Из Википедии, бесплатной энциклопедии
Перейти к навигации Перейти к поиску

Индий оксид олова ( ITO ) представляет собой трехкомпонентную композицию из индия , олова и кислорода в различных пропорциях. В зависимости от содержания кислорода он может быть описан как керамический или сплав . Оксид индия и олова обычно встречается в виде насыщенной кислородом композиции с содержанием 74% In, 18% O 2 и 8% Sn по весу. Насыщенные кислородом композиции настолько типичны, что ненасыщенные композиции называют кислородно-дефицитным ITO . В тонких слоях он прозрачный и бесцветный, а в массе от желтоватого до серого цвета. В инфракрасной области спектра он действует как металлическое зеркало.

Оксид индия и олова является одним из наиболее широко используемых прозрачных проводящих оксидов из-за его электропроводности и оптической прозрачности , а также легкости, с которой он может быть нанесен в виде тонкой пленки. Как и в случае всех прозрачных проводящих пленок, необходимо найти компромисс между проводимостью и прозрачностью, поскольку увеличение толщины и концентрации носителей заряда увеличивает проводимость пленки, но снижает ее прозрачность.

Тонкие пленки оксида индия и олова обычно наносятся на поверхности путем физического осаждения из паровой фазы . Часто используется электронно-лучевое испарение или ряд методов напыления .

Материал и свойства [ править ]

Поглощение стекла и стекла ITO

ITO представляет собой смешанный оксид индия и олова с температурой плавления в диапазоне 1526–1926 ° C (1800–2200 K , 2800–3500 ° F) в зависимости от состава. Наиболее часто используемый материал имеет состав около In 4 Sn. Материал представляет собой полупроводник n-типа с большой шириной запрещенной зоны около 4 эВ. [1] ITO прозрачен для видимого света и обладает относительно высокой электропроводностью.

ITO имеет низкое электрическое сопротивление ~ 10 -4 Ом · см, а тонкая пленка может иметь оптическое пропускание более 80%. [2]

Эти свойства используются с большим преимуществом в приложениях с сенсорным экраном, таких как мобильные телефоны .

Обычное использование [ править ]

Помехи тонкой пленки, вызванные покрытием ITO на окне кабины Airbus , используемом для размораживания.

Оксид индия и олова (ITO) - это оптоэлектронный материал, который широко применяется как в исследованиях, так и в промышленности. ITO можно использовать для многих приложений, таких как плоские дисплеи, интеллектуальные окна, электроника на полимерной основе, тонкопленочные фотоэлектрические элементы, стеклянные двери морозильных камер супермаркетов и архитектурные окна. Более того, тонкие пленки ITO для стеклянных подложек могут быть полезны для стеклянных окон для экономии энергии. [1]

Зеленые ленты ITO используются для производства электролюминесцентных, функциональных и полностью универсальных ламп. [3] Кроме того, тонкие пленки ITO используются в основном в качестве антибликовых покрытий, а также для жидкокристаллических дисплеев (ЖКД) и электролюминесценции, где тонкие пленки используются в качестве проводящих прозрачных электродов. [4]

ITO часто используется для изготовления прозрачного проводящего покрытия для дисплеев, таких как жидкокристаллические дисплеи , OLED- дисплеи, плазменные дисплеи , сенсорные панели и приложения для электронных чернил . Тонкие пленки ITO также используются в органических светодиодах , солнечных элементах , антистатических покрытиях и экранированиях от электромагнитных помех. В органических светодиодах ITO используется в качестве анода (слой инжекции дырок).

Пленки ITO, нанесенные на лобовые стекла, используются для размораживания лобовых стекол самолетов. Тепло создается за счет приложения напряжения к пленке.

