Это хорошая статья. Для получения дополнительной информации нажмите здесь.
Из Википедии, бесплатной энциклопедии
Перейти к навигации Перейти к поиску
Нитрид кремния
Si3N4ceramics2.jpg
Спеченная керамика из нитрида кремния
Имена
Предпочтительное название IUPAC
Нитрид кремния
Другие имена
Ниерит
Идентификаторы
3D модель ( JSmol )
ChemSpider
ECHA InfoCard100.031.620 Отредактируйте это в Викиданных
Номер ЕС
  • 234-796-8
MeSHКремний + нитрид
UNII
Характеристики
Si 3 N 4
Молярная масса140,283  г · моль -1
Внешностьсерый порошок без запаха [1]
Плотность3,17 г / см 3 [1]
Температура плавления1900 ° C (3450 ° F; 2170 K) [1] (разлагается)
Нерастворимый [1]
2,016 [2]
Опасности
Основные опасностиПри нагревании до разложения нитрид кремния может выделять токсичные пары аммиака и озона. При контакте с кислотами может образоваться воспламеняющийся водород. [3]
нет в списке
Родственные соединения
Другие анионы
карбид кремния , диоксид кремния
Другие катионы
нитрид бора
Если не указано иное, данные приведены для материалов в их стандартном состоянии (при 25 ° C [77 ° F], 100 кПа).
проверитьY проверить  ( что есть   ?)проверитьY☒N
Ссылки на инфобоксы

Нитрид кремния представляет собой химическое соединение элементов кремния и азота . Si
3N
4является наиболее термодинамически стабильным из нитридов кремния. Следовательно, Si
3N
4является наиболее коммерчески важным из нитридов кремния [4] при упоминании термина «нитрид кремния». Это белое твердое вещество с высокой температурой плавления, которое относительно химически инертно и подвергается воздействию разбавленного HF и горячего H2.2ТАК4. Это очень сложно (8,5 по шкале Мооса ). Обладает высокой термостойкостью.

Производство [ править ]

Материал будет приготовлен путем нагревания порошкового кремния от 1300 ° C до 1400 ° C в среде азота:

3 Si + 2 N
2→ Si
3N
4

Вес образца кремния постепенно увеличивается из-за химической комбинации кремния и азота. Без железного катализатора реакция завершается через несколько часов (~ 7), когда не обнаруживается дальнейшего увеличения веса из-за поглощения азота (на грамм кремния). Помимо Si
3N
4, в литературе описаны несколько других фаз нитрида кремния (с химическими формулами, соответствующими различной степени нитридизации / степени окисления Si), например, газообразный мононитрид кремния ( Si
2N ); мононитрид кремния (SiN) и полуторный нитрид кремния ( Si
2N
3), каждая из которых является стехиометрической фазой. Как и в случае с другими огнеупорами , продукты, полученные в этих высокотемпературных синтезах, зависят от условий реакции (например, времени, температуры и исходных материалов, включая реагенты и материалы контейнера), а также от режима очистки. Однако с тех пор существование сесквинитрида ставится под сомнение. [5]

Его также можно получить диимидным путем: [6]

SiCl
4+ 6 NH
3 → Si (NH)
2+ 4 NH
4Cl (s) при 0 ° C
3 Si (NH)
2→ Si
3N
4+ N
2+ 3 часа
2(г) при 1000 ° C

Карботермическое восстановление диоксида кремния в атмосфере азота при 1400–1450 ° C также исследовалось: [6]

3 SiO
2+ 6 C + 2 N
2→ Si
3N
4 + 6 СО

Азотирование кремниевого порошка было разработано в 1950-х годах после «повторного открытия» нитрида кремния и стало первым крупномасштабным методом производства порошка. Однако использование кремния-сырца низкой чистоты вызвало загрязнение нитрида кремния силикатами и железом . В результате разложения диимида образуется аморфный нитрид кремния, который требует дальнейшего отжига в атмосфере азота при 1400–1500 ° C для преобразования его в кристаллический порошок; Теперь это второй по важности путь коммерческого производства. Карботермическое восстановление было самым ранним методом производства нитрида кремния и в настоящее время считается наиболее экономически эффективным промышленным способом получения порошка нитрида кремния высокой чистоты. [6]

