В неорганической химии хлорсиланы — группа реакционноспособных хлорсодержащих химических соединений , родственных силану ( SiH 4 ) и используемых во многих химических процессах. Каждое такое химическое вещество имеет по крайней мере одну связь кремний -хлор ( Si-Cl ). Трихлорсилан производится в крупнейших масштабах. Исходным хлорсиланом является тетрахлорид кремния ( SiCl 4 ) . [1]
К ним относятся хлорсилан (H 3 SiCl) , дихлорсилан (H 2 SiCl 2 ) , трихлорсилан и, что наиболее важно, (HSiCl 3 ) . Идеализированное уравнение производства трихлорсилана : [2]
Метилтрихлорсилан (CH 3 SiCl 3 ) , диметилдихлорсилан ((CH 3 ) 2 SiCl 2 ) и триметилсилилхлорид ((CH 3 ) 3 SiCl) получают прямым способом . Реакция хлористого метила со сплавом кремния и меди . Каждый из этих трех метилхлорсиланов является обычным реагентом в кремнийорганической химии.
Метилхлорсиланы реагируют с водой с образованием хлористого водорода , давая силоксаны. В случае триметилсилилхлорида продуктом гидролиза является гексаметилдисилоксан :
Многие соединения, содержащие связи Si-Cl, можно превратить в гидриды с помощью алюмогидрида лития . Такое превращение было продемонстрировано для получения силана:
Тетрахлорид кремния и трихлорсилан являются полупродуктами в производстве сверхчистого кремния в полупроводниковой промышленности. Хлорсиланы, полученные из сырого кремния, очищают методом фракционной перегонки , а затем восстанавливают водородом с получением кремнияЧистота99,999 999 999 % .