ITO также используется для различных оптических покрытий , в первую очередь для покрытий , отражающих инфракрасное излучение ( горячие зеркала ) для автомобилей, и стекол для натриевых ламп . Другие применения включают газовые датчики , [5] просветляющие покрытия , электросмачивание диэлектриков и брэгговские отражатели для лазеров VCSEL . ITO также используется в качестве ИК-отражателя для оконных стекол с низким энергопотреблением. ITO также использовался в качестве покрытия сенсора в более поздних камерах Kodak DCS , начиная с Kodak DCS 520, как средство увеличения отклика синего канала. [6]

Тонкопленочные тензодатчики ITO могут работать при температурах до 1400 ° C и могут использоваться в суровых условиях, таких как газовые турбины , реактивные двигатели и ракетные двигатели . [7]

Альтернативные методы синтеза и альтернативные материалы [ править ]

Из-за высокой стоимости и ограниченного запаса индия, хрупкости и недостаточной гибкости слоев ITO, а также из-за дорогостоящего осаждения слоев, требующего вакуума, исследуются альтернативные методы получения ITO и альтернативные материалы. [8]

Допированные соединения [ править ]

Также можно использовать альтернативные материалы. Некоторые легирующие примеси переходных металлов в оксид индия, особенно молибден, дают гораздо более высокую подвижность электронов и проводимость, чем полученные с оловом. [9] Допированные бинарные соединения, такие как оксид цинка, легированный алюминием (AZO) и оксид кадмия, легированный индием , были предложены в качестве альтернативных материалов. Другие неорганические альтернативы включают оксид цинка, легированный алюминием , галлием или индием (AZO, GZO или IZO).

Углеродные нанотрубки [ править ]

Проводящие покрытия из углеродных нанотрубок являются перспективной заменой. [10] [11]

Графен [ править ]

В качестве другой альтернативы на основе углерода пленки графена являются гибкими и, как было показано, обеспечивают 90% прозрачность с более низким электрическим сопротивлением, чем стандартный ITO. [12] Тонкие металлические пленки также рассматриваются как потенциальный заменяющий материал. В настоящее время тестируется альтернатива гибридному материалу - электрод, сделанный из серебряных нанопроволок и покрытый графеном . Преимущества таких материалов заключаются в сохранении прозрачности при одновременной электропроводности и гибкости. [13]

Проводящие полимеры [ править ]

Собственно проводящие полимеры (ICP) также разрабатываются для некоторых приложений ITO. [14] [15] Обычно проводимость проводящих полимеров, таких как полианилин и PEDOT : PSS, ниже, чем у неорганических материалов, но они более гибкие, менее дорогие и более экологически чистые при обработке и производстве.

Аморфный оксид индия – цинка [ править ]

Чтобы снизить содержание индия, уменьшить сложность обработки и улучшить электрическую однородность, были разработаны аморфные прозрачные проводящие оксиды. Один из таких материалов, аморфный оксид индия-цинка, поддерживает ближний порядок, даже если кристаллизация нарушается из-за разницы в соотношении кислорода к атомам металла между In 2 O 3 и ZnO. Оксид индия-цинка имеет некоторые свойства, сравнимые с ITO. [16] Аморфная структура остается стабильной даже при температуре до 500 ° C, что позволяет выполнять важные этапы обработки, характерные для органических солнечных элементов . [8] Улучшение однородности значительно повышает удобство использования материала в случаеорганические солнечные батареи . Области с плохими характеристиками электродов в органических солнечных элементах делают часть площади элемента непригодной для использования. [17]

Гибрид наночастиц серебра и ITO [ править ]

Процесс внедрения наночастиц серебра (AgNP) в полимерную ( PET ) подложку

ITO широко используется в качестве высококачественной гибкой подложки для производства гибкой электроники. [18] Однако гибкость этой подложки снижается по мере улучшения ее проводимости. Предыдущие исследования показали, что механические свойства ITO можно улучшить за счет увеличения степени кристалличности . [19] Легирование серебром (Ag) может улучшить это свойство, но приводит к потере прозрачности. [20] Улучшенный метод внедрения наночастиц Ag.(AgNP) вместо гомогенного создания гибридного ITO оказалось эффективным в компенсации снижения прозрачности. Гибридный ITO состоит из доменов одной ориентации, выращенных на AgNP, и матрицы другой ориентации. Домены прочнее, чем матрица, и служат препятствием для распространения трещин, значительно увеличивая гибкость. Изменение удельного сопротивления при увеличении изгиба значительно уменьшается в гибридном ITO по сравнению с гомогенным ITO. [21]

Альтернативные методы синтеза [ править ]

Процесс кастинга на магнитную ленту [ править ]