Пленки нитрида кремния электронного качества формируются с использованием химического осаждения из паровой фазы (CVD) или одного из его вариантов, таких как плазменное химическое осаждение из паровой фазы (PECVD): [6] [7]

3 SiH
4(г) + 4 NH
3(ж) → Si
3N
4(s) + 12 часов
2(g) при 750-850 ° C [8]
3 SiCl
4(г) + 4 NH
3(ж) → Si
3N
4(т) + 12 HCl (г)
3 SiCl
2ЧАС
2(г) + 4 NH
3(ж) → Si
3N
4(т) + 6 HCl (г) + 6 Н
2(грамм)

Для нанесения слоев нитрида кремния на полупроводниковые (обычно кремниевые) подложки используются два метода: [7]

  1. Технология химического осаждения из паровой фазы под низким давлением (LPCVD), которая работает при довольно высокой температуре и выполняется в вертикальной или горизонтальной трубчатой ​​печи [9] или
  2. Технология плазменного химического осаждения из паровой фазы (PECVD), работающая при довольно низких температурах и условиях вакуума.

Постоянные решетки нитрида кремния и кремния различны. Следовательно, в зависимости от процесса осаждения может возникнуть напряжение или напряжение . Это напряжение можно уменьшить, особенно при использовании технологии PECVD, путем регулировки параметров наплавки. [10]

Нитрид кремний нанопровод также может быть получен с помощью золь-гель метода с использованием Карботермического уменьшения с последующим азотированием силикагеля , который содержит ультратонкие частицы углерода. Частицы могут быть получены разложением декстрозы в диапазоне температур 1200–1350 ° C. Возможные реакции синтеза: [11]

SiO
2(s) + C (s) → SiO (г) + CO (г)     и
3 SiO (г) + 2 н.
2(г) + 3 CO (г) → Si
3N
4(s) + 3 CO
2(g)     или
3 SiO (г) + 2 н.
2(г) + 3 C (т) → Si
3N
4(т) + 3 СО (г).

Обработка [ править ]

Нитрид кремния трудно производить как сыпучий материал - его нельзя нагревать выше 1850 ° C, что значительно ниже его точки плавления , из-за диссоциации на кремний и азот. Поэтому применение обычных методов спекания под горячим прессом проблематично. Связывание порошков нитрида кремния может быть достигнуто при более низких температурах за счет добавления дополнительных материалов (спекающих добавок или «связующих»), которые обычно вызывают определенную степень жидкофазного спекания. [12] Более чистой альтернативой является использование искрового плазменного спекания, при котором нагрев происходит очень быстро (секунды) за счет пропускания импульсов электрического тока через уплотненный порошок. Этим методом были получены плотные компакты нитрида кремния при температурах 1500–1700 ° C.[13] [14]

Кристаллическая структура и свойства [ править ]

Синие атомы - это азот, а серый - атомы кремния.

  • тригональный α- Si
    3    N
    4    .

  • гексагональный β- Si
    3    N
    4

  • кубический γ- Si
    3    N
    4

Существуют три кристаллографические структуры нитрида кремния ( Si
3N
4), обозначенные как α, β и γ фазы. [15] α и β фазы являются наиболее распространенными формами Si.
3N
4, и может производиться при нормальном давлении. Γ-фаза может быть синтезирована только при высоких давлениях и температурах и имеет твердость 35 ГПа. [16] [17]

Α- и β- Si
3N
4имеют тригональную ( символ Пирсона hP28, пространственная группа P31c, № 159) и гексагональную (hP14, P6 3 , № 173) структуры, соответственно, которые построены за счет разделения углов SiN
4 тетраэдры . Их можно рассматривать как состоящие из слоев атомов кремния и азота в последовательности ABAB ... или ABCDABCD ... в β- Si.
3N
4и α- Si
3N
4, соответственно. Слой AB одинаков в α- и β-фазах, а слой CD в α-фазе связан с AB плоскостью c-скольжения. Si ,
3N
4тетраэдры в β- Si
3N
4связаны между собой таким образом, что образуются туннели, идущие параллельно оси c элементарной ячейки. Из-за плоскости c-скольжения, которая связывает AB и CD, структура α содержит полости вместо туннелей. Кубический γ- Si
3N
4в литературе часто обозначается как c-модификация по аналогии с кубической модификацией нитрида бора (c-BN). Он имеет структуру типа шпинели, в которой два атома кремния координируют шесть атомов азота октаэдрически, а один атом кремния координирует четыре атома азота тетраэдрически. [18]

