 | Эта статья требует дополнительных ссылок для проверки . ( сентябрь 2018 г. ) ( Узнайте, как и когда удалить это сообщение-шаблон ) |
Регулятор массового расхода ( MFC ) представляет собой устройство , используемое для измерения и контроля потока жидкостей и газов . [1] Регулятор массового расхода разработан и откалиброван для управления определенным типом жидкости или газа в определенном диапазоне расходов. MFC можно задать уставку от 0 до 100% от его полного диапазона шкалы, но обычно он работает в диапазоне от 10 до 90% полной шкалы, где достигается наилучшая точность. Затем устройство будет контролировать скорость потока до заданного значения. MFC могут быть аналоговыми или цифровыми.. Цифровой контроллер потока обычно может управлять более чем одним типом жидкости, тогда как аналоговый контроллер ограничен жидкостью, для которой он был откалиброван.
Все контроллеры массового расхода имеют впускной порт, выпускной порт, датчик массового расхода и пропорциональный регулирующий клапан. MFC оснащен системой управления с обратной связью, которая получает входной сигнал от оператора (или внешней схемы / компьютера), который он сравнивает со значением от датчика массового расхода и регулирует пропорциональный клапан для достижения требуемого расхода. Расход указывается в процентах от его откалиброванного полномасштабного расхода и подается на MFC в виде сигнала напряжения.
Для регуляторов массового расхода требуется, чтобы подаваемый газ или жидкость находились в определенном диапазоне давления. Низкое давление приведет к нехватке жидкости в MFC и не сможет достичь заданного значения. Высокое давление может вызвать нестабильную скорость потока.
См. Также [ править ]
Ссылки [ править ]
- ^ Tison, SA (1996). «Критическая оценка тепловых массовых расходомеров» (PDF) . Журнал вакуумной науки и технологий A: Вакуум, поверхности и пленки . 14 (4): 2582–2591. Bibcode : 1996JVSTA..14.2582T . DOI : 10.1116 / 1.579985 . ISSN 0734-2101 . S2CID 39546958 . Архивировано из оригинального (PDF) на 2019-03-02.
Внешние ссылки [ править ]
- Видео о том, как работает контроллер массового расхода
- Тепловой массовый расходомер / контроллер (принцип работы) видео
- Видео с тепловым контроллером массового расхода на основе МЭМС
 | Эта статья о технологиях незавершена . Вы можете помочь Википедии, расширив ее . |