ITO обычно наносится с помощью дорогостоящих и энергоемких процессов, связанных с физическим осаждением из паровой фазы (PVD). К таким процессам относится распыление , в результате которого образуются хрупкие слои. [ необходима цитата ] Альтернативный процесс, который использует технику на основе частиц, известен как процесс литья на ленту. Поскольку это метод, основанный на частицах, наночастицы ITO сначала диспергируются, а затем помещаются в органические растворители для стабильности. Бензил фталат пластификатор и поливиниловый бутирал связующего , как было показано , чтобы быть полезными при подготовке наночастиц шламов. После завершения процесса литья ленты характеристика зеленых лент ITO показала, что оптимальная передача повысилась примерно до 75% с нижней границей электрического сопротивления 2 Ом · см. [3]

Лазерное спекание [ править ]

Использование наночастиц ITO накладывает ограничения на выбор подложки из-за высокой температуры, необходимой для спекания . В качестве альтернативного исходного материала наночастицы сплава In-Sn позволяют использовать более широкий диапазон возможных подложек. [22] Сначала формируется сплошная проводящая пленка из сплава In-Sn, после чего происходит окисление для обеспечения прозрачности. Этот двухэтапный процесс включает термический отжиг, который требует особого контроля атмосферы и увеличения времени обработки. Поскольку металлические наночастицы могут быть легко преобразованы в проводящую металлическую пленку под действием лазера, лазерное спеканиеприменяется для достижения однородной морфологии изделий. Лазерное спекание также легко и дешевле в использовании, поскольку его можно проводить на воздухе. [23]

Условия окружающего газа [ править ]

Например, использование обычных методов, но изменение условий окружающего газа для улучшения оптоэлектронных свойств [24], поскольку, например, кислород играет основную роль в свойствах ITO. [25]

Химическая стружка для очень тонких пленок [ править ]

Проведенное численное моделирование плазмонных металлических наноструктур показало большой потенциал в качестве метода управления светом в гидрогенизированных аморфных кремниевых (a-Si: H) солнечных фотоэлектрических элементах с тонкопленочными нанодисками . Проблема, которая возникает для фотоэлектрических устройств с плазмонными усилениями, заключается в необходимости использования «ультратонких» прозрачных проводящих оксидов (ППО) с высоким коэффициентом пропускания и достаточно низким удельным сопротивлением для использования в качестве верхних контактов / электродов устройства. К сожалению, большая часть работ по TCO проводится на относительно толстых слоях, и несколько зарегистрированных случаев тонких TCO показали заметное снижение проводимости. Чтобы преодолеть это, можно сначала вырастить толстый слой, а затем химически сбрить его, чтобы получить цельный тонкий слой с высокой проводимостью.[26]

Ограничения и компромиссы [ править ]

Основная проблема ITO - это его стоимость. ITO стоит в несколько раз дороже оксида алюминия и цинка (AZO). Из-за более низкой стоимости и относительно хороших оптических характеристик пропускания в солнечном спектре часто выбирают AZO из прозрачного проводящего оксида (TCO). Однако ITO превосходит AZO во многих других важных категориях характеристик, включая химическую стойкость к влаге. ITO не подвержен влиянию влаги и стабилен как часть солнечного элемента из селенида меди, индия, галлия в течение 25–30 лет на крыше.

Хотя мишень для распыления или испарительный материал, который используется для нанесения ITO, значительно дороже, чем AZO, количество материала, помещаемого на каждую ячейку, довольно мало. Таким образом, штраф за ячейку также довольно невелик.

Преимущества [ править ]

Изменения морфологии поверхности в Al: ZnO и i- / Al: ZnO при воздействии сбросового тепла (DH) ( оптическая интерферометрия ) [27]

Основное преимущество ITO по сравнению с AZO в качестве прозрачного проводника для ЖК-дисплеев заключается в том, что ITO может быть точно вытравлен в тонкие узоры. [28] AZO нельзя протравить так точно: он настолько чувствителен к кислоте, что имеет тенденцию к чрезмерному травлению при кислотной обработке. [28]

Еще одно преимущество ITO по сравнению с AZO состоит в том, что если влага проникает внутрь, ITO разлагается меньше, чем AZO. [27]

Роль ITO-стекла в качестве субстрата для клеточных культур может быть легко расширена, что открывает новые возможности для исследований роста клеток с использованием электронной микроскопии и корреляционного света. [29]

Примеры исследований [ править ]