Более длинная последовательность укладки приводит к тому, что α-фаза имеет более высокую твердость, чем β-фаза. Однако α-фаза химически нестабильна по сравнению с β-фазой. При высоких температурах, когда присутствует жидкая фаза, α-фаза всегда переходит в β-фазу. Следовательно, β- Si
3N
4основная форма, используемая в Si
3N
4керамика. [19]

В дополнение к кристаллическим полиморфам нитрида кремния стеклообразные аморфные материалы могут быть образованы как продукты пиролиза прекерамических полимеров , чаще всего содержащих различные количества остаточного углерода (следовательно, их более целесообразно рассматривать как карбонитриды кремния). В частности, поликарбосилазан может быть легко преобразован в аморфную форму материала на основе карбонитрида кремния при пиролизе с ценными последствиями для обработки материалов из нитрида кремния с помощью методов обработки, более широко используемых для полимеров. [20]

Приложения [ править ]

В общем, основная проблема с применением нитрида кремния заключалась не в технических характеристиках, а в стоимости. По мере снижения стоимости количество производственных приложений увеличивается. [21]

Автомобильная промышленность [ править ]

Одно из основных применений спеченного нитрида кремния - автомобильная промышленность в качестве материала для деталей двигателей. К ним относятся, в дизельных двигателях , свечи накаливания для более быстрого запуска; камеры предварительного сгорания (вихревые камеры) для снижения выбросов, более быстрого запуска и снижения шума; турбонагнетатель для уменьшения задержки двигателя и уменьшения вредных выбросов. В двигателях с искровым зажиганием нитрид кремния используется для подушек коромысел для уменьшения износа , турбин турбонагнетателей для уменьшения инерции и уменьшения задержки двигателя, а также в регулирующих клапанах выхлопных газов для увеличения ускорения. В качестве примеров уровней производства, по оценкам, ежегодно производится более 300 000 турбонагнетателей из спеченного нитрида кремния.[6] [12] [21]

Подшипники [ править ]

Si 3 N 4 подшипники

Подшипники из нитрида кремния представляют собой как полностью керамические подшипники, так и гибридные керамические подшипники с шариками из керамики и дорожками из стали. Керамика из нитрида кремния имеет хорошую ударопрочность по сравнению с другой керамикой. Поэтому в высокопроизводительных подшипниках используются шариковые подшипники из керамики из нитрида кремния . Ярким примером является использование подшипников из нитрида кремния в главных двигателях космического корабля НАСА . [22] [23]

Поскольку шарикоподшипники из нитрида кремния тверже металла, это уменьшает контакт с дорожкой подшипника. Это приводит к снижению трения на 80%, увеличению срока службы в 3-10 раз, увеличению скорости на 80%, уменьшению веса на 60%, способности работать с недостатком смазки, более высокой коррозионной стойкости и более высокой рабочей температуре по сравнению с традиционными металлическими подшипниками. [21] Шарики из нитрида кремния весят на 79% меньше, чем шары из карбида вольфрама . Шарикоподшипники из нитрида кремния можно найти в автомобильных подшипниках высокого класса, промышленных подшипниках, ветровых турбинах , автоспорте, велосипедах, роликовых коньках и скейтбордах.. Подшипники из нитрида кремния особенно полезны в приложениях, где коррозия, электрические или магнитные поля запрещают использование металлов. Например, в приливных расходомерах, где нападение на морскую воду является проблемой, или в искателях электрического поля. [12]

