Из Википедии, свободной энциклопедии
Перейти к навигацииПерейти к поиску

Entegris, Inc. - американский поставщик продуктов и систем, которые очищают, защищают и транспортируют критически важные материалы, используемые в процессе производства полупроводниковых устройств .

Entegris работает из своей штаб-квартиры в Биллерике, Массачусетс. В компании работает около 5800 сотрудников на производстве, в сервисных центрах и исследовательских центрах в США, Канаде, Малайзии , Сингапуре , Тайване , Китае , Корее , Японии , Израиле , Ирландии , Германии и Франции .

Компания стремится помочь производителям повысить производительность за счет улучшения контроля загрязнения в нескольких ключевых процессах, включая фотолитографию , влажное травление и очистку, химико-механическую планаризацию , осаждение тонких пленок , химическую обработку в больших объемах, транспортировку и транспортировку пластин и сеток, а также тестирование, сборка и упаковка. Примерно 80% продукции компании используется в полупроводниковой промышленности.

Продукты

Продукция Entegris включает: продукты для фильтрации, очищающие технологические газы и жидкости, а также окружающую среду; жидкие системы и компоненты, которые распределяют, регулируют или транспортируют технологические жидкости; высококачественные материалы и специальные решения для управления газом; держатели и отправители пластин, которые защищают полупроводниковую пластину от загрязнения и поломки; и специализированный графит, карбид кремния и покрытия.

История

Компания была зарегистрирована в 1999 году как объединенная компания Fluoroware, Inc., которая начала свою деятельность в 1966 году, и EMPAK, Inc. Компания стала публичной в 2000 году.

В августе 2005 года Entegris объединилась с Mykrolis Corporation, публичным поставщиком продуктов фильтрации для полупроводниковой промышленности. Mykrolis была выделена из Millipore Corporation в 2000 году.

В августе 2008 года Entegris приобрела Poco Graphite, Inc., поставщика специализированных продуктов из графита и карбида кремния в Декейтере, штат Техас, для использования в полупроводниках, электроэрозионной обработке, розливе стекла в бутылки, биомедицинских, аэрокосмических и альтернативных энергетических приложениях.

30 апреля 2014 года Entegris приобрела ATMI, публичную компанию, предоставляющую критически важные материалы и решения для обработки материалов для полупроводниковой промышленности, в результате сделки на сумму 1,1 миллиарда долларов.

Ссылки

  • Ли1, С., Ши, С., Йен, С., Янг, Дж .: «Пример контроля микрозагрязнения». Исследование аэрозолей и качества воздуха , Vol. 2007, № 7, № 3, с. 432–442

Внешние ссылки