ITO можно использовать в нанотехнологиях, чтобы открыть путь к солнечным элементам нового поколения. Солнечные элементы, изготовленные с использованием этих устройств, могут предоставить недорогие, сверхлегкие и гибкие элементы для широкого спектра применений. Из-за наноразмерных размеров наностержней квантово-размерные эффекты влияют на их оптические свойства. Подбирая размер стержней, их можно сделать так, чтобы они поглощали свет в определенной узкой цветовой полосе. Объединяя несколько ячеек со стержнями разного размера, можно собирать и преобразовывать в энергию широкий диапазон длин волн солнечного спектра. Более того, наноразмерный объем стержней приводит к значительному уменьшению количества необходимого полупроводникового материала по сравнению с обычной ячейкой. [30] [31]

Здоровье и безопасность [ править ]

Вдыхание оксида индия и олова может вызвать легкое раздражение дыхательных путей, и его следует избегать. При длительном воздействии симптомы могут стать хроническими и привести к доброкачественному пневмокониозу . Исследования на животных показывают, что оксид индия-олова токсичен при попадании внутрь, а также оказывает негативное воздействие на почки, легкие и сердце. [32]

В процессе добычи, производства и рекультивации рабочие потенциально подвергаются воздействию индия, особенно в таких странах, как Китай, Япония, Республика Корея и Канада [33], и сталкиваются с вероятностью легочного альвеолярного протеиноза , легочного фиброза , эмфиземы и т. Д. и гранулемы . У рабочих в США, Китае и Японии были диагностированы холестериновые расщелины под воздействием индия. [34] In vitro было обнаружено, что наночастицы серебра, присутствующие в улучшенных ITO, проникают как через неповрежденную, так и через поврежденную кожу в эпидермальный слой.. Предполагается, что неспеченные ITO вызывают сенсибилизацию, опосредованную Т-клетками : при исследовании внутрикожного воздействия концентрация 5% uITO приводила к пролиферации лимфоцитов у мышей, включая увеличение количества клеток в течение 10-дневного периода. [35]

Из-за контакта с индийсодержащей пылью возникла новая профессиональная проблема, называемая индиевой болезнью легких. Первый пациент - рабочий, связанный с мокрым шлифованием поверхностей ITO, который страдал от интерстициальной пневмонии : его легкое было заполнено частицами, связанными с ITO. [36] Эти частицы также могут вызывать выработку цитокинов и дисфункцию макрофагов . Сами по себе спеченные частицы ITO могут вызывать фагоцитарную дисфункцию, но не высвобождение цитокинов в клетках макрофагов ; однако они могут вызвать провоспалительный цитокиновый ответ в легочных эпителиальных клетках.. В отличие от uITO, они также могут приносить эндотоксин рабочим, работающим с мокрым процессом, при контакте с жидкостями, содержащими эндотоксин. Это можно объяснить тем фактом, что sITO имеют больший диаметр и меньшую площадь поверхности, и что это изменение после процесса спекания может вызвать цитотоксичность . [37]

Из-за этих проблем были найдены альтернативы ITO. [38] [39]

Переработка [ править ]

Процесс очистки сточных вод травления оксидом индия-олова (ITO)

Травления вода , используемая в процессе спекания ITO может быть использована только для ограниченного числа раз , прежде чем расположены. После разложения сточные воды должны все еще содержать ценные металлы, такие как In, Cu, в качестве вторичного ресурса, а также Mo, Cu, Al, Sn и In, которые могут представлять опасность для здоровья человека. [40] [41] [42] [43] [44] [45] [46] [47]

См. Также [ править ]

  • Прозрачная проводящая пленка

Ссылки [ править ]

