Перфтордецилтрихлорсилан , также известный как FDTS , представляет собой бесцветный жидкий химикат с молекулярной формулой C10H4Cl3F17Si . Молекулы FDTS образуют самособирающиеся монослои . Они образуют ковалентные связи кремний-кислород со свободными гидроксильными (-OH) группами, например, на поверхности стекла, керамики или кремнезема .
Монослой FDTS из-за сильно фторированной хвостовой группы снижает поверхностную энергию . Осаждение монослоя FDTS достигается с помощью относительно простого процесса, также известного как молекулярное осаждение из паровой фазы (MVD). Обычно он осаждается из паровой фазы при температуре от комнатной до температуры, близкой к комнатной (50 °C), и поэтому совместим с большинством субстраты. Процесс обычно проводят в вакуумной камере и при помощи водяного пара. Обработанные поверхности обладают водоотталкивающими и снижающими трение свойствами.
По этой причине монослой ФДТС часто наносят на подвижные микродетали микроэлектромеханических систем ( МЭМС ). [3] Монослой FDTS снижает поверхностную энергию и предотвращает прилипание, поэтому они используются для покрытия микро- и наноэлементов на штампах для литографии наноимпринта , которая становится предпочтительным методом для изготовления электроники, органических фотодиодов , микрофлюидики и других.
Уменьшенная поверхностная энергия полезна для уменьшения силы выталкивания и извлечения из формы полимерных деталей при литье под давлением , и покрытие FDTS было нанесено [4] на некоторые металлические формы и вставки для литья под давлением .