Si 3 N 4 был впервые продемонстрирован в качестве подшипника более высокого качества в 1972 году, но производство началось только в 1990 году из-за проблем, связанных со снижением стоимости. С 1990 года стоимость существенно снизилась по мере увеличения объемов производства. Хотя Си
3N
4Подшипники по-прежнему в 2–5 раз дороже лучших стальных подшипников, их превосходные характеристики и срок службы оправдывают быстрое внедрение. Около 15–20 миллионов Si
3N
4шарики подшипников были произведены в США в 1996 году для станков и многих других областей применения. Рост оценивается в 40% в год, но может быть еще выше, если керамические подшипники будут выбраны для потребительских приложений, таких как роликовые коньки и компьютерные дисководы. [21]

Высокотемпературный материал [ править ]

Двигатель малой тяги из нитрида кремния. Слева: установлен на испытательном стенде. Справа: Испытания с пропеллентами H 2 / O 2

Нитрид кремния давно используется в высокотемпературных приложениях. В частности, он был идентифицирован как один из немногих монолитных керамических материалов, способных выдержать серьезные термические удары и температурные градиенты, возникающие в водородно-кислородных ракетных двигателях. Чтобы продемонстрировать эту способность в сложной конфигурации, ученые НАСА использовали передовую технологию быстрого прототипирования для изготовления цельного компонента камеры сгорания / сопла (подруливающего устройства) диаметром один дюйм. Двигатель малой тяги был испытан горячим пламенем с водородно-кислородным ракетным топливом и выдержал пять циклов, включая 5-минутный цикл, до температуры материала 1320 ° C. [24]

В 2010 году нитрид кремния использовался в качестве основного материала в двигателях космического зонда JAXA Akatsuki . [25]

Нитрид кремния использовался для «микрозатворов», разработанных для спектрографа ближнего инфракрасного диапазона на борту космического телескопа Джеймса Уэбба . По данным НАСА: «рабочая температура является криогенной, поэтому устройство должно работать при очень низких температурах. Еще одна проблема заключалась в разработке жалюзи, которые могли бы: открываться и закрываться многократно без усталости; открываться индивидуально; и открываться достаточно широко, чтобы соответствуют научным требованиям, предъявляемым к прибору. Нитрид кремния был выбран для использования в микрошаттерах из-за его высокой прочности и устойчивости к усталости ». Эта система микрозатвора позволяет прибору одновременно наблюдать и анализировать до 100 небесных объектов. [26]

Медицинский [ править ]

Нитрид кремния имеет множество ортопедических применений. [27] [28] Этот материал также является альтернативой PEEK (полиэфирэфиркетон) и титану , которые используются в устройствах для спондилодеза . [29] [30] Гидрофильная , микротекстурированная поверхность нитрида кремния способствует повышению прочности, долговечности и надежности материала по сравнению с PEEK и титаном. [28] [29] [31]

Недавняя работа с нитридом кремния показала, что некоторые композиции этого материала проявляют антибактериальные свойства [32], противогрибковые свойства [33] и антивирусные свойства. [34]

Металлообрабатывающий и режущий инструмент [ править ]

Первое крупное применение Si
3N
4был абразивный и режущий инструмент . Объемный монолитный нитрид кремния используется в качестве материала для режущих инструментов из-за его твердости, термической стабильности и устойчивости к износу . Особенно рекомендуется для высокой скорости механической обработки из чугуна . Высокая твердость, вязкость разрушения и стойкость к термическому удару означают, что спеченный нитрид кремния может резать чугун, твердую сталь и сплавы на основе никеля с поверхностной скоростью до 25 раз быстрее, чем те, которые получаются с традиционными материалами, такими как карбид вольфрама. [12] Использование Si
3N
4режущие инструменты оказали драматическое влияние на объем производства. Например, торцевое фрезерование серого чугуна пластинами из нитрида кремния вдвое увеличило скорость резания, увеличило срок службы инструмента с одной детали до шести частей на кромку и снизило среднюю стоимость пластин на 50% по сравнению с традиционными инструментами из карбида вольфрама . [6] [21]

Электроника [ править ]

Пример локального окисления кремния через маску Si 3 N 4

Нитрид кремния часто используется в качестве изолятора и химического барьера при производстве интегральных схем , для электрической изоляции различных структур или в качестве маски травления при объемной микрообработке . В качестве пассивирующего слоя для микрочипов он превосходит диоксид кремния , поскольку он представляет собой значительно лучший диффузионный барьер для молекул воды и ионов натрия , двух основных источников коррозии и нестабильности в микроэлектронике. Он также используется в качестве диэлектрика между слоями поликремния в конденсаторах аналоговых микросхем. [35]