  1. ^ а б Ким, H .; Гилмор, CM; Piqué, A .; Хорвиц, Дж. С.; Маттусси, Х .; Murata, H .; Кафафи, ZH; Криси, ДБ (декабрь 1999 г.). «Электрические, оптические и структурные свойства тонких пленок оксида индия – олова для органических светоизлучающих устройств». Журнал прикладной физики . 86 (11): 6451–6461. Bibcode : 1999JAP .... 86.6451K . DOI : 10.1063 / 1.371708 .
  2. ^ Chen, Zhangxian (2013). «Изготовление высокопрозрачных и проводящих тонких пленок оксида индия-олова с высоким показателем качества путем обработки раствора». Ленгмюра . 29 (45): 13836–13842. DOI : 10.1021 / la4033282 . PMID 24117323 . 
  3. ^ a b Straue, Надя; Раушер, Мартин; Дресслер, Мартина; Рузен, Андреас; Морено, Р. (февраль 2012 г.). «Литье зеленых лент ITO для гибких электролюминесцентных ламп». Журнал Американского керамического общества . 95 (2): 684–689. DOI : 10.1111 / j.1551-2916.2011.04836.x .
  4. ^ Ду, Цзянь; Чен, Синь-лян; Лю, Цай-чи; Ни, Цзянь; Хоу, Го-фу; Чжао, Инь; Чжан, Сяо-дан (24 апреля 2014 г.). «Высокопрозрачные и проводящие тонкие пленки оксида индия и олова для солнечных элементов, выращенные реактивным термическим испарением при низкой температуре». Прикладная физика . 117 (2): 815–822. Bibcode : 2014ApPhA.tmp..229D . DOI : 10.1007 / s00339-014-8436-х . S2CID 95720073 . 
  5. ^ Мокрушин, Артем С .; Фисенко, Никита А .; Горобцов, Филипп Ю. Симоненко, Татьяна Л .; Глумов, Олег В .; Мельникова Наталья А .; Симоненко, Николай П .; Букунов, Кирилл А .; Симоненко, Елизавета П .; Севастьянов Владимир Г .; Кузнецов, Николай Т. (01.01.2021). «Ручная плоттерная печать тонкой пленки ITO как высокочувствительного компонента резистивного датчика газа» . Таланта . 221 : 121455. DOI : 10.1016 / j.talanta.2020.121455 . ISSN 0039-9140 . PMID 33076078 .  
  6. ^ Увеличение отклика синего канала . Бюллетень технической информации . kodak.com
  7. Луо, Цин (1 января 2001 г.). Тонкопленочные тензодатчики из оксида индия и олова для работы при повышенных температурах (Дипломная работа). С. 1–146.
  8. ^ a b Fortunato, E .; Д. Джинли; Х. Хосоно; DC Пейн (март 2007 г.). «Прозрачные проводящие оксиды для фотовольтаики» . Бюллетень МИССИС . 32 (3): 242–247. DOI : 10.1557 / mrs2007.29 . S2CID 136882786 . 
  9. ^ Ласточка, Джек EN; Уильямсон, Бенджамин А.Д.; Сатхасивам, Санджаян; Биркетт, Макс; Фезерстоун, Томас Дж .; Murgatroyd, Philip AE; Эдвардс, Холли Дж .; Лебенс-Хиггинс, Захари В .; Дункан, Дэвид А .; Фарнворт, Марк; Уоррен, Пол; Пэн, Няньхуа; Ли, Тянь-Линь; Пайпер, Луи Ф.Дж.; Регутц, Анна; Кармальт, Клэр Дж .; Паркин, Иван П .; Dhanak, Vin R .; Scanlon, Дэвид O .; Телятина, Тим Д. (2019). «Резонансное легирование прозрачных проводников с высокой подвижностью: случай In 2 O 3, легированного Mo » . Материалы Horizons . 7 : 236–243. DOI : 10.1039 / c9mh01014a .
  10. ^ «Исследователи нашли замену оксиду индия и олова редкого материала» (онлайн) . Журнал R&D . Advantage Business Media. 11 апреля 2011 . Проверено 11 апреля 2011 года .
  11. ^ Кирилюк, Андрей В .; Германт, Мария Клэр; Шиллинг, Таня; Клумперман, Берт; Koning, Cor E .; ван дер Шут, Пол (10 апреля 2011 г.). «Контроль электрической перколяции в дисперсиях многокомпонентных углеродных нанотрубок». Природа Нанотехнологии . 6 (6): 364–369. Bibcode : 2011NatNa ... 6..364K . DOI : 10.1038 / nnano.2011.40 . PMID 21478868 . 
