Из Википедии, бесплатной энциклопедии
Перейти к навигации Перейти к поиску
Рисунок 1 - «Рисование» штампа. Штамп ПДМС с рисунком помещают в раствор этанола и ОДТ (октадекантиола).
Рисунок 2 - ODT из раствора оседает на штампе PDMS. К штампу теперь прикреплен ODT, который действует как чернила.
Рисунок 3 - Штамп PDMS с ODT помещен на золотую подложку. Когда штамп удаляется, ODT, контактирующий с золотом, остается на нем. Таким образом, рисунок штампа переносится на золото через «чернила» ODT.

В технологии , мягкая литография семейство методов изготовления или тиражирование структур с использованием «эластомерные штампы, пресс - формы и согласные фотошаблонов». [1] Он называется «мягким», потому что в нем используются эластомерные материалы, в первую очередь ПДМС .

Мягкая литография обычно используется для построения деталей, измеряемых в масштабе от микрометра до нанометра . По словам Роджерса и Нуццо (2005), развитие мягкой литографии быстро расширилось с 1995 по 2005 год. Инструменты мягкой литографии сейчас коммерчески доступны. [2]

Преимущества [ править ]

Сарфусное изображение стрептавидина, нанесенное методом мягкой литографии с печатью PDMS.

Мягкая литография имеет некоторые уникальные преимущества перед другими формами литографии (такими как фотолитография и электронно-лучевая литография ). Они включают следующее:

  • Более низкая стоимость по сравнению с традиционной фотолитографией при массовом производстве
  • Хорошо подходит для применения в биотехнологии
  • Хорошо подходит для применения в пластиковой электронике
  • Хорошо подходит для приложений с большими или неплоскими (неплоскими) поверхностями
  • Больше методов переноса рисунка, чем традиционные методы литографии (больше "чернильных" вариантов)
  • Не требует фотореактивной поверхности для создания наноструктуры
  • Меньшие детали, чем при фотолитографии в лабораторных условиях (~ 30 нм против ~ 100 нм). Разрешение зависит от используемой маски и может достигать 6 нм. [3]

См. Также [ править ]

Ссылки [ править ]

  1. ↑ По словам Роджерса и Нуццо, стр. 50, как указано в «Дополнительном чтении»
  2. ^ «Исследования микроштампов: коммерчески доступные микроштампы» . RMS . Проверено 17 января 2017 .
  3. ^ Вальднер, Жан-Батист (2008). Нанокомпьютеры и Swarm Intelligence . Лондон: ISTE John Wiley & Sons . п. 93. ISBN  978-1-84704-002-2.

Дальнейшее чтение [ править ]

  • Xia, Y .; Whitesides, GM (1998). «Мягкая литография» . Энгью. Chem. Int. Эд. Англ . 37 (5): 551–575. DOI : 10.1002 / (SICI) 1521-3773 (19980316) 37: 5 <550 :: AID-ANIE550> 3.0.CO; 2-G . PMID  29711088 . Архивировано из оригинала на 2011-08-12.
  • Xia, Y .; Whitesides, GM (1998). «Мягкая литография. В». Анну. Rev. Mater. Sci . 28 : 153–184. Bibcode : 1998AnRMS..28..153X . DOI : 10.1146 / annurev.matsci.28.1.153 .
  • Quake, SR; Шерер, А. (2000). «От микро- к нанопроизводству из мягких материалов» . Наука . 290 (5496): 1536–1540. Bibcode : 2000Sci ... 290.1536Q . DOI : 10.1126 / science.290.5496.1536 . PMID  11090344 .
  • Роджерс, JA; Нуццо, Р.Г. (2005). «Февраль». Последние успехи в мягкой литографии. В » . Материалы сегодня . 8 (2): 50–56. DOI : 10.1016 / S1369-7021 (05) 00702-9 .