Кантилевер Si 3 N 4, используемый в атомно-силовых микроскопах

Нитрид кремния, нанесенный методом LPCVD, содержит до 8% водорода. Он также испытывает сильное растягивающее напряжение , которое может привести к растрескиванию пленки толщиной более 200 нм. Однако он имеет более высокое сопротивление и диэлектрическую прочность, чем большинство изоляторов, обычно доступных в микротехнологиях (10 16 Ом · см и 10 МВ / см соответственно). [7]

Не только нитрид кремния, но и различные тройные соединения кремния, азота и водорода (SiN x H y ) используются в изолирующих слоях. Они осаждаются из плазмы с помощью следующих реакций: [7]

2 SiH
4(г) + N
2(г) → 2 SiNH (т) + 3 H
2(грамм)
SiH
4(г) + NH
3(г) → SiNH (т) + 3 H
2(грамм)

Эти пленки SiNH имеют гораздо меньшее растягивающее напряжение, но худшие электрические свойства (удельное сопротивление от 10 6 до 10 15  Ом · см и диэлектрическая прочность от 1 до 5 МВ / см). [7] [36] Эти кремниевые пленки также термически устойчивы к высоким температурам при определенных физических условиях. Нитрид кремния также используется в ксерографическом процессе как один из слоев фотобарабана. [37] Нитрид кремния также используется в качестве источника зажигания для бытовых газовых приборов. [38] Благодаря своим хорошим эластичным свойствам нитрид кремния, наряду с кремнием и оксидом кремния, является наиболее популярным материалом для кантилеверов - чувствительных элементов атомных силовых микроскопов.. [39]

История [ править ]

О первом препарате сообщили в 1857 году Анри Этьен Сент-Клер Девиль и Фридрих Вёлер . [40] В их методе кремний нагревали в тигле, помещенном внутри другого тигля, заполненного углеродом, чтобы уменьшить проникновение кислорода во внутренний тигель. Они сообщили о продукте, который они назвали нитридом кремния, но не указали его химический состав. Пауль Шутценбергер впервые сообщил о продукте, состоящем из тетранитрида Si
3N
4, в 1879 году, который был получен путем нагревания кремния с браском (паста, полученная при смешивании древесного угля, угля или кокса с глиной, которая затем используется для заливки тиглей) в доменной печи. В 1910 году Людвиг Вайс и Теодор Энгельгардт нагревали кремний в атмосфере чистого азота, чтобы получить Si.
3N
4. [41] Э. Фридрих и Л. Ситтиг получили Si 3 N 4 в 1925 году путем карботермического восстановления в атмосфере азота, то есть путем нагревания кремнезема, углерода и азота при 1250–1300 ° C.

Нитрид кремния оставался просто химической диковинкой в ​​течение десятилетий, прежде чем его начали использовать в коммерческих целях. С 1948 по 1952 год компания Carborundum Company, Ниагара-Фолс, Нью-Йорк, подала заявку на получение нескольких патентов на производство и применение нитрида кремния. [6] К 1958 году нитрид кремния Haynes ( Union Carbide ) находился в коммерческом производстве для трубок термопар , сопел ракет, лодок и тиглей для плавки металлов. Британские работы по нитриду кремния, начатые в 1953 году, были направлены на высокотемпературные части газовых турбин и привели к разработке нитрида кремния с реакционной связью и нитрида кремния горячего прессования. В 1971 г.Advanced Research Agency проекта в министерстве обороны США размещен контракт США 17 миллионов долларов с Фордом и Westinghouse для двух керамических газовых турбин. [42]

Несмотря на то, что свойства нитрида кремния были хорошо известны, его естественное появление было обнаружено только в 1990-х годах в виде крошечных включений (размером около 2  мкм × 0,5 мкм) в метеоритах . Минерал был назван nierite после того, как пионер масс - спектрометрии , Alfred OC Нир . [43] Этот минерал мог быть обнаружен ранее, опять же исключительно в метеоритах, советскими геологами. [44]

Ссылки [ править ]

