Пьезоэлектрические микромашинные ультразвуковые преобразователи ( PMUT ) представляют собой пьезоэлектрические ультразвуковые преобразователи на основе МЭМС . В отличие от объемных пьезоэлектрических преобразователей, которые используют движение по толщине пластинки из пьезоэлектрической керамики, такой как PZT или монокристаллический PMN-PT , PMUT основаны на изгибном движении тонкой мембраны, соединенной с тонкой пьезоэлектрической пленкой, такой как PVDF . [1] [2] [3] [4] [5] По сравнению с объемными пьезоэлектрическими ультразвуковыми преобразователями PMUT может предложить такие преимущества, как увеличенная полоса пропускания. , гибкая геометрия, соответствие естественного акустического импеданса с водой, пониженные требования к напряжению, смешение различных резонансных частот и возможность интеграции с вспомогательными электронными схемами, особенно для миниатюрных высокочастотных приложений.
Ссылки [ править ]
- ^ Тролье-МакКинстри, Сьюзен ; П. Муральт (январь 2004 г.). «Тонкопленочный пьезоэлектрик для МЭМС». Журнал Электрокерамики . 12 (1-2): 7. DOI : 10,1023 / Б: JECR.0000033998.72845.51 .
- ^ Hajati, Арман; и другие. (2012). «Трехмерная микроэлектромеханическая система пьезоэлектрический ультразвуковой преобразователь» . Письма по прикладной физике . 101 (25): 253101. DOI : 10,1063 / 1,4772469 .
- ^ Muralt, Пол (декабрь 2005). «Пьезоэлектрические микромашинные ультразвуковые преобразователи на основе тонких пленок PZT». IEEE Trans Ultrasonics, сегнетоэлектрики . 52 (12): 2276. DOI : 10,1109 / TUFFC.2005.1563270 .
- ^ Цю, Юнцян; и другие. (2015). «Матрицы пьезоэлектрических микромашинных ультразвуковых преобразователей (PMUT) для интегрированных датчиков, срабатывания и визуализации» . Датчики . 15 (4): 8020–41. DOI : 10.3390 / s150408020 . PMC 4431219 . PMID 25855038 .
- ^ Браун, Льюис (ноябрь 2000 г.). «Конструктивные соображения для пьезоэлектрического полимерного ультразвукового преобразователя». IEEE Trans Ultrasonics, сегнетоэлектрики . 47 (6): 1377–1396. DOI : 10.1109 / 58.883527 . PMID 18238684 .