  12. ^ ServiceJun. 20, Роберт Ф. (20 июня 2010 г.). «Графен, наконец, становится большим» . Наука . AAAS.
  13. ^ Чен, Жуйи; Das, Suprem R .; Чон, Чангук; Хан, Мохаммад Райян; Джейнс, Дэвид Б.; Алам, Мухаммад А. (6 ноября 2013 г.). «Со-перколяционная сеть из серебряных нанопроволок с графеновой оболочкой для высокопроизводительных, высокостабильных, прозрачных проводящих электродов». Современные функциональные материалы . 23 (41): 5150–5158. DOI : 10.1002 / adfm.201300124 .
  14. ^ Ся, Ицзе; Сунь, Куан; Оуян, Цзяньюн (8 мая 2012 г.). «Обработанные в растворе металлические проводящие полимерные пленки в качестве прозрачных электродов для оптоэлектронных устройств». Современные материалы . 24 (18): 2436–2440. DOI : 10.1002 / adma.201104795 . PMID 22488584 . 
  15. ^ Сагай, Джабер; Фаллахзаде, Али; Saghaei, Tayebeh (сентябрь 2015 г.). «Органические солнечные элементы без ITO, использующие обработанные фенолом аноды PEDOT: PSS с высокой проводимостью». Органическая электроника . 24 : 188–194. DOI : 10.1016 / j.orgel.2015.06.002 .
  16. ^ Ито, N .; Sato, Y .; Песня, ПК; Kaijio, A .; Inoue, K .; Сигесато Ю. (февраль 2006 г.). «Электрические и оптические свойства пленок аморфного оксида индия и цинка». Тонкие твердые пленки . 496 (1): 99–103. Bibcode : 2006TSF ... 496 ... 99i . DOI : 10.1016 / j.tsf.2005.08.257 .
  17. ^ Ирвин, Майкл Д .; Лю, Цзюнь; Ливер, Бенджамин Дж .; Сервейтес, Джонатан Д.; Hersam, Mark C .; Дурсток, Майкл Ф .; Маркс, Тобин Дж. (16 февраля 2010 г.). «Последствия удаления межфазного слоя анода. HCl-обработанный ITO в P3HT: органические фотоэлектрические устройства на основе объемных гетеропереходов» . Ленгмюра . 26 (4): 2584–2591. DOI : 10.1021 / la902879h . PMID 20014804 . S2CID 425367 .  
  18. ^ Лу, Наньшу; Лу, Чи; Ян, Шисюань; Роджерс, Джон (10 октября 2012 г.). «Высокочувствительные тензодатчики, монтируемые на кожу, полностью основанные на эластомерах» . Современные функциональные материалы . 22 (19): 4044–4050. DOI : 10.1002 / adfm.201200498 . S2CID 16369286 . 
  19. ^ Ким, Ын-Хе; Ян, Чан-Ву; Пак, Джин Ву (15 февраля 2011 г.). «Кристалличность и механические свойства покрытий из оксида индия и олова на полимерных подложках». Журнал прикладной физики . 109 (4): 043511–043511–8. Bibcode : 2011JAP ... 109d3511K . DOI : 10.1063 / 1.3556452 .
  20. ^ Ян, Чан-Ву; Пак, Джин Ву (май 2010 г.). «Сопротивление когезионным трещинам и расслоению изгиба пленок оксида индия и олова (ITO) на полимерных подложках с прослойками из пластичного металла». Технология поверхностей и покрытий . 204 (16–17): 2761–2766. DOI : 10.1016 / j.surfcoat.2010.02.033 .
  21. ^ Triambulo, Росс Э .; Ким, Чон-Хун; На, Мин-Ён; Чанг, Хе-Юнг; Пак, Джин Ву (17 июня 2013 г.). «Высокоэластичные оксиды индия и олова с гибридной структурой для прозрачных электродов на полимерных подложках». Письма по прикладной физике . 102 (24): 241913. Bibcode : 2013ApPhL.102x1913T . DOI : 10.1063 / 1.4812187 .
  22. ^ Осава, Масато; Сакио, Сусуму; Сайто, Казуя (2011). «ITO 導電 膜 形成 用 ナ ノ 粒子 イ ン ク の 開» [Разработка наночастиц чернил для формирования прозрачной проводящей пленки ITO]. Журнал Японского института упаковки электроники (на японском языке). 14 (6): 453–459. DOI : 10.5104 / jiep.14.453 .