  1. ^ a b c d Хейнс, Уильям М., изд. (2011). CRC Справочник по химии и физике (92-е изд.). Бока-Ратон, Флорида: CRC Press . п. 4.88. ISBN 1439855110.
  2. ^ База данных показателя преломления . refractiveindex.info
  3. ^ ПУНКТ № SI-501, КРЕМНИЙНОТРИДНЫЙ ПОРОШОК MSDS Архивировано 6 июня 2014 г. на Wayback Machine . metal-powders-compounds.micronmetals.com
  4. ^ Меллор, Джозеф Уильям (1947). Комплексный трактат по неорганической и теоретической химии . 8 . Лонгманс, Грин и Ко, стр. 115–7. OCLC 493750289 . 
  5. Перейти ↑ Carlson, ON (1990). «Система N-Si (азот-кремний)». Бюллетень фазовых диаграмм сплавов . 11 (6): 569–573. DOI : 10.1007 / BF02841719 .
  6. ^ Б с д е е г Райли, Frank L. (2004). «Нитрид кремния и родственные материалы». Журнал Американского керамического общества . 83 (2): 245–265. DOI : 10.1111 / j.1151-2916.2000.tb01182.x .
  7. ^ a b c d e Ниси, Ёсио; Деринг, Роберт (2000). Справочник по технологии производства полупроводников . CRC Press. С. 324–325. ISBN 978-0-8247-8783-7.
  8. ^ Морган, Д.В.; Доска, К. (1991). Введение в полупроводниковую микротехнологию (2-е изд.). Чичестер, Западный Сассекс, Англия: John Wiley & Sons. п. 27. ISBN 978-0471924784.
  9. ^ «Crystec Technology Trading GmbH, Сравнение вертикальных и горизонтальных трубчатых печей в полупроводниковой промышленности» . crystec.com . Проверено 6 июня 2009 .
  10. ^ "Crystec Technology Trading GmbH, нанесение слоев нитрида кремния" . Проверено 6 июня 2009 .
  11. ^ Гош Чоудхури, Mahua; Дей, Раджиб; Mitra, Manoj K .; Das, Gopes C .; Мукерджи, Сиддхартха (2008). «Новый метод синтеза нанопроволок α-Si 3 N 4 золь-гель методом» . Наука и технология перспективных материалов . 9 (1): 5002. Bibcode : 2008STAdM ... 9a5002G . DOI : 10.1088 / 1468-6996 / 9/1/015002 . PMC 5099808 . PMID 27877939 .  
  12. ^ a b c d «Нитрид кремния - Обзор» . azom.com . 2001-02-06 . Проверено 6 июня 2009 .
  13. ^ Nishimura, T .; Сюй, X .; Kimoto, K .; Hirosaki, N .; Танака, Х. (2007). «Изготовление нанокерамики нитрида кремния. Получение порошка и спекание: обзор» . Наука и технология перспективных материалов . 8 (7–8): 635. Bibcode : 2007STAdM ... 8..635N . DOI : 10.1016 / j.stam.2007.08.006 .
  14. ^ Пэн , стр. 38
  15. ^ "Кристаллические структуры Si 3 N 4 " . hardmaterials.de . Проверено 6 июня 2009 .
  16. ^ Цзян, JZ; Kragh, F .; Frost, DJ; Ståhl, K .; Линделов, Х. (2001). «Твердость и термическая стабильность кубического нитрида кремния». Журнал физики: конденсированное вещество . 13 (22): L515. Bibcode : 2001JPCM ... 13L.515J . DOI : 10.1088 / 0953-8984 / 13/22/111 .
  17. ^ «Свойства гамма-Si 3 N 4 » . Архивировано из оригинала 15 июля 2006 года . Проверено 6 июня 2009 .
  18. ^ Пэн , стр. 1-3
  19. ^ Чжу, Синьвэнь; Сакка, Йошио (2008). «Текстурированный нитрид кремния: технологичность и анизотропные свойства» . Наука и технология перспективных материалов . 9 (3): 3001. Bibcode : 2008STAdM ... 9c3001Z . DOI : 10.1088 / 1468-6996 / 9/3/033001 . PMC 5099652 . PMID 27877995 .  
  20. ^ Ван, Сифань; Шмидт, Франциска; Ханаор, Дориан; Kamm, Paul H .; Ли, Шуанг; Гурло, Александр (2019). «Аддитивное производство керамики из прекерамических полимеров: универсальный стереолитографический подход при помощи химии тиоленовых щелчков». Аддитивное производство . 27 : 80–90. arXiv : 1905.02060 . Bibcode : 2019arXiv190502060W . DOI : 10.1016 / j.addma.2019.02.012 . S2CID 104470679 . 
  21. ^ a b c d e Ричерсон, Дэвид В .; Фрейта, Дуглас В. «Керамическая промышленность». Возможности современной керамики для удовлетворения потребностей отраслей будущего . Национальная лаборатория Ок-Ридж. hdl : 2027 / coo.31924090750534 . OCLC 692247038 . 
  22. ^ «Керамические шарики увеличивают срок службы подшипников челночного двигателя» . НАСА . Проверено 6 июня 2009 .
  23. ^ "Улучшения главного двигателя космического челнока" . НАСА . Проверено 6 июня 2009 .
  24. ^ Eckel, Andrew J. (1999). «Успешно проведено испытание ракетных двигателей на нитриде кремния» . НАСА. Архивировано из оригинала 4 апреля 2009 года.
