Дисциплина | Физика |
---|---|
Язык | английский |
Под редакцией по | Эрай Айдыл |
Детали публикации | |
История | 1964 – настоящее время |
Издатель | Американский институт физики от имени Американского общества вакуума (США) |
Частота | Раз в два месяца |
Фактор воздействия | 1,710 (часть A ) 1,257 (часть B ) (2018) |
Стандартные сокращенияISO 4 ( alt ) · Bluebook ( alt1 · alt2 ) NLM ( alt ) · MathSciNet ( alt ) | |
ISO 4 | J. Vac. Sci. Technol. |
ИндексированиеCODEN · JSTOR (alt) · LCCN (alt)MIAR · NLM (alt) · Scopus | |
Журнал вакуумной науки и техники | |
ISSN | 0022-5355 |
Журнал вакуумной науки и техники A | |
CODEN | JVTAD6 |
ISSN | 0734-2101 (печать) 1520-8559 (Интернет) |
LCCN | 83643441 |
OCLC нет. | 08697396 |
Журнал вакуумной науки и техники B | |
CODEN | JVTBD9 |
ISSN | 0734-211X |
LCCN | 83642371 |
OCLC нет. | 08697479 |
Ссылки | |
The Journal of Vacuum Science and Technology - это рецензируемый научный журнал, публикуемый в двух частях, A и B , Американским институтом физики от имени Американского общества вакуума . Он был основан в 1964 году, его главный редактор - Эрай Айдил ( Университет Миннесоты ).
История [ править ]
- 1964–1982 Журнал вакуумной науки и техники
- 1983 – настоящее время Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
- 1983–1990 Журнал вакуумной науки и технологии B: Обработка и явления микроэлектроники
- 1991 – настоящее время Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
Часть A [ править ]
Часть A охватывает прикладную науку о поверхности , электронные материалы и обработку, технологию термоядерного синтеза, плазменную технологию, науку о поверхности , тонкие пленки , вакуумную металлургию и вакуумные технологии. Согласно Journal Citation Reports , импакт-фактор журнала за 2015 год составил 1,724. [1]
Часть B [ править ]
Часть B охватывает вакуумную и плазменную обработку различных материалов, их структурные характеристики, микролитографию , а также физику и химию субмикронных и нанометровых структур и устройств. По данным Journal Citation Reports , импакт-фактор журнала за 2014 год составил 1,398. [2]
Ссылки [ править ]
- ^ "Журнал вакуумной науки и техники, часть A". Отчеты о цитировании журнала за 2015 год . Web of Science (научный редактор). Thomson Reuters . 2016 г.
- ^ "Журнал вакуумной науки и техники, часть B". Отчеты о цитировании журнала за 2015 год . Web of Science (научный редактор). Thomson Reuters . 2016 г.
Внешние ссылки [ править ]
- Официальный веб-сайт