  23. ^ Цинь, банда; Вентилятор, Лидан; Ватанабэ, Акира (январь 2016 г.). «Формирование пленки оксида индия и олова мокрым способом с использованием лазерного спекания». Журнал технологий обработки материалов . 227 : 16–23. DOI : 10.1016 / j.jmatprotec.2015.07.011 .
  24. ^ Marikkannan, M .; Субраманиан, М .; Mayandi, J .; Tanemura, M .; Vishnukanthan, V .; Пирс, Дж. М. (январь 2015 г.). «Влияние окружающих комбинаций аргона, кислорода и водорода на свойства пленок оксида индия и олова, напыленных магнетроном на постоянном токе» . AIP продвигается . 5 (1): 017128. Bibcode : 2015AIPA .... 5a7128M . DOI : 10.1063 / 1.4906566 .
  25. ^ Gwamuri, Jephias; Марикканнан, Муругесан; Майанди, Джеянтинатх; Боуэн, Патрик; Пирс, Джошуа (20 января 2016 г.). «Влияние концентрации кислорода на производительность ультратонких пленок оксида индия и олова, нанесенных методом магнетронного распыления, в качестве верхнего электрода для фотоэлектрических устройств» . Материалы . 9 (1): 63. Bibcode : 2016Mate .... 9 ... 63G . DOI : 10,3390 / ma9010063 . PMC 5456523 . PMID 28787863 .  
  26. ^ Gwamuri, Jephias; Вора, Анкит; Майанди, Джеянтинатх; Güney, Durdu Ö .; Bergstrom, Paul L .; Пирс, Джошуа М. (май 2016 г.). «Новый метод получения сверхтонкого оксида индия и олова с высокой проводимостью для тонкопленочных солнечных фотоэлектрических устройств с плазмонными усилениями» . Материалы для солнечной энергии и солнечные элементы . 149 : 250–257. DOI : 10.1016 / j.solmat.2016.01.028 .
  27. ^ a b Перн, Джон (декабрь 2008 г.). «Проблемы стабильности прозрачных проводящих оксидов (ППТ) для тонкопленочных фотоэлектрических систем» (PDF) . Национальная лаборатория возобновляемых источников энергии США.
  28. ^ а б Дэвид Джинли (11 сентября 2010 г.). Справочник прозрачных проводников . Springer Science & Business Media. С. 524–. ISBN 978-1-4419-1638-9.
  29. ^ Pluk, H .; Стокс, диджей; Лич, Б .; Wieringa, B .; Франсен, Дж. (Март 2009 г.). «Преимущества стеклянных слайдов, покрытых оксидом индия и олова, в применении корреляционной сканирующей электронной микроскопии для выращенных клеток без покрытия». Журнал микроскопии . 233 (3): 353–363. DOI : 10.1111 / j.1365-2818.2009.03140.x . PMID 19250456 . S2CID 5489454 .  
  30. ^ Национальная нанотехнологическая инициатива. «Преобразование и хранение энергии: новые материалы и процессы для удовлетворения потребностей в энергии» (PDF) . Архивировано из оригинального (PDF) 12 мая 2009 года.
  31. ^ "Национальные исследования и разработки в области нанотехнологий в поддержку следующей промышленной революции" (PDF) . nano.gov . п. 29.
  32. ^ Хосоно, Хидео; Курита, Масааки; Кавазоэ, Хироши (1 октября 1998 г.). «Эксимерная лазерная кристаллизация аморфного оксида индия-олова и ее применение для тонкого нанесения рисунка». Японский журнал прикладной физики . 37 (Часть 2, № 10А): L1119 – L1121. Bibcode : 1998JaJAP..37L1119H . DOI : 10,1143 / JJAP.37.L1119 .
  33. ^ ПОЛИНАРЕС (Политика ЕС в области природных ресурсов, 2012). Информационный бюллетень: Индий . [последний доступ 20 марта 2013 г.]
  34. ^ Каммингс, Кристин Дж .; Накано, Макико; Омаэ, Казуюки; Такеучи, Коитиро; Чонан, Тацуя; Сяо, Юн-лун; Harley, Russell A .; Роггли, Виктор Л .; Хебисава, Акира; Таллаксен, Роберт Дж .; Трапнелл, Брюс С.; День, Грегори А. Сайто, Рена; Стэнтон, Марсия Л .; Суартана, Ева; Крейсс, Кэтлин (июнь 2012 г.). «Индиевая болезнь легких» . Сундук . 141 (6): 1512–1521. DOI : 10.1378 / chest.11-1880 . PMC 3367484 . PMID 22207675 .  
