Барботер цилиндр является составной частью блока для металла органического химического осаждения из паровой фазы (MOCVD). Это устройства, которые используются для передачи металлорганических соединений электронного качества из жидкого или твердого прекурсора в пригодный для использования пар .
Аппарат [ править ]
Контейнер барботера аналогичен конструкции баллона для промывки газа и используется для защищенного хранения металлоорганических соединений, исключающих доступ воздуха ( кислорода , влаги ). Барботер имеет подводящую трубу и пробоотборную трубку. Впускная трубка заканчивается непосредственно перед дном трубки. В эту трубку вводится инертный газ, который пузырится через жидкий химикат; твердое химическое вещество будет возвышенным . Смесь регулируемого инертного газаи испаренный химикат покидает цилиндр в реакционный сосуд, расположенный ниже по потоку. Температура регулируется термостатом, так что может быть достигнуто определенное постоянное давление пара. Подача часто дорогостоящего и чувствительного химического вещества регулируется регулируемым потоком инертного газа и температурой барботера, что приводит к заданному давлению паров химического вещества.
Трубка между барботером и реактором должна иметь более высокую температуру, чем пузырь, в противном случае предшественник конденсировался бы в трубке и, следовательно, неконтролируемые капли попали бы в реакционный сосуд. Если это произойдет с твердым прекурсором, он может заблокировать линию.
Заявление [ править ]
Так , например, во время производства высокой яркости светодиодов , галлия или другие группы III-V элементов эпитаксиально осаждают на монокристаллической кремниевой подложке. Галлий вводится в камеру реактора MOVPE через пар. Этот пар образуется при пропускании инертного газа-носителя (такого как азот или аргон ) через цилиндр с погружной трубкой через металлоорганический предшественник, такой как триметилгаллий . Инертный газ-носитель и пары металлоорганических соединений затем вводятся в камеру реактора MOVPE (или MOCVD) во время производства светодиодов высокой яркости.
Внешние ссылки [ править ]
 | Эта статья про электронику незавершена . Вы можете помочь Википедии, расширив ее . |
