

В CVD графена используются стандартные кварцевые трубки и камеры. [19] [23] [24] [26] [27] Кварц выбран потому, что он имеет очень высокую температуру плавления и химически инертен. Другими словами, кварц не мешает никаким физическим или химическим реакциям независимо от условий.

  • Методы анализа результатов

Рамановская спектроскопия, рентгеновская спектроскопия, просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ) и сканирующая электронная микроскопия (СЭМ) используются для исследования и характеристики образцов графена. [19] [23] [24] [26] [27]

Рамановская спектроскопия используется для характеристики и идентификации частиц графена; Рентгеновская спектроскопия используется для характеристики химических состояний; ПЭМ используется для получения мелких деталей относительно внутреннего состава графена; СЭМ используется для исследования поверхности и топографии.

Иногда атомно-силовая микроскопия (АСМ) используется для измерения локальных свойств, таких как трение и магнетизм. [26] [27]

Технику CVD с холодной стенкой можно использовать для изучения лежащих в основе науки о поверхности, связанных с зарождением и ростом графена, поскольку она позволяет беспрецедентно контролировать параметры процесса, такие как скорость потока газа, температура и давление, как продемонстрировано в недавнем исследовании. Исследование проводилось в самодельной вертикальной системе холодных стен с использованием резистивного нагрева путем пропускания постоянного тока через подложку. Это дало убедительное представление о типичном механизме поверхностно-опосредованного зародышеобразования и роста в двумерных материалах, выращенных с использованием каталитического химического осаждения из паровой фазы в условиях, используемых в полупроводниковой промышленности. [28] [29]

Графеновая нанолента [ править ]

Несмотря на захватывающие электронные и тепловые свойства графена, он не подходит в качестве транзистора для будущих цифровых устройств из-за отсутствия запрещенной зоны между зоной проводимости и валентной зоной. Это делает невозможным переключение между включенным и выключенным состояниями относительно электронного потока. В более низком масштабе графеновые наноленты шириной менее 10 нм действительно демонстрируют электронные запрещенные зоны и, следовательно, являются потенциальными кандидатами для цифровых устройств. Однако точный контроль их размеров и, следовательно, электронных свойств представляет собой сложную задачу, и ленты обычно имеют неровные края, которые ухудшают их характеристики.

Алмаз [ править ]

Отдельно стоящий монокристаллический алмазный диск CVD
Бесцветный драгоценный камень, вырезанный из алмаза, выращенного методом химического осаждения из паровой фазы.
Смотрите также: Синтетический алмаз § Химическое осаждение из паровой фазы

CVD можно использовать для производства синтетического алмаза , создав условия, необходимые для осаждения атомов углерода в газе на подложке в кристаллической форме. CVD алмазов привлекло большое внимание в материаловедении, потому что оно позволяет использовать множество новых применений, которые ранее считались слишком дорогими. CVD-рост алмаза обычно происходит при низком давлении (1-27 кПа ; 0,145-3,926 фунт / кв. Дюйм ; 7,5-203 торр.) и включает подачу различного количества газов в камеру, подпитку их и создание условий для роста алмаза на подложке. Газы всегда включают в себя источник углерода и, как правило, также включают водород, хотя используемые количества сильно различаются в зависимости от типа выращиваемого алмаза. Источники энергии включают , среди прочего, горячую нить накала , микроволновую энергию и дуговые разряды . Источник энергии предназначен для генерации плазмы, в которой газы расщепляются и возникают более сложные химические процессы. Фактический химический процесс роста алмаза все еще изучается и осложняется очень широким разнообразием используемых процессов роста алмаза.

С помощью химического осаждения из паровой фазы алмазные пленки можно выращивать на больших площадях подложки с контролем свойств получаемого алмаза. В прошлом, когда для производства алмаза использовались методы высокого давления и высокой температуры (HPHT), результатом обычно были очень маленькие свободно стоящие алмазы различных размеров. С помощью CVD-алмазов были достигнуты области роста диаметром более пятнадцати сантиметров (шести дюймов), и в будущем, вероятно, будут успешно покрыты алмазом гораздо большие области. Улучшение этого процесса является ключом к включению нескольких важных приложений.