  25. ^ Результат маневра управления орбитой космического корабля "AKATSUKI" Венеры . JAXA (06.07.2010)
  26. ^ Космический телескоп Джеймса Уэбба / Центр космических полетов Годдарда> Инновации> Microshutters / НАСА (2020-06-25) .
  27. ^ Олофссон, Йоханна; Грек, Т. Микаэль; Берлинд, Торунь; Перссон, Сесилия; Якобсон, Стаффан; Энгквист, Хокан (2012). «Оценка нитрида кремния как износостойкой и рассасывающейся альтернативы для полной замены тазобедренного сустава» . Биоматериал . 2 (2): 94–102. DOI : 10.4161 / biom.20710 . PMC 3549862 . PMID 23507807 .  
  28. ^ a b Mazzocchi, M; Беллози, А (2008). «О возможности использования нитрида кремния в качестве керамики для структурных ортопедических имплантатов. Часть I: Обработка, микроструктура, механические свойства, цитотоксичность». Журнал материаловедения: материалы в медицине . 19 (8): 2881–7. DOI : 10.1007 / s10856-008-3417-2 . PMID 18347952 . S2CID 10388233 .  
  29. ^ a b Вебстер, TJ; Патель, AA; Рахаман, Миннесота; Сонни Бал, Б. (2012). «Антиинфекционные и остеоинтеграционные свойства имплантатов из нитрида кремния, полиэфирэфиркетона и титана». Acta Biomaterialia . 8 (12): 4447–54. DOI : 10.1016 / j.actbio.2012.07.038 . PMID 22863905 . 
  30. ^ Андерсон, MC; Олсен, Р. (2010). «Врастание кости в пористый нитрид кремния». Журнал биомедицинского исследования материалов Часть A . 92 (4): 1598–605. DOI : 10.1002 / jbm.a.32498 . PMID 19437439 . 
  31. ^ Арафат, Ахмед; Шроен, Карин; Де Смет, Луи CPM; Sudhölter, Ernst JR; Зуйльхоф, Хан (2004). «Индивидуальная функционализация поверхностей нитрида кремния». Журнал Американского химического общества . 126 (28): 8600–1. DOI : 10.1021 / ja0483746 . PMID 15250682 . 
  32. ^ Пеццотти, Джузеппе; Марин, Элиа; Адачи, Тэцуя; Лерусси, Федерика; Рондинелла, Альфредо; Боскетто, Франческо; Чжу, Вэньлянь; Китадзима, Такаши; Инада, Косуке; Макинтайр, Брайан Дж .; Бок, Райан М. (2018-04-24). «Включение Si3 N4 в PEEK для производства антибактериальных, остеокондуктивных и рентгенопрозрачных спинных имплантатов» . Макромолекулярная бионаука . 18 (6): 1800033. DOI : 10.1002 / mabi.201800033 . ISSN 1616-5187 . PMID 29687593 .  
  33. ^ McEntire, Б., Bock, R., & Bal, BSUS приложений. № 20200079651. 2020.
  34. ^ Пеццотти, Джузеппе; Огитани, Эрико; Шин-Я, Масахару; Адачи, Тэцуя; Марин, Элиа; Боскетто, Франческо; Чжу, Вэньлянь; Mazda, Osam (20.06.2020). «Быстрая инактивация SARS-CoV-2 нитридом кремния, меди и нитрида алюминия» . dx.doi.org . DOI : 10.1101 / 2020.06.19.159970 . S2CID 220044677 . Проверено 21 сентября 2020 . 
  35. ^ Пирсон, Хью О. (1992). Справочник по химическому осаждению из паровой фазы (CVD) . Уильям Эндрю. п. 282. ISBN. 978-0-8155-1300-1.
  36. ^ Зи С. М. (2008). Полупроводниковые приборы: физика и технология . Wiley-India. п. 384. ISBN 978-81-265-1681-0.
  37. ^ Шайн, LB (1988). Электрофотография и физика развития, серия Springer по электрофизике . 14 . Шпрингер-Верлаг, Берлин. ISBN 978-3-642-97085-6.[ требуется страница ]
  38. ^ Левинсон, LM et al. (17 апреля 2001 г.) «Система зажигания для газового прибора» Патент США 6217312
  39. ^ Ohring, М. (2002). Материаловедение тонких пленок: осаждение и структура . Академическая пресса. п. 605. ISBN 978-0-12-524975-1.
  40. ^ "Ueber das Stickstoffsilicium". Annalen der Chemie und Pharmacie . 104 (2): 256. 1857. DOI : 10.1002 / jlac.18571040224 .
  41. Перейти ↑ Weiss, L. & Engelhardt, T (1910). "Über die Stickstoffverbindungen des Siliciums" . Z. Anorg. Allg. Chem . 65 (1): 38–104. DOI : 10.1002 / zaac.19090650107 .
  42. Перейти ↑ Carter, C. Barry & Norton, M. Grant (2007). Керамические материалы: наука и техника . Springer. п. 27. ISBN 978-0-387-46270-7.
  43. ^ Ли, MR; Рассел, СС; Арден, JW; Пиллинджер, CT (1995). «Ниерит (Si 3 N 4 ) - новый минерал из обыкновенных и энстатитовых хондритов». Метеоритика . 30 (4): 387. Bibcode : 1995Metic..30..387L . DOI : 10.1111 / j.1945-5100.1995.tb01142.x .
  44. ^ "Ниерит" . Миндат . Проверено 8 августа 2009 .

Цитированные источники [ править ]

  • Пэн, Хун (2004). Искровое плазменное спекание керамики на основе Si 3 N 4 : механизм спекания - настройка микроструктуры - оценка свойств (кандидатская диссертация). Стокгольмский университет. ISBN 978-91-7265-834-9.

  • v
  • т
  • е
Соли и ковалентные производные нитрид- иона
NH 3
N 2 H 4		Он (N 2 ) 11
Ли 3 НBe 3 N 2BNβ-C 3 N 4
г-C 3 N 4
C x N y		№ 2N x O yNF 3Ne
Na 3 NMg 3 N 2AlNSi 3 N 4PN
P 3 N 5		S x N y
SN
S 4 N 4		NCl 3Ar
KCa 3 N 2ScNБанкаVNCrN
Cr 2 N		Mn x N yFe x N yПротивNi 3 NCuNZn 3 N 2GaNGe 3 N 4В качествеSeNBr 3Kr
Руб.Sr 3 N 2YNZrNNbNβ-Mo 2 NTcRURhPdNAg 3 NCdNГостиницаSnSbTeNI 3Xe
CSBa 3 N 2 Hf 3 N 4TaNWNReОперационные системыIrPtAuHg 3 N 2TlNPbBiNПоВRn
ПтRa 3 N 2 RfDbSgBhHsMtDsRgCnNhFlMcLvЦOg
↓
ЛаCeNPrNdВечераСмЕвропаGdNTbDyХоЭТмYbЛу
AcЧтПаООНNpПуЯвляюсьСмBkCfEsFMМкрНетLr