Атомное затенение террасы под низким углом ( ATLAS ) — это метод науки о поверхности , который позволяет выращивать плоские массивы нанопроволок или наноточек с использованием молекулярно-лучевой эпитаксии на вицинальной поверхности. ATLAS использует присущую поверхности ступенчатую структуру в качестве шаблона для таких наноструктур . [1] [2] Этот метод предполагает падение флюсового материала под малым углом на вицинальные подложки. Вицинальные субстраты состоят из атомных террас, разделенных атомными ступенями. Метод ATLAS позволяет изготавливать четко определенные плоские массивы плазмонных наноструктур с размерами, недостижимыми с помощью литографии .
Коллимированный пучок атомов или молекул испаряется под косым углом к подложке. Это приводит к тому, что ступеньки «затеняют» луч, и молекулы адсорбируются только на открытых частях ступеней, находящихся в прямой видимости испарителя .
Главной привлекательностью этого метода является его относительная простота, поскольку он не включает в себя несколько этапов литографии и может применяться как к металлическим , так и к полупроводниковым или оксидным поверхностям.
Этот метод представляет собой подход « снизу вверх » и позволяет полностью контролировать разделение наноструктур внутри массива, а также их индивидуальную ширину. Разделение определяется размером атомных террас подложки, который определяется ее отклонением от главного индекса ; а ширина наноструктур контролируется углом наклона осаждения.
Было показано, что ATLAS является очень универсальным методом: продемонстрирован рост металлических , полупроводниковых и магнитных нанопроводов и наноточек с использованием различных исходных материалов и подложек. [3]
На рис. 1(а) показана схема отложения в направлении «спуска», то есть от края внешней ступени к нижней террасе. Угол осаждения β между лучом и поверхностью невелик (1°-3°), так что некоторые участки террас открыты для воздействия луча, а другие геометрически затенены .