Рост алмаза непосредственно на подложке позволяет добавлять многие важные качества алмаза к другим материалам. Поскольку алмаз имеет самую высокую теплопроводность из всех массивных материалов, наслоение алмаза на высокотемпературную электронику (например, оптику и транзисторы) позволяет использовать алмаз в качестве радиатора. [30] [31] Алмазные пленки выращивают на кольцах клапанов, режущих инструментах и ​​других объектах, которые выигрывают от твердости алмаза и чрезвычайно низкой скорости износа. В каждом случае рост алмаза должен выполняться осторожно, чтобы добиться необходимой адгезии к основанию. Очень высокая устойчивость к царапинам и теплопроводность алмаза в сочетании с более низким коэффициентом теплового расширения, чем у Pyrex.стекло, коэффициент трения, близкий к коэффициенту трения тефлона ( политетрафторэтилена ), и высокая липофильность сделали бы его почти идеальным антипригарным покрытием для кухонной посуды, если бы можно было экономично покрыть большие площади подложки.

CVD-рост позволяет контролировать свойства получаемого алмаза. В области выращивания алмазов слово «алмаз» используется для описания любого материала, в основном состоящего из углерода с sp3-связями , и в него входит много различных типов алмаза. Регулируя параметры обработки - особенно вводимые газы, но также включая давление, при котором работает система, температура алмаза и метод генерации плазмы, можно получить множество различных материалов, которые можно рассматривать как алмаз. Монокристаллический алмаз может быть изготовлен с использованием различных примесей . [32] Поликристаллический алмаз, состоящий из зерен размером от нескольких нанометров до нескольких микрометров.можно выращивать. [30] [33] Некоторые зерна поликристаллического алмаза окружены тонким неалмазным углеродом, а другие нет. Эти различные факторы влияют на твердость, гладкость, проводимость, оптические свойства алмаза и многое другое.

Халькогениды [ править ]

С коммерческой точки зрения теллурид кадмия ртути представляет постоянный интерес для обнаружения инфракрасного излучения. Этот материал, состоящий из сплава CdTe и HgTe, может быть получен из диметилпроизводных соответствующих элементов.

См. Также [ править ]

  • Аполлон Бриллиант
  • Осаждение атомного слоя
  • Цилиндр барботера
  • Карбонильная металлургия
  • Осаждение из паровой фазы с помощью электростатического распыления
  • Элемент Шесть
  • Ионное покрытие
  • Эпитаксия из паровой фазы металлоорганических соединений
  • Виртуальная метрология
  • Исследователь: Лиза МакЭлви-Уайт

Ссылки [ править ]