  35. ^ Брок, Кристи; Андерсон, Стейси Э .; Лукомская, Ева; Лонг, Кэрри; Андерсон, Кэти; Маршалл, Никки; Жан Мид, Б. (29 октября 2013 г.). «Иммунная стимуляция после воздействия на кожу неспеченного оксида индия и олова» . Журнал иммунотоксикологии . 11 (3): 268–272. DOI : 10.3109 / 1547691X.2013.843620 . PMC 4652645 . PMID 24164313 .  
  36. ^ Хомма, Тошиаки; Уэно, Такахиро; Секизава, Киёхиса; Танака, Акиё; Хирата, Миюки (4 июля 2003 г.). «Интерстициальная пневмония, развившаяся у рабочего, имеющего дело с частицами, содержащими оксид индия-олова» . Журнал гигиены труда . 45 (3): 137–139. DOI : 10,1539 / joh.45.137 . PMID 14646287 . 
  37. ^ Баддинг, Мелисса A .; Швеглер-Берри, Дайан; Пак, Чжу Хён; Исправить, Натали Р .; Каммингс, Кристин Дж .; Леонард, Стивен С .; Охциус, Дэвид М. (13 апреля 2015 г.). «Спеченные частицы оксида индия-олова вызывают провоспалительные реакции in vitro, частично за счет активации инфламмасом» . PLOS ONE . 10 (4): e0124368. Bibcode : 2015PLoSO..1024368B . DOI : 10.1371 / journal.pone.0124368 . PMC 4395338 . PMID 25874458 .  
  38. ^ Ичики, Акира; Ширасаки, Юичи; Ито, Тадаши; Сорори, Тадахиро; Кегасава, Тадахиро (2017). «ッ チ パ ネ ル 用 薄型 両 面 ー フ ィ ル ム「 ク リ ア 」の» [Разработка тонкой двусторонней сенсорной пленки «EXCLEAR» для сенсорных панелей с помощью галогенидной фототехнологии серебра]. Fuji Film Research & Development (на японском языке). NAID 40021224398 . 
  39. ^ «Окружающая среда: [Topics2] Разработка материалов, решающих проблемы окружающей среды EXCLEAR, тонкая двусторонняя сенсорная пленка для сенсорных панелей | FUJIFILM Holdings» . www.fujifilmholdings.com .
  40. ^ Фаулер, Брюс А; Ямаути, Хироши; Коннер, EA; Аккерман, М. (1993). «Риск рака для человека от воздействия полупроводниковых металлов». Скандинавский журнал труда, окружающей среды и здоровья . 19 : 101–103. JSTOR 40966384 . PMID 8159952 .  
  41. ^ Чонан, Т .; Taguchi, O .; Омаэ, К. (27 сентября 2006 г.). «Интерстициальные легочные заболевания у рабочих индия» . Европейский респираторный журнал . 29 (2): 317–324. DOI : 10.1183 / 09031936.00020306 . PMID 17050566 . 
  42. ^ Barceloux, Donald G .; Барселю, Дональд (6 августа 1999 г.). «Молибден». Журнал токсикологии: клиническая токсикология . 37 (2): 231–237. DOI : 10,1081 / сх-100102422 . PMID 10382558 . 
  43. ^ Barceloux, Donald G .; Барселю, Дональд (6 августа 1999 г.). "Медь". Журнал токсикологии: клиническая токсикология . 37 (2): 217–230. DOI : 10,1081 / сх-100102421 . PMID 10382557 . 
  44. ^ Гупта, Umesh C .; Гупта, Субхас С. (11 ноября 2008 г.). «Связь токсичности микроэлементов с растениеводством, животноводством и здоровьем человека: последствия для управления» . Коммуникации в области почвоведения и анализа растений . 29 (11–14): 1491–1522. DOI : 10.1080 / 00103629809370045 . S2CID 53372492 . 
  45. ^ Информационный бюллетень по опасным веществам . Департамент здравоохранения и обслуживания пожилых людей Нью-Джерси.
  46. ^ Lenntech Влияние олова на здоровье .
  47. ^ Деревенщина, Р. (2014)стр. 116-119 в Энциклопедии неврологических наук , изд. MJ Aminoff и RB Daroff, Academic Press, Oxford, 2-е изд.

Внешние ссылки [ править ]

  • Спектроскопические исследования проводящих оксидов металлов , со многими слайдами об ITO