Из Википедии, бесплатной энциклопедии
  (Перенаправлено из журнала Vacuum Science and Technology A )
Перейти к навигации Перейти к поиску

The Journal of Vacuum Science and Technology - это рецензируемый научный журнал, публикуемый в двух частях, A и B , Американским институтом физики от имени Американского общества вакуума . Он был основан в 1964 году, его главный редактор - Эрай Айдил ( Университет Миннесоты ).

История [ править ]

  • 1964–1982 Журнал вакуумной науки и техники
  • 1983 – настоящее время Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
  • 1983–1990 Журнал вакуумной науки и технологии B: Обработка и явления микроэлектроники
  • 1991 – настоящее время Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Часть A [ править ]

Часть A охватывает прикладную науку о поверхности , электронные материалы и обработку, технологию термоядерного синтеза, плазменную технологию, науку о поверхности , тонкие пленки , вакуумную металлургию и вакуумные технологии. Согласно Journal Citation Reports , импакт-фактор журнала за 2015 год составил 1,724. [1]

Часть B [ править ]

Часть B охватывает вакуумную и плазменную обработку различных материалов, их структурные характеристики, микролитографию , а также физику и химию субмикронных и нанометровых структур и устройств. По данным Journal Citation Reports , импакт-фактор журнала за 2014 год составил 1,398. [2]

Ссылки [ править ]

  1. ^ "Журнал вакуумной науки и техники, часть A". Отчеты о цитировании журнала за 2015 год . Web of Science (научный редактор). Thomson Reuters . 2016 г.
  2. ^ "Журнал вакуумной науки и техники, часть B". Отчеты о цитировании журнала за 2015 год . Web of Science (научный редактор). Thomson Reuters . 2016 г.

Внешние ссылки [ править ]

  • Официальный веб-сайт