  1. ^ "Химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении - Технология и оборудование" . Crystec Technology Trading GmbH.
  2. ^ Шариф, ИА; Рублофф, GW; Anderle, M .; Gill, WN; Cotte, J .; Ким, DH (1995-07-01). «Процесс химического осаждения озона из паровой фазы под атмосферой / процесс TEOS для заполнения траншеи SiO2». Журнал вакуумной науки и технологий B: Микроэлектроника и обработка нанометровых структур, измерения и явления . 13 (4): 1888–1892. DOI : 10.1116 / 1.587830 . ISSN 1071-1023 . 
  3. ^ Crystec Technology Trading GmbH, плазменное химическое осаждение из паровой фазы - технология и оборудование
  4. ^ Таварес, Джейсон; Swanson, EJ; Куломб, С. (2008). «Плазменный синтез покрытых металлических наночастиц с поверхностными свойствами, адаптированными к дисперсии». Плазменные процессы и полимеры . 5 (8): 759. DOI : 10.1002 / ppap.200800074 .
  5. ^ Шропп, REI; Б. Станновски; AM Brockhoff; PATT van Veenendaal; JK Rath. "ХОПФ с горячим нагревом тонких полупроводниковых пленок гетерогенного и поликристаллического кремния для применения в тонкопленочных транзисторах и солнечных элементах" (PDF) . Физика и механика материалов . С. 73–82.
  6. ^ Глисон, Карен К .; Кеннет К.С. Лау; Джеффри А. Колфилд (2000). «Структура и морфология фторуглеродных пленок, полученных методом химического осаждения из паровой фазы». Химия материалов . 12 (10): 3032. DOI : 10.1021 / cm000499w . S2CID 96618488 . 
  7. ^ Дорваль Дион, Калифорния; Таварес, младший (2013). "Фотоинициированное химическое осаждение из паровой фазы как масштабируемая технология функционализации частиц (практический обзор)" . Порошковая технология . 239 : 484–491. DOI : 10.1016 / j.powtec.2013.02.024 .
  8. ^ Валь, Георг и др. (2000) "Тонкие пленки" в Энциклопедии промышленной химии Ульмана , Wiley-VCH, Weinheim. DOI : 10.1002 / 14356007.a26_681
  9. ^ Глисон, Карен; Айсе Асатекин; Майлз К. Барр; Самаан Х. Баксамуса; Кеннет К.С. Лау; Вятт Тенхафф; Цзинцзин Сюй (май 2010 г.). «Проектирование полимерных поверхностей методом осаждения из паровой фазы» . Материалы сегодня . 13 (5): 26–33. DOI : 10.1016 / S1369-7021 (10) 70081-X .
  10. ^ Стассен, я; Стили, М; Grenci, G; Ван Горп, H; Вандерлинден, Вт; Де Фейтер, S; Falcaro, P; Де Вос, Д; Vereecken, P; Амелут, Р. (2015). «Химическое осаждение из паровой фазы тонких пленок цеолитного имидазолатного каркаса». Материалы природы . 15 (3): 304–10. Bibcode : 2016NatMa..15..304S . DOI : 10.1038 / nmat4509 . PMID 26657328 . 
  11. ^ Круз, А .; Стассен, I .; Krishtab, M .; Marcoen, K .; Стасин, Т .; Rodríguez-Hermida, S .; Teyssandier, J .; Pletincx, S .; Verbeke, R .; Rubio-Giménez, V .; Татай, С .; Martí-Gastaldo, C .; Meersschaut, J .; Вереекен, PM; Де Фейтер, С .; Hauffman, T .; Амелут, Р. (2019). «Интегрированный процесс чистых помещений для парофазного осаждения цеолитных имидазолатных каркасных тонких пленок с большой площадью». Химия материалов . 31 (22): 9462–9471. DOI : 10.1021 / acs.chemmater.9b03435 . ЛВП : 10550/74201 .
  12. ^ Servi, Амелия Т .; Гильен-Бурриеза, Елена; Уорсингер, Дэвид М .; Ливернуа, Уильям; Нотаранджело, Кэти; Харраз, Джехад; Lienhard V, John H .; Арафат, Хасан А .; Глисон, Карен К. (2017). «Влияние толщины и конформности пленки iCVD на проницаемость и смачивание MD мембран» (PDF) . Журнал мембрановедения . 523 : 470–479. DOI : 10.1016 / j.memsci.2016.10.008 . hdl : 1721,1 / 108260 . ISSN 0376-7388 .  
  13. ^ Simmler, W. "Соединения кремния, неорганические". Энциклопедия промышленной химии Ульмана . Вайнхайм: Wiley-VCH. DOI : 10.1002 / 14356007.a24_001 .
  14. ^ Труды Третьего Всемирного конгресса химического машиностроения, Токио, стр. 290 (1986)
  15. ^ Цао, Гочжун; Ван, Ин (2011). Наноструктуры и наноматериалы - синтез, свойства и применения . Мировое научное издательство. п. 248. DOI : 10.1142 / 7885 . ISBN 978-981-4322-50-8.
  16. ^ Зи С. М. (2008). Полупроводниковые приборы: физика и технология . Wiley-India. п. 384. ISBN 978-81-265-1681-0.
  17. ^ Маруяма, Тоширо (1994). «Электрохромные свойства тонких пленок оксида ниобия, полученных методом химического осаждения из паровой фазы». Журнал Электрохимического общества . 141 (10): 2868–2871. DOI : 10.1149 / 1.2059247 .
  18. ^ Rahtu Антти (2002). Атомно-слоистое осаждение оксидов с высокой диэлектрической проницаемостью: рост пленки и исследования in situ (диссертация). Университет Хельсинки. ЛВП : 10138/21065 . ISBN 952-10-0646-3.
  19. ^ Б с д е е г Лю, Zhuchen; Ту, Чжицян; Ли, Юнфэн; Ян, Фань; Хан, Шуанг; Ян, Ван; Чжан, Лицян; Ванга, банда; Сюй, Чуньмин (2014-05-01). «Синтез трехмерного графена из нефтяного асфальта методом химического осаждения из паровой фазы». Материалы Письма . 122 : 285–288. DOI : 10.1016 / j.matlet.2014.02.077 .
  20. ↑ Пак, Хе Джин; Мейер, Янник; Рот, Зигмар; Скакалова, Вьера (весна 2010 г.). «Рост и свойства многослойного графена, полученного методом химического осаждения из газовой фазы». Углерод . 48 (4): 1088–1094. arXiv : 0910.5841 . DOI : 10.1016 / j.carbon.2009.11.030 . ISSN 0008-6223 . S2CID 15891662 .  
  21. ^ Вэй, Дачэн; Лу, Юньхао; Хан, Ченг; Ниу, Тяньчао; Чен, Вэй; Ви, Эндрю Тай Шен (2013-10-31). «Критический рост кристаллов графена на диэлектрических подложках при низкой температуре для электронных устройств». Angewandte Chemie . 125 (52): 14371–14376. DOI : 10.1002 / ange.201306086 . ISSN 0044-8249 . PMID 24173776 .  
  22. ^ Чен, Цзяньи; Го, Юньлун; Вэнь, Югэн; Хуанг, Липин; Сюэ, Юньчжоу; Гэн, Дэчао; Ву, Бин; Ло, Биронг; Ю, Гуй (14 февраля 2013). «Графен: двухэтапный рост без использования металлических катализаторов высококачественных пленок поликристаллического графена на подложках из нитрида кремния (Adv. Mater. 7/2013)» . Современные материалы . 25 (7): 992–997. DOI : 10.1002 / adma.201370040 . ISSN 0935-9648 . 
  23. ^ a b c d e f g Patel, Rajen B .; Ю, Чи; Чжоу, Цзэнмин; Икбал, Зафар (2014). «Новый путь синтеза графена с использованием наночастиц железа». Журнал материаловедения . 29 (14): 1522–1527. Bibcode : 2014JMatR..29.1522P . DOI : 10,1557 / jmr.2014.165 .
  24. ^ a b c d e f Мураками, Кацухиса; Танака, Сюнсуке; Хирукава, Аяка; Хияма, Такаки; Куваджима, Томоя; Кано, Эми; Такегучи, Масаки; Фудзита, Джун-ичи (2015). «Прямой синтез графена большой площади на изолирующей подложке методом химического осаждения из паров галлия». Письма по прикладной физике . 106 (9): 093112. Bibcode : 2015ApPhL.106i3112M . DOI : 10.1063 / 1.4914114 .
  25. ^ Тан, Шуцзе; Ван, Хаомин; Ван, Хуэйшань (2015). «Катализируемый силаном быстрый рост крупного монокристаллического графена на гексагональном нитриде бора» . Nature Communications . 6 : 6499. arXiv : 1503.02806 . Bibcode : 2015NatCo ... 6.6499T . DOI : 10.1038 / ncomms7499 . PMC 4382696 . PMID 25757864 .  
  26. ^ Б с д е е Zhang, CanKun; Линь, WeiYi; Чжао, ЧжиЦзюань; Чжуан, ПингПин; Чжан, Линь Цзе; Чжоу, Инхуэй; Цай, ВэйВэй (2015-09-05). "CVD синтез легированного азотом графена с использованием мочевины". Наука Китай Физика, механика и астрономия . 58 (10): 107801. Bibcode : 2015SCPMA..58.7801Z . DOI : 10.1007 / s11433-015-5717-0 . S2CID 101408264 . 
  27. ^ Б с д е е Ким, Санг-Мин; Ким, Джэ-Хен; Ким, Кванг-Сеоп; Хванбо, Юнь; Юн, Чон-Хёк; Ли, Ын-Гю; Рю, Джечоль; Ли, Хак-Джу; Чо, Сынмин (2014). «Синтез CVD-графена на быстро нагретых медных фольгах». Наноразмер . 6 (9): 4728–34. Bibcode : 2014Nanos ... 6.4728K . DOI : 10.1039 / c3nr06434d . PMID 24658264 . S2CID 5241809 .  
  28. ^ Дас, Шантану; Друкер, Джефф (2017). «Зарождение и рост однослойного графена на электроосажденной меди методом химического осаждения из паровой фазы с холодной стенкой» . Нанотехнологии . 28 (10): 105601. Bibcode : 2017Nanot..28j5601D . DOI : 10.1088 / 1361-6528 / aa593b . PMID 28084218 . 
  29. ^ Дас, Шантану; Друкер, Джефф (28 мая 2018 г.). «Масштабирование размеров графеновых островков до объединения». Журнал прикладной физики . 123 (20): 205306. Bibcode : 2018JAP ... 123t5306D . DOI : 10.1063 / 1.5021341 .
  30. ^ а б Костелло, М; Tossell, D; Рис, Д.; Бриерли, К; Сэвидж, Дж (1994). «Алмазные защитные покрытия для оптических компонентов». Алмаз и сопутствующие материалы . 3 (8): 1137–1141. Bibcode : 1994DRM ..... 3.1137C . DOI : 10.1016 / 0925-9635 (94) 90108-2 .
  31. ^ ВС Ли Вун; Ю, Джин (2005). «Сравнительное исследование теплопроводных наполнителей в заполнителях электронных компонентов». Алмаз и сопутствующие материалы . 14 (10): 1647–1653. Bibcode : 2005DRM .... 14.1647S . DOI : 10.1016 / j.diamond.2005.05.008 .
  32. ^ Исберг, J (2004). «Монокристаллический алмаз для электронных приложений» . Алмаз и сопутствующие материалы . 13 (2): 320–324. Bibcode : 2004DRM .... 13..320I . DOI : 10.1016 / j.diamond.2003.10.017 .
  33. Перейти ↑ Krauss, A (2001). «Тонкие ультрананокристаллические алмазные пленки для МЭМС и движущихся механических сборочных устройств». Алмаз и сопутствующие материалы . 10 (11): 1952–1961. Bibcode : 2001DRM .... 10.1952K . DOI : 10.1016 / S0925-9635 (01) 00385-5 .

Дальнейшее чтение [ править ]

  • Джегер, Ричард С. (2002). «Пленочное осаждение». Введение в производство микроэлектроники (2-е изд.). Река Верхнее Седл: Prentice Hall. ISBN 978-0-201-44494-0.
  • Смит, Дональд (1995). Тонкопленочное напыление: принципы и практика . Макгроу-Хилл. ISBN 978-0-07-058502-7.
  • Добкин и Зурав (2003). Принципы химического осаждения из паровой фазы . Kluwer. ISBN 978-1-4020-1248-8.
  • К. Окада "Химическое осаждение нанокристаллического алмаза с плазменным воздействием из паровой фазы" Наука. Technol. Adv. Mater. 8 (2007) 624 обзор бесплатно
  • T. Liu, D. Raabe и S. Zaefferer "3D томографический EBSD-анализ тонкой пленки CVD-алмаза" Sci. Technol. Adv. Mater. 9 (2008) 035013 скачать бесплатно
  • Кристоф Вильд "Свойства CVD-алмазов и полезная формула" Буклет CVD-алмазов (2008) Бесплатная загрузка PDF
  • Деннис У. Хесс, ХИМИЧЕСКОЕ ОТЛОЖЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ И МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕН, бесплатная загрузка с сайта Electronic Materials and Processing: Proceedings of the First Electronic Materials and Processing Congress, проведенный в связи с Всемирным конгрессом материалов 1988 г. Чикаго, Иллинойс, США, 24–30 сентября 1988, отредактировал Прабджит Сингх (спонсор отдела электронных материалов и обработки ASM INTERNATIONAL)