Фторметан , также известный как метилфторид , фреон - 41 , галогенуглерод-41 и ГФУ-41 , представляет собой нетоксичный, сжижаемый и легковоспламеняющийся газ при стандартной температуре и давлении. Он состоит из углерода , водорода и фтора . Название связано с тем, что это метан (CH 4 ) с атомом фтора, замещенным на один из атомов водорода. Он используется в процессах производства полупроводников в качестве травильного газа в реакторах плазменного травления. [2]
Это соединение является членом семейства гидрофторуглеродов (ГФУ) с наименьшей массой, соединений, которые содержат только водород, фтор и углерод. Эти соединения относятся к хлорфторуглеродам (ХФУ), но, поскольку они не содержат хлора, не разрушают озоновый слой. [3] Фторуглероды, однако, являются мощными парниковыми газами, и Кигалийская поправка к Монреальскому протоколу представляет собой попытку поэтапного отказа от них из-за их вклада в глобальное потепление. [4]
Энергия связи C-F составляет 552 кДж/моль, а ее длина 0,139 нм (обычно 0,14 нм). Его молекулярная геометрия тетраэдрическая.
Его удельная теплоемкость ( Ср) составляет 38,171 Дж·моль - 1 ·К- 1 при 25 °С. Критическая точка фторметана находится при 44,9 ° C (318,1 K) и 6